一种便于安装用于MINILED掩模板的制作方法

文档序号:28926280发布日期:2022-02-16 14:22阅读:144来源:国知局
一种便于安装用于MINILED掩模板的制作方法
一种便于安装用于miniled掩模板
技术领域
1.本实用新型涉及掩模板技术领域,尤其涉及一种便于安装用于miniled掩模板。


背景技术:

2.掩模板是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构,再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上,掩模板在使用过程中需要夹持在底板上。
3.现有的掩模板在安装过程中,安装结构十分复杂,需要耗费大量时间用于安装过程,效率低下,并且需要成型不同的形状,掩模板需要经常更换,需要耗费大量时间在更换上,因此,亟需设计一种便于安装用于miniled掩模板来解决上述问题。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种便于安装用于miniled掩模板。
5.为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
6.一种便于安装用于miniled掩模板,包括底板和掩模板本体,所述底板一侧外壁开设有多个转动槽,转动槽内壁转动连接有多个固定结构,所述固定结构底部设有多个弹簧,多个弹簧顶部外壁固定连接有同一个滑动板,滑动板一侧外壁滑动连接有连板,连板一侧外壁固定连接有固定板。
7.优选的,所述掩模板本体底部外壁固定连接有连接板,连接板一侧外壁开设有一圈固定槽。
8.优选的,所述连接板一侧外壁固定连接有转动杆。
9.优选的,所述连板一侧外壁开设有滑动槽,滑动槽内壁滑动连接有滑杆。
10.优选的,所述转动槽一侧外壁开设有l型滑槽,且滑杆滑动连接与l型滑槽一侧内壁。
11.优选的,所述底板一侧外壁开设有对个放射孔。
12.优选的,多个所述放射孔一侧外壁均固定连接有凹面镜。
13.本实用新型的有益效果为:
14.1.通过设置的连接板、连板、滑动板、弹簧,当掩模板需要进行安装时,只需将掩模板上的连接板放入滑动板上,对其进行挤压,压力会从滑动板传递到弹簧上,弹簧收缩带动滑动板下移,滑动板移动带动连板移动,从而使得连板上的固定板移动到连接板上的固定槽内,与此同时,滑杆移动到l型滑槽最下端,此时转动连接板,连接板带动转动杆转动,转动杆转动带动滑杆转动到l型滑槽内部,完成连接,连接方便。
15.2.通过设置的转动杆、滑杆、l型滑槽,当掩模板本体需要拆下时,此时只需转动掩模板本体,掩模板本体转动带动连接板转动,连接板转动带动转动杆转动带动滑杆从l型滑槽内部转出,在弹簧弹力作用下,掩模板本体弹出,即可拆下,十分方便。
16.3.通过设置的凹面镜,当掩模板在使用过程中时,凹面镜会将照过来的光束聚集,从而掩模板上的光束更强,从而使得掩模板在工作时效率更高。
附图说明
17.图1为实施例1提出的一种便于安装用于miniled掩模板的整体结构示意图;
18.图2为实施例1提出的一种便于安装用于miniled掩模板的正面剖视结构示意图;
19.图3为实施例1提出的一种便于安装用于miniled掩模板的掩模板本体和连接板结构示意图;
20.图4为实施例2提出的一种便于安装用于miniled掩模板的凹面镜结构示意图。
21.图中:1、底板;2、放射孔;3、掩模板本体;4、连接板;5、转动槽;6、连板;7、滑动槽;8、滑杆;9、l型滑槽;10、滑动板;11、弹簧;12、固定板;13、固定槽;14、转动杆;15、凹面镜。
具体实施方式
22.下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。
23.下面详细描述本专利的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本专利,而不能理解为对本专利的限制。
24.在本专利的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本专利和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本专利的限制。
25.在本专利的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解,例如,可以是固定相连、设置,也可以是可拆卸连接、设置,或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。
26.实施例1
27.参照图1-3,一种便于安装用于miniled掩模板,包括底板1和掩模板本体3,底板1一侧外壁开设有多个转动槽5,转动槽5内壁转动连接有多个固定结构,固定结构底部设有多个弹簧11,多个弹簧11顶部外壁焊接有同一个滑动板10,滑动板10一侧外壁滑动连接有连板6,连板6一侧外壁焊接有固定板12。
28.其中,掩模板本体3底部外壁焊接有连接板4,连接板4一侧外壁开设有一圈固定槽13。
29.其中,连接板4一侧外壁焊接有转动杆14。
30.其中,连板6一侧外壁开设有滑动槽7,滑动槽7内壁滑动连接有滑杆8。
31.其中,转动槽5一侧外壁开设有l型滑槽9,且滑杆8滑动连接与l型滑槽9一侧内壁。
32.其中,底板1一侧外壁开设有对个放射孔2。
33.工作原理:当掩模板本体3需要进行安装时,只需将掩模板本体3上的连接板4放入滑动板10上,对其进行挤压,压力会从滑动板10传递到弹簧11上,弹簧11收缩带动滑动板10下移,滑动板10移动带动连板6移动,从而使得连板6上的固定板12移动到连接板4上的固定
槽13内,与此同时,滑杆8移动到l型滑槽9最下端,此时转动连接板4,连接板4带动转动杆14转动,转动杆14转动带动滑杆8转动到l型滑槽9内部,完成连接,连接方便,当掩模板本体3需要拆下时,此时只需转动掩模板3本体,掩模板本体3转动带动连接板4转动,连接板4转动带动转动杆14转动,转动杆14转动带动滑杆8从l型滑槽9内部转出,在弹簧11弹力作用下,掩模板本体1弹出,即可拆下,十分方便。
34.实施例2
35.参照图4,一种便于安装用于miniled掩模板,本实施例相较于实施例1,多个放射孔2一侧外壁均焊接有凹面镜15。
36.工作原理:当掩模板本体3在使用过程中时,凹面镜15会将照过来的光束聚集,从而掩模板本体3上的光束更强,从而使得掩模板本体3在工作时效率更高。
37.以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征:
1.一种便于安装用于miniled掩模板,包括底板(1)和掩模板本体(3),其特征在于,所述底板(1)一侧外壁开设有多个转动槽(5),转动槽(5)内壁转动连接有多个固定结构,所述固定结构底部设有多个弹簧(11),多个弹簧(11)顶部外壁固定连接有同一个滑动板(10),滑动板(10)一侧外壁滑动连接有连板(6),连板(6)一侧外壁固定连接有固定板(12)。2.根据权利要求1所述的一种便于安装用于miniled掩模板,其特征在于,所述掩模板本体(3)底部外壁固定连接有连接板(4),连接板(4)一侧外壁开设有一圈固定槽(13)。3.根据权利要求2所述的一种便于安装用于miniled掩模板,其特征在于,所述连接板(4)一侧外壁固定连接有转动杆(14)。4.根据权利要求3所述的一种便于安装用于miniled掩模板,其特征在于,所述连板(6)一侧外壁开设有滑动槽(7),滑动槽7内壁滑动连接有滑杆(8)。5.根据权利要求4所述的一种便于安装用于miniled掩模板,其特征在于,所述转动槽(5)一侧外壁开设有l型滑槽(9),且滑杆(8)滑动连接与l型滑槽(9)一侧内壁。6.根据权利要求1-5任一所述的一种便于安装用于miniled掩模板,其特征在于,所述底板(1)一侧外壁开设有对个放射孔(2)。7.根据权利要求6所述的一种便于安装用于miniled掩模板,其特征在于,多个所述放射孔(2)一侧外壁均固定连接有凹面镜(15)。

技术总结
本实用新型公开了一种便于安装用于MINILED掩模板,包括底板和掩模板本体,所述底板一侧外壁开设有多个转动槽,转动槽内壁转动连接有多个固定结构,所述固定结构底部设有多个弹簧,多个弹簧顶部外壁固定连接有同一个滑动板。本实用新型当掩模板需要进行安装时,只需将掩模板上的连接板放入滑动板上,对其进行挤压,压力会从滑动板传递到弹簧上,弹簧收缩带动滑动板下移,滑动板移动带动连板移动,从而使得连板上的固定板移动到连接板上的固定槽内,与此同时,滑杆移动到L型滑槽最下端,此时转动连接板,连接板带动转动杆转动,转动杆转动带动滑杆转动到L型滑槽内部,完成连接,连接方便。接方便。接方便。


技术研发人员:陈孟财
受保护的技术使用者:光宏光电技术(深圳)有限公司
技术研发日:2021.08.06
技术公布日:2022/2/15
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