本发明涉及光学，尤其涉及一种面向极紫外的高通量偏振复用透射式超构透镜及设计方法。、随着半导体集成电路制程节点向 nm、nm 甚至埃米级推进，极紫外光刻技术已成为延续摩尔定律的核心驱动力。极紫外光刻系统工作在 . nm 中心波长，利用高能光子实现纳米级的分辨率。在先进光刻工艺中，除了基本的图...

本发明涉及一种大行程高带宽精密复合轴光束扫描装置及其控制方法，属于光学仪器领域。、光束扫描装置在半导体加工、激光通信、激光加工、生物医学设备领域都有着广泛应用，通常由振镜或快反镜机构作为光束偏转的执行机构。随着半导体技术与激光加工技术的发展，对于光束扫描装置的行程、带宽和精度都提出了更高的...

本申请涉及微纳加工设备，具体而言，涉及一种多面镜工装、工件台及调节方法。、在纳米级精度的半导体光刻与检测设备中，激光干涉定位工件台是其核心部件之一，起到承载样品并实现纳米级精度的扫描、定位功能。多轴激光干涉测量系统用于提供纳米级位移反馈信号，为了使得工件台运动相对于精密设备整机保持精确的相...

本发明涉及光电共封装，尤其涉及一种光子集成模块、光纤阵列模块、共封装光学器件及生产方法。、共封装光学（co-packaged optics，cpo）是一种先进的光电集成技术，其核心在于将硅光芯片与交换芯片或计算芯片通过先进封装技术集成在同一基板上，从而极大缩短电信号传输距离，此举旨在解决人...

本发明涉及一种具备显影辊的显影盒。、以往，作为显影盒，已知一种具备壳体、显影辊、供给辊、显影电极、供给电极以及ic芯片的技术（参照专利文献）。显影辊能够绕着沿第一方向延伸的显影轴旋转。显影辊位于壳体的与第一方向交叉的第二方向上的一端部。供给辊能够绕着沿第一方向延伸的供给轴旋转。供给辊是向显...

本申请涉及半导体，尤其涉及一种硅光芯片的制备方法。、目前，硅光集成芯片已成为实现芯片级超高带宽、低功耗互连的核心载体。为满足多通道并行传输与带宽密度需求，当前硅光芯片普遍采用微环调制器（micro-ringmodulator，mrm）和波导光栅（arrayed waveguide grat...

本发明涉及目镜制造，具体为一种平场目镜光学系统。、目镜在成像中起到关键性的作用，通常视场越大畸变也会越明显，这一点特别在天文望远镜和观靶镜中比较明显。技术实现思路、本发明的目的在于提供一种平场目镜光学系统，以解决上述中提出的问题。、为了解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种...

本发明涉及光通信，特别是涉及一种光组件与光模块。、在光通信领域，光器件及光模块通常会用到mt-fa组件，mt-fa组件的一端为总集成的机械转移型连接器（mechanical transfer，简写为：mt），另一端由几路光纤阵列（fiber array，简写为：fa）所构成。如图所示，提供...

本发明属于量子光学与精密测量领域，尤其是涉及了一种基于悬浮腔光力系统的多轴机械量子压缩态制备装置。、机械量子压缩态是一种特殊的机械态，量子力学的不确定性原理指出，无法同时准确测量某些物理量，如位置和动量；而量子压缩态利用量子力学的特性，通过改变量子系统中某些物理量的波动性，降低特定方向的噪...

本发明涉及光学成像，特别是涉及一种投影镜头。、d打印技术是快速成型技术的一种，其以数字模型文件为基础，运用粉末状金属或塑料等可沾合材料，通过逐层打印的方式来构造物体。目前，d打印技术已在工业设计、建筑、航空航天、教育等领域得到广泛应用。、目前，随着材料技术与硬件装备技术的发展，将该技术应用...

本申请涉及光学器件领域，特别为一种消偏振宽带三分棱镜。、当光线倾斜入射到光学薄膜时，由于电场和磁场在各个膜层的切向分量要保持连续，使得光线p-偏振光和s-偏振光的有效折射率出现差别，从而导致偏振效应的产生。在精密光学系统中，消偏振分光棱镜是实现光束无偏振偏差分离与能量分配的核心器件，广泛应...

本发明涉及微纳集成光电子，具体是指一种掺杂硅和topas堆叠结构的超宽带太赫兹吸收器。、超材料作为  世纪逐渐发展起来的新型材料，由于其特殊的性能及优异的可调节性，在隐身材料领域得到了广泛的研究与关注，已成为隐身研究的一个重点方向。它是一种自然界不存在、人工设计、具有周期性结构的新型材料。...

本申请涉及半导体检测，尤其涉及一种光纤、检测装置和半导体设备。、在集成电路制造中，刻蚀工艺的精确控制依赖于检测装置对等离子体辉光的实时监测，以获取关键工艺参数如刻蚀深度和侧壁形貌。检测装置收集并检测等离子体发光信号或样品的反射光信号，从而实现工艺的判断和过程控制。、相关技术中，采用常规光纤...

本发明涉及光学相机，具体涉及一种面向微小卫星双向控温的光学相机热控系统。、目前，针对如立方星、皮纳卫星等微小卫星搭载的微型光学相机载荷，其热控方案主要沿用传统卫星热控技术的简单移植与堆叠，通常采用相机主体、独立遮光罩、外挂式散热面的分立式布局，并将电箱与相机分舱布置、各自配备独立的热控面。...

本公开涉及透镜组件设备。、相机模块已经用在电子设备中。作为非限制性示例，相机模块已经用在诸如智能电话、平板pc和笔记本计算机的便携式电子设备中。、此外，近年来，例如，为了捕获高分辨率图像或视频，图像传感器的像素数量和图像传感器本身的尺寸已经增加，并且透镜的数量也已经增加。这种增加的透镜数量...

本申请属于光刻，具体涉及一种光刻显影用组合物及其设计方法和应用。、随着摩尔定律的不断推进，半导体器件的特征尺寸持续缩小，对光刻技术提出了极高的要求。光刻工艺中的分辨率（resolution）、线边缘粗糙度（line-edge roughness，ler）和敏感度（sensitivity）之...

本发明属于光通信，更具体地，涉及一种多芯扇出器件、辅助光纤粘接装置和使用方法。、在现有技术中，多芯光纤与单芯光纤的耦合主要依赖两种方式：其一，采用精密的三维位移平台，通过显微视觉系统逐一对准单芯光纤与多芯光纤的纤芯，利用熔接或空间光学系统实现耦合；其二，采用光子灯笼结构，将多芯光纤端面拉锥...

本技术涉及读写台，特别涉及一种读写台。、随着纸质阅读与电子屏书写/批注等场景融合，桌面类读写设备需要在有限空间内同时满足：在复杂光环境下抑制眩光与“二次反射”鬼影、保持较高对比度与清晰度，并兼顾不同身高与坐/站姿的人机工学需求。传统直射照明或简单遮光结构往往难以同时兼顾上述目标。、为改善观...

本发明涉及光学元件，尤其涉及的是一种变焦超构透镜及其制作方法。、光学变焦系统在移动终端光学和显微成像领域具有重要的应用价值。传统变焦技术依赖于多透镜组的轴向位移来调节有效焦距，导致光学系统操作复杂、体积庞大，因此亟需发展小型化、轻量化的可变焦光学系统。超构表面作为一种二维的超材料，由亚波长...

本发明涉及一种激光通信系统微型体吸收光陷阱，属于收发一体激光通信领域。、高速激光通信模块化、小型化是未来空间激光自由组网的必然趋势。目前，共口径、共光路收发的激光通信终端通常具有小体积、轻量化的优点，同时具备高功率激光发射和高灵敏度信号光接收功能。然而，激光通信终端发射激光功率通常远高于接...