.本揭示内容的实施方式大体涉及用于制造微电子器件的工艺和装置，更具体而言涉及关于外延沉积的工艺和装置。.基板的处理有广泛的应用，包括制造微电子器件。在制造处理期间，基板被放置在工艺腔室内的承载器上，并且暴露于沉积和蚀刻工艺，同时分别形成和移除基板上的多个膜，以生产微电子器件。然而，在处理期...

.本发明涉及半导体基板、半导体器件、电子设备。.利用了gan(氮化镓)的半导体装置的电力变换效率一般比包含si(硅)的半导体装置高。由此，利用了gan的半导体装置由于电力损失比包含si的半导体装置小，因此，期待节能效果。过去，为了制造利用了gan的半导体装置，进行与形成gan系半导体元件的...

.本发明属于固体废弃有机物肥料利用，特别是涉及一种堆肥木质纤维素的降解方法。.近年来，随着人口、粮食需求的提高以及城镇绿化的增加，北京市每年产生约万吨的林业剩余物。林业剩余物主要为园林绿化维护过程中产生的枯枝、落叶、杂草、败花等，还包括枝桠、梢头、灌木、树桩（伐根）、枯倒木、遗弃材...

.本发明属于电池材料，具体涉及一种六氟磷酸锂的制备方法和锂离子电池。.六氟磷酸锂是现有锂离子电池材料中应用较为广泛的锂盐，其通常由氟化锂与五氟化磷反应制备得到，氟化锂是一种稳定的白色粉末状固体，是目前已知的碱金属卤化物溶解度最低的物质，也不生成水合物。若将颗粒尺寸降低至纳米级别则可...

.本发明涉及环保领域，尤其具体涉及一种含锂电解质的分离富集方法。.在电解铝生产工艺中，为提高电流效率、改善电解质的性质，除了向电解质中添加冰晶石外，还添加某种氟化物或氯化物等盐类，常用的添加剂之一就是氟化锂。可有效降低电解质初始温度，减少氟排放，对电解铝企业节能降耗起到促进作用。大量的锂在...

.本发明涉及二氧化氯产品及制备方法领域，特别涉及一种浓度稳定的二氧化氯水溶液的制备方法。.二氧化氯是一种被世界卫生组织推荐为第四代的环保消毒剂，也是被世界粮农组织评定为安全级别为a级(糖盐同等安全级别)的消毒剂。二氧化氯具有杀菌、漂白、除臭、消毒、保鲜的功能，可用于食品、食品加工、制药、医...

.本发明属于水性木器涂料，具体涉及一种水性木器涂料用二氧化硅及其制备方法。.水性木器涂料是以水为分散介质的一种涂料，水性涂料具有低voc，环境友好，施工隐患少，翻新方便，气味低等特点，人们使用后可缩短入住时间，对正常生活影响小。使用水性涂料可满足环保所需的节能减排和可持续发展的需求...

.本发明具体涉及一种掺入白泥的混凝土及白泥掺入方法，属于白泥回用。.白泥作为造纸固废的一种，容易给环境造成污染，因此，开展对白泥回用进行外排减量化，及白泥回用的稳定化和资源化处置的研究已迫在眉睫；其中，白泥建材资源化是处置白泥的有效途径，能够大量消耗白泥，将白泥作为建材，有助于实现...

.本发明涉及早强剂，具体涉及一种用于矿山充填材料的早强剂及其制备方法。.陕北是我国金属镁和煤炭的主要产区之一，在金属镁冶炼过程中产生了大量的镁渣，镁渣目前主要采用堆放、掩埋等办法进行处理，不仅占用了土地，还造成了环境污染。而煤炭在加工和使用中，会产生大量的粉煤灰。镁渣经处理后可制作...

一种利用河道底泥制备高纯度sio的方法.本发明涉及固废的分离和提纯，尤其涉及一种利用河道底泥制备高纯度sio的方法。.随着城市工业化水平的提高，大量生活污水、工业废水、建筑垃圾和其它固体废弃物被排入河道，造成河道水质恶化和底泥堆积，影响河道发挥正常的社会和生态功能。河道底泥是土壤、...

.本发明涉及水泥生产，具体涉及一种水泥生料节能助剂及其制备方法和应用。.水泥的生产过程分为三个阶段，简称“两磨一烧”。具体来说，第一阶段为：生料粉磨，即石灰质原料、粘土质原料以及少量的校正原料等经破碎或烘干后，按一定比例配合、磨细，并制备为成分合适、质量均匀的生料；第二阶段为：生料...

.本发明涉及园林种植，尤其涉及一种月季花专用营养液及其制备方法、施用方法。.月季是中国十大名花之一，在国内广泛栽植。花色是月季花重要的观赏性状之一，且研究发现花色素苷对红色花色的影响极为重要。特别是在夏季高温或遮阴的情况下，环境因素会抑制花色素苷合成基因及调节基因的表达，使花色素苷...

.本发明涉及隔热材料，尤其涉及一种纤维增强结构型隔热复合材料及其制备方法和应用。.纤维增强结构型隔热复合材料是指具有绝热性能、对热流可起显著阻抗作用的复合材料，其自身具有低密度、高强度和低热导率的特点。目前，全球热工设备的高温热效率为％左右，传统热工设备的内衬通常采用重质耐火材料，...

一种fe掺杂δ-mno纳米颗粒及其制备方法.本发明属于无机纳米材料合成，更具体地，涉及一种fe掺杂δ-mno纳米颗粒及其制备方法。.mno是重要的基础无机材料，作为一种锰氧化合物，被广泛用于能源、环境、医疗及工业制造业等领域。目前，纳米材料领域的飞速发展为mno的基础研究及...

.本发明涉及生态肥，具体是一种缓解花生连作障碍用生态肥。.花生在种植期间，由于土壤的ph值下降、营养流失、自毒作用、土壤酶活性下降、微生物变化、病虫害等原因，从而导致在种植时出现花生连作障碍的现象。常见的肥料功能性比较单一，无法对花生连作起到作用。并且在种植时，花生会与其他作物进行...

一种含复合型抗氧化剂的alo-sic-c铁沟浇注料及其制备方法.本发明属于耐火材料，具体涉及一种含复合型抗氧化剂alo-sic-c铁沟浇注料及其制备方法。.alo-sic-c质浇注料在高炉炼铁系统中具有广泛的应用，包括炉缸、主沟、渣沟、铁沟、摆动溜槽、鱼雷罐及铁水包等热工设...

一种新型高效fealb@alo高温吸收剂、制备方法及应用.本发明属于高温吸波材料，涉及一种新型高效fealb@alo高温吸收剂、制备方法及应用。.雷达吸波材料按工作温度不同，可分为常温吸波材料和高温吸波材料。其中高温吸波材料主要应用于航空发动机尾喷管和鼻锥帽、巡航导弹的弹头...

一种流延成型的承烧生瓷在制备电子陶瓷中的应用.本发明是申请日为年月日、申请号为、名称为“一种承烧生瓷及其制备方法和应用”的中国发明专利申请的分案申请。.本发明涉及电子陶瓷领域，具体涉及一种流延成型的承烧生瓷在制备电子陶瓷中的应用。.电子陶瓷通常可以由生瓷片(一般由氧化铝浆料流延获得...

.本发明涉及石膏粉煅烧设备，具体为利用低温蒸气的石膏粉流化煅烧工艺及流化煅烧设备。.现有石膏粉在加工过程中，通常利用电厂低温蒸汽作为热源，采用烘干、煅烧两步法工艺路线。装载机将原料从原料堆场送至进料斗，经计量后由皮带输送机送入改型桨叶干燥机烘干去除游离水(该处热源用电厂现有低温蒸汽...

.本发明涉及一种混凝土的制备方法，特别是一种利用蒸压硅酸盐功能骨料和大掺量矿物掺合料制备的不收缩低放热低碳混凝土的方法。.大体积混凝土开裂问题是工程领域的一个难题。对于人流密集频繁的地下结构，例如地铁站，混凝土的开裂极易破坏其刚性防水性能，影响地下空间的正常使用；对于露天结构，有害的腐蚀介...