专利名称：聚光构件和照明单元、以及利用它的光学检查装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种聚光构件和照明单元，以及利用该聚光构件和照明单元的光学检 查装置。更具体地说，涉及聚集光线的聚光构件，利用该聚光构件向检查对象物(印刷电路 板)照射光的照明单元，以及利用照明单元照射的光拍摄在检查对象物(印刷电路板)上 形成的图形，并且处理拍摄到的图像信息，以检查形成于检查对象物上的图形是否有缺陷 的光学检查装置。
背景技术：
近年来，作为在液晶显示装置的驱动集成电路(IXD Driver IC)、存储器以及LSI 等各种半导体集成电路和超小型产品等中使用的主要材料之一的印刷电路板，已制造成薄 膜(film)、卷带(tape)等形式。在这样的印刷电路板中，经常使用的是统称为卷带自动结合(TapeAutomatic Bonding)基板或者覆晶薄膜(Chip On Film)基板的印刷电路板。这样的薄膜/卷带形式的 印刷电路板，是通过曝光、显影、蚀刻等制作工序而形成图形，但是，随着半导体器件逐渐超 小型化的趋势，这种图形变得非常细小，实际上很难用操作者的肉眼进行图形的缺陷检查。 因此，准确地检查出印刷电路板的图形缺陷，已成为提高自动光学检查装置的核心性能、即 检查可靠性的重要因素。特别是，在薄膜、卷带形式的印刷电路板中，当检查图形宽度非常细小的卷带自动 结合(TAB)基板、覆晶薄膜(COF)基板时，现有的照明装置发出的照明亮度的极限和检查区 域内的光均勻度是非常重要的。但是，在现有的照明装置中，从光源发出的光在到达检查对 象物的表面之前会发生较大的光损失，结果，只有发生损失后剩余的光线通过透镜被传输 至图像传感器，所以，很难获得稳定的图像
发明内容
本发明的目的在于提供一种聚光构件和照明单元、以及利用该聚光构件和照明单 元的光学检查装置，使照射在检查对象物(印刷电路板)上的光的损失最小化，在整个图形 表面上获得更均勻的亮度，从而提高检查可靠性。本发明的目的并不局限于此，本领域的普通技术人员根据以下记载可以清楚地了 解未提及的其它目的。为了实现所述目的，本发明涉及的照明单元包括光源，发出光；光分离构件，根 据入射的光的方向，使光反射或者透射；以及聚光构件，使从所述光源发出并且被所述光分 离构件反射的光发生折射后，聚光在在照明对象上，并且，将被所述照明对象反射的光引向 所述光分离构件。也可以是，在具有上述结构的本发明涉及的照明单元中，所述聚光构件沿着所述 光分离构件反射光的方向，与所述光分离构件隔着间距配置；在所述聚光构件的中心部形 成有使光通过的孔部；在面对所述光分离构件的所述聚光构件的第一面和所述第一面的相反面即第二面中的任一个面中，提供以所述孔部为中心对称的多个倾斜面。也可以是，所述多个倾斜面的倾斜角，朝着所述孔部越向内侧变得越小。也可以是，所述多个倾斜面朝着所述孔部向内侧倾斜。也可以是，所述多个倾斜面以所述孔部为中心向外侧倾斜。也可以是，所述聚光构件具有与所述光分离构件的长度相对应的长度，所述多个 倾斜面可以沿着所述聚光构件的长度方向延伸得很长。也可以是，所述多个倾斜面是平面，或者所述多个倾斜面是曲面。也可以是，所述聚光构件沿着所述光分离构件反射光的方向，与所述光分离构件 隔着间距配置；面对所述光分离构件的所述聚光构件的第一面的相反面即第二面，是向下 凸起状的曲面。也可以是，所述聚光构件沿着所述光分离构件反射光的方向，与所述光分离构件 隔着间距配置；面对所述光分离构件的所述聚光构件的第一面的相反面、即第二面的中心 部是平面，所述第二面的周边部是向下凸起状的曲面。也可以是，所述聚光构件的所述第一面是平面。也可以是，还包括平行光变换构件，其位于所述光源和所述光分离构件之间，将所 述光源发出的光转换成平行光。也可以是，所述平行光变换构件的朝向所述光源的面是凸起状的曲面，所述平行 光变换构件的朝向所述光分离构件的面是平面。也可以是，还包括扩散构件，其介于所述光分离构件和所述平行光变换构件之间， 使所述平行光扩散，以便提高透过所述平行光变换构件的所述平行光的光均勻度。也可以是，所述光分离构件是光分束镜。
也可以是，所述光分离构件是半透半反镜。也可以是，所述光分离构件和所述扩散构件的、与所述平行光垂直的方向上的长 度相同。也可以是，所述光源、所述平行光变换构件、所述扩散构件以及所述光分离构件配 置成一列，使得光轴朝水平方向；所述聚光构件沿着所述光分离构件反射光的方向，与所述 光分离构件隔着间距配置。为了解决上述技术问题，本发明涉及的一种照明单元，其包括多个光源，沿着第 一方向水平地配置成一列，并且沿着与所述第一方向垂直的第二方向上下层叠；光分离构 件，配置成其长度方向沿所述第一方向，并且，沿着与所述第一及第二方向垂直的第三方 向，与所述光源隔着间距配置，而且，根据入射的光的方向使光反射或者透射；以及聚光构 件，配置成其长度方向沿所述第一方向，并且沿着所述第二方向在所述光分离构件的下侧 隔着间距配置，使从所述光源发出并且被所述光分离构件反射的光发生折射后，聚光在照 明对象上，并且，将被所述照明对象反射的光引向所述光分离构件。也可以是，在具有上述结构的本发明涉及的照明单元中，还包括多个平行光变换 构件，在所述光源和所述光分离构件之间沿着所述第二方向上下层叠，并且所述平行光变 换构件的长度方向沿着所述第一方向，将所述光源发出的光转换成平行光。也可以是，还包括扩散构件，介于所述光分离构件和所述平行光变换构件之间，其 长度方向沿着所述第一方向，使所述平行光扩散，以提高透过所述平行光变换构件的所述平行光的光均勻度。也可以是，所述光源、所述平行光变换构件、所述扩散构件、所述光分离构件以及 所述聚光构件被收容在外壳内，以一个模块形式提供。也可以是，所述聚光构件是具有与所述光分离构件对应的长度的板状构件；在所述聚光构件的中心部，沿着所述第一方向贯穿形成有使光通过的孔部；在面对所述光分离 构件的所述聚光构件的上表面，设有以所述孔部为中心对称且朝着所述孔部向内侧倾斜的 多个倾斜面，所述倾斜面的倾斜角朝着所述孔部越向内侧变得越小。也可以是，所述聚光构件是具有与所述光分离构件相对应的长度的板状构件；在 所述聚光构件的中心部，沿着所述第一方向贯穿形成有使光通过的孔部；在面对所述光分 离构件的所述聚光构件的上表面，设有以所述孔部为中心对称且以所述孔部为中心向外侧 倾斜的多个倾斜面，所述倾斜面的倾斜角朝着所述孔部越向内侧变得越小。也可以是，所述聚光构件是具有与所述光分离构件相对应的长度的板状构件；在 所述聚光构件的中心部沿着所述第一方向贯穿形成有使光通过的孔部；在所述聚光构件的 下表面，设有以所述孔部为中心对称且朝着所述孔部向内侧倾斜的多个倾斜面，所述倾斜 面的倾斜角朝着所述孔部越向内侧变得越小。也可以是，所述聚光构件是具有与所述光分离构件相对应的长度的板状构件；在 所述聚光构件的中心部沿着所述第一方向贯穿形成有使光通过的孔部；在所述聚光构件的 下表面，设有以所述孔部为中心对称且以所述孔部为中心向外侧倾斜的多个倾斜面，所述 多个倾斜面的倾斜角朝着所述孔部越向内侧变得越小。也可以是，所述聚光透镜具有与所述光分离构件相对应的长度；面对所述光分离构 件的所述聚光构件的第一面是平面，所述第一面的相反面即第二面是向下凸起状的曲面。也可以是，所述聚光透镜具有与所述光分离构件相对应的长度；面对所述光分离 构件的所述聚光构件的第一面是平面，所述第一面的相反面、即第二面的中心部是平面，所 述第二面的周边部是向下凸起状的曲面。为了解决上述技术问题，本发明涉及的一种光学检查装置，包括移动单元，使检 查对象物朝一个方向移动；照明单元，位于所述检查对象物的移动路径的上部，向通过所述 移动单元移动的所述检查对象物照射光；以及摄像单元，拍摄被照射所述照明单元的光的 所述检查对象物；其中，所述照明单元包括光源，发出光；光分离构件，根据入射的光的方 向，使光反射或者透射；以及聚光构件，使从所述光源发出并且被所述光分离构件反射的光 发生折射后，聚光在照明对象上，并且，将被所述照明对象反射的光引向所述光分离构件。也可以是，在具有上述结构的本发明涉及的光学检查装置中，所述聚光构件沿着 所述光分离构件反射光的方向，与所述光分离构件隔着间距配置；在所述聚光构件的中心 部形成有使光通过的孔部；在面对所述光分离构件的所述聚光构件的第一面和所述第一面 的相反面即第二面中的任一个面上，设有以所述孔部为中心对称的多个倾斜面。也可以是，所述多个倾斜面的倾斜角，朝着所述孔部越向内侧变得越小。也可以是，所述多个倾斜面朝着所述孔部向内侧倾斜。也可以是，所述多个倾斜面以所述孔部为中心向外侧倾斜。也可以是，所述聚光构件具有与所述光分离构件的长度相对应的长度，所述多个 倾斜面可以沿着所述聚光构件的长度方向延伸得很长。
也可以是，所述多个倾斜面是平面。也可以是，所述多个倾斜面是曲面。也可以是，所述聚光构件沿着所述光分离构件反射光的方向，与所述光分离构件 隔着间距配置；面对所述光分离构件的所述聚光构件的第一面的相反面即第二面，是向下 凸起状的曲面。也可以是，所述聚光构件沿着所述光分离构件反射光的方向，与所述光分离构件 隔着间距配置；面对所述光分离构件的所述聚光构件的第一面的相反面、即第二面的中心 部是平面，所述第二面的周边部是向下凸起状的曲面。也可以是，所述聚光构件的所述第一面是平面。也可以是，还包括平行光变换构件，其位于所述光源和所述光分离构件之间，将所 述光源发出的光转换成平行光。也可以是，所述平行光变换构件的朝向所述光源的面是凸起状的曲面，所述平行 光变换构件的朝向所述光分离构件的面是平面。也可以是，还包括扩散构件，其介于所述光分离构件和所述平行光变换构件之间， 使所述平行光扩散，以便提高透过所述平行光变换构件的所述平行光的光均勻度。也可以是，所述光分离构件是光分束镜。也可以是，所述光分离构件是半透半反镜。也可以是，所述光分离构件和所述扩散构件的、与所述平行光垂直的方向上的长 度相同。也可以是，所述光源、所述平行光变换构件、所述扩散构件、所述光分离构件、以及 所述聚光构件被收容在外壳内，以一个模块形式提供。也可以是，所述光源、所述平行光变换构件、所述扩散构件以及所述光分离构件配 置成一列，以使光轴朝水平方向；所述聚光构件沿着所述光分离构件反射光的方向，与所述 光分离构件隔着间距配置。也可以是，所述摄像单元是线扫描摄像机。为了解决上述技术问题，本发明涉及的一种聚光构件的结构是沿着长度方向在中 心部形成有使光通过的孔部的板状构件，在其上表面或下表面中的任一个面上，形成有以 所述孔部为中心对称的多个倾斜面。在具有上述结构的本发明涉及的聚光构件中，所述多个倾斜面的倾斜角朝着所述 孔部，越向内侧变得越小。也可以是，所述多个倾斜面朝着所述孔部向内侧倾斜。也可以是，所述多个倾斜面以所述孔部为中心向外侧倾斜。也可以是，所述倾斜面沿着所述聚光构件的长度方向延伸得很长。也可以是，所述倾斜面是平面。 根据本发明，可以使照射在检查对象物(印刷电路板)上的光的损失最小化。另外，根据本发明，可以获得图形的倾斜面的清晰图像数据。
下面说明的各附图仅作为例示的目的使用，并不用于限定本发明的保护范围。
图1是概略表示本发明涉及的光学检查装置的图。图2是表示图1的“A”部分的俯视图。图3是表示图1和图2所示照明单元的结构的侧剖视图。图4是表示图3的光分离构件和聚光构件的立体图。图5是放大表示图3的聚光构件的图。图6和图7是表示本发明涉及的照明单元的工作状态的图。图8至图12是表示聚光构件的其它例子的图。图13是表示照明单元的其它例子的侧剖视图。图14是表示照明单元的其它例子的图。附图标记1 光学检查装置100 移动单元200:照明单元210 外壳220 光源230 光分离构件240 平行光变换构件 250 扩散构件260 聚光构件262 倾斜面264 孔部300 摄像单元
具体实施例方式下面，参照附图详细说明本发明的优选实施例涉及的聚光构件和照明单元，以及 利用该聚光构件和照明单元的光学检查装置。首先，应该注意的是，对各图的构成要素赋予 附图标记时，即使相同的构成要素在不同的附图中出现，也都赋予了相同的附图标记。另 夕卜，在对本发明进行说明时，当判断为对有关的公知结构或者公知功能的详细说明可能会 模糊本发明的要旨时，省略其详细说明。(实施例)图1是概略表示本发明涉及的光学检查装置的图，图2是表示图1的“A”部分的 俯视图。参照图1和图2可知，本发明涉及的光学检查装置1包括移动单元100、照明单 元200以及摄像单元300。光学检查装置1的检查对象物10可以是薄膜(Film)或者卷带 (Tape)形式的柔性印刷电路板，光学检查装置1检查在柔性印刷电路板上形成的图形是否 有缺陷。移动单元100使检查对象物10向一方向移动。照明单元200位于检查对象物10 的移动路径的上部，向通过移动单元100移动的检查对象物10照射光。摄像单元300拍摄 被照明单元200的光照射的检查对象物10，并且取得在检查对象物10上形成的图形的图像 数据。移动单元100包括送料辊(Feed Roller) 110、导辊120、以及卷取部(Winding Roller) 130。在送料辊110的卷轴上卷绕着检查对象物10，从送料辊110送出的检查对象 物10经过导辊120卷绕在卷取部130的卷轴上。移动单元100利用使检查对象物10移动一定距离后停止的步进(St印byStep)方式来移动检查对象物10。在检查对象物10暂时停止的期间，照明单元200朝着与检查对象物10的移送方向垂直的方向移动，同时向检查对象物10照射光。而且，摄像单元300可 以同照明单元200 —起朝着与检查对象物10的移送方向垂直的方向移动，并且，利用照明 单元200照射的光拍摄在检查对象物10上形成的图形。移动单元100也可以不暂时停止 地连续移动检查对象物10，这时，可以设置多个照明单元200和摄像单元300。摄像单元300是具备如CXD线性传感器这样的图像传感器(未图示)和透镜(未 图示)的CXD摄像机，通过拍摄检查对象物10的表面(图形等)，取得检查对象物10的图 像数据。所取得的图像数据被提供给图像处理部(未图示)。虽然未图示，但光学检查装置 1理所当然地具备从摄像单元300接收所拍摄图像的图像处理部(未图示)，该图像处理部 可以由典型的计算机系统(又称微型计算机)构成，对自动光学检查所涉及的全部动作进 行控制及处理。例如，摄像单元300可以使用线扫描摄像机。图3是表示图1和图2所示照明单元的结构的侧剖视图，图4是表示图3所示的 光分离构件和聚光构件的立体图，图5是放大表示图3所示的聚光构件的图。参照图3至图5可知，照明单元200包括外壳210、光源220、光分离构件230、平行 光变换构件240、扩散构件250和聚光构件260。光源220、光分离构件230、平行光变换构 件240、扩散构件250以及聚光构件260被收容在外壳210中，能够以一个模块形式提供。外壳210大致以六面体的形状提供。外壳210具有四边形形状的上壁214和下壁 216，上壁214的边缘部和下壁216的边缘部通过侧壁212连接着。光源220、平行光变换构 件240、扩散构件250以及聚光构件260在外壳210内沿一列配置，使得光轴朝水平方向。 聚光构件260被配置成沿着光分离构件230反射光的方向，并且与光分离构件230隔着距 离。在外壳210的上壁214上形成有孔部215，该孔部215可以使透过光分离构件230的光 通过；在外壳210的下壁216上形成有开口部217，该开口部217可以使透过聚光构件260 的光通过。光源220发出光。作为光源220，可以使用按线形排列的多个发光二极管(LED)。 除此之外，光源220还可以使用荧光灯管、卤素灯、或者卤化金属灯。光分离构件230可以根据入射光的方向，使光反射或者透射。即，光分离构件230 可以将从光源220入射的光朝着聚光构件260的方向反射，并且，将从聚光构件260入射的 光朝着上壁214的孔部215方向透射。光分离构件230可以使用沿对角线方向设置了反射 镜232的光分束镜(Beam Spliter)。平行光变换构件240位于光源220和光分离构件230之间，将光源220发出的光 转换成平行光。平行光变换构件240的朝向光源220的面可以是凸起状的曲面，平行光变 换构件240的朝向光分离构件230的面可以是平面。扩散构件250位于光分离构件230和平行光变换构件240之间，为了提高通过了 平行光变换构件240的平行光的光均勻度，使平行光扩散。在图3的平面上，与平行光垂直 的方向上的扩散构件250的长度，可以与光分离构件230的长度相同。聚光构件260使从光源220发出、并且被光分离构件230反射的光发生折射后，聚 光在检查对象物(照射对象)上，并且将从检查对象物(照射对象)反射的光引向光分离 构件230。 聚光构件260可以是具有与光分离构件230相对应的长度的板状构件。在聚光构 件260的中心部，沿着长度方向贯穿形成有使光通过的孔部264。在面对光分离构件230的聚光构件的第一面(上表面)上，可以形成以孔部264为中心相对称的多个倾斜面262。所述多个倾斜面262可以沿着聚光构件260的长度方向较长地延伸，并且，这些倾斜面262可 以形成为平面或曲面。倾斜面262可以朝着孔部264向内侧倾斜而形成，而且，朝着孔部264越靠近内 侧，倾斜面262的倾斜角264就越小(θ i > θ 2 > θ 3 > θ 4)。当倾斜面262的倾斜角朝 着孔部264向内侧逐渐变小时，光入射部分的厚度也变小，可引起光折射率的变化。即，在 这些倾斜面262中，具有大倾斜角(Q1)的外侧倾斜面上的光折射角(Φ)，可以比具有小倾 斜角(θ4)的内侧倾斜面上的光折射角(Φ4)大。这样，如果光的折射角从聚光构件260的 外侧朝着内侧逐渐变小(Φ:> Φ2> Φ3> Φ4)，就可以使向聚光构件260的第一面(上 表面)入射的光透过聚光构件260之后，聚集在一处。图6和图7是表示本发明涉及的照明单元的工作状态的图，图6是表示照明单元 向图形P的平面部分照射光时的图，图7是表示照明单元向图形P的边缘倾斜面照射光时 的图。参照图6和图7可知，从光源220发出的光透过平行光变换构件240的同时，被转 换成平行光。该平行光在透过扩散构件250发生扩散，以便提高光均勻度，并且入射到光分 离构件230。光分离构件230的反射镜232将入射的光朝聚光构件260的方向反射，该反 射光入射到聚光构件260。向聚光构件260的中心区域入射的光，通过孔部264后照射在 检查对象物10上形成的图形P。向聚光构件260的周边区域入射的光，通过倾斜面262被 折射之后聚光在形成于检查对象物10上的图形P上。照射在检查对象物10的图形P上的 光，被图形P反射之后，通过聚光构件260的孔部264后入射到光分离构件230。入射到光 分离构件230的光透过反光镜232之后，向摄像单元300入射。如上所述，在光分离构件230的下侧具备聚光构件260，可以将被光分离构件230 反射的光聚光之后，照射在检查对象物10上。这样，跟不具备聚光构件260的以往照明单 元不同，可以使光的损失最小。并且，在光损失最小化的状态下照射检查对象物，可以获得 更清晰的图形的图像数据。参照图7，照明单元向图形P的边缘倾斜面照射光。在不具备聚光构件260的以往 照明单元的情况下，照明单元的光朝着边缘倾斜面垂直地向下方照射，光被边缘倾斜面反 射之后，并不朝向光分离构件，而是向图形的外侧分散，因此无法取得图形的边缘倾斜面的 清晰图像。但是，本发明涉及的照明单元可以沿倾斜方向朝图形P的边缘倾斜面照射光，使 得被边缘倾斜面反射的光不向外侧分散，而是入射到光分离构件230，由此，可以获取图形 的边缘倾斜面的清晰图像。图8至图12是表示聚光构件的其它实施例的图。如图8所示，在聚光构件260的第一面(上表面)上形成的倾斜面(262_1)，可以 以孔部为中心向外侧倾斜地形成，并且，倾斜面262的倾斜角可以朝着孔部向内侧逐渐减
小(θ 工 > θ 2 > θ 3 > θ 4)。如图9和图10所示，倾斜面262_2，262_3可以在聚光构件260的第二面(下表 面)形成。倾斜面262_2可以朝着孔部向内侧倾斜地形成(参照图9)，也可以是，倾斜面 262-3以孔部为中心向外侧倾斜地形成(参照图10)。另外，倾斜面262_2、262_3也可以是 朝着孔部向内侧逐渐减小(θ i > θ 2 > θ 3 > θ 4)。
此外，可以如图11所示地，聚光构件260'的面对光分离构件的第一面Pl是平面， 第一面Pl的相反面、即第二面Sl可以是向下侧凸起状的曲面。另外，也可以如图12所示地，聚光构件260"的面对光分离构件的第一面Pl和第一面Pl的相反面即第二面的中心部P2是平面，第二面的周边部Sl是向下侧凸起状的曲面。图13是表示照明单元的其它实施例的侧剖视图。图13所示的照明单元与图3所 示的照明单元执行相同的功能，因此，省略对图13的详细说明。下面，只对构成要素的配置 结构上的不同点进行说明。参照图13可知，照明单元包括外壳210、光源220-1、220-2、220-3、光分离构件 230、平行光变换构件240-1、240-2、240-3、扩散构件250以及聚光构件260。光源220-1、 220-2、220-3、光分离构件230、平行光变换构件240-1、240-2、240_3、扩散构件250以及聚 光构件260被收容在外壳210内，可以以一个模块的形式提供。外壳210可以大致以六面体形状提供。外壳210具有四边形形状的上壁214和下 壁216，并且，上壁214的边缘部和下壁216的边缘部通过侧壁212连接。在外壳210的上 壁214上形成有孔部215，该孔部215可以使透过光分离构件230的光通过，此外，在外壳 210的下壁216上形成有开口部217，该开口部217可以使透过聚光构件260的光通过。多个光源220-1、220-2、220_3沿着与图13所示平面相垂直的第一方向水平地排 成一列，也可以沿垂直于第一方向的第二方向上下层叠。光分离构件230的长度方向可以 朝向第一方向，也可以沿着与第一及第二方向垂直的第三方向同光源220-1、220-2、220-3 隔着间距配置。聚光构件260的长度方向可以朝向第一方向，也可以沿着第二方向在光 分离构件230的下侧隔着间距配置。平行光变换构件240-1、240-2、240-3可以位于光源 220-1、220-2、220-3和光分离构件230之间，且其长度方向朝向第一方向，还可以沿着第二 方向上下层叠。扩散构件250可以介于光分离构件230和平行光变换构件240-1、240-2、 240-3之间，其长度方向可以朝向第一方向。在以上说明中，以光分离构件230使用光分束镜(Beam Spliter)为例进行了 说明。但是，除了光分束镜之外，光分离构件还可以使用图14所示的半透半反镜(Half Mirror)230'。在上述说明中，举例说明了本发明的技术思想，对于本发明所属技术领域的普通 技术人员来说，在不超出本发明的本质特性的范围内，可以进行多种变更和变形。因此，本 发明记载的实施例并不是为了限定本发明的技术思想，而仅仅是为了说明本发明。所以，这 些实施例并不限定本发明的技术思想的范畴。应当理解为，本发明的保护范围应以权利要 求书的记载为准，与其同等范围内的全部技术思想都属于本发明的权利保护范围。
权利要求
一种照明单元，其特征在于，包括光源，发出光；光分离构件，根据入射的光的方向，使光反射或者透射；以及聚光构件，使从所述光源发出并且被所述光分离构件反射的光发生折射后，聚光在照明对象上，并且，将被所述照明对象反射的光引向所述光分离构件。
2.如权利要求1所述的照明单元，其特征在于，所述聚光构件沿着所述光分离机构反射光的方向，与所述光分离构件隔着间距配置； 在所述聚光构件的中心部形成有使光通过的孔部；在面对所述光分离构件的所述聚光构件的第一面和所述第一面的相反面即第二面中 的任一个面上，形成有以所述孔部为中心对称的多个倾斜面。
3.如权利要求2所述的照明单元，其特征在于，所述多个倾斜面的倾斜角，朝着所述孔部越向内侧变得越小。
4.如权利要求3所述的照明单元，其特征在于， 所述多个倾斜面朝着所述孔部向内侧倾斜。
5.如权利要求3所述的照明单元，其特征在于， 所述多个倾斜面以所述孔部为中心向外侧倾斜。
6.如权利要求4或者5所述的照明单元，其特征在于， 所述聚光构件具有与所述光分离构件的长度相对应的长度， 所述多个倾斜面沿着所述聚光构件的长度方向延伸的很长。
7.如权利要求6所述的照明单元，其特征在于， 所述多个倾斜面是平面。
8.如权利要求6所述的照明单元，其特征在于， 所述多个倾斜面是曲面。
9.如权利要求1所述的照明单元，其特征在于，所述聚光构件沿着所述光分离构件反射光的方向，与所述光分离构件隔着间距配置； 面对所述光分离构件的所述聚光构件的第一面的相反面、即第二面，是向下侧凸起状 的曲面。
10.如权利要求1所述的照明单元，其特征在于，所述聚光构件沿着所述光分离构件反射光的方向，与所述光分离构件隔着间距配置； 面对所述光分离构件的所述聚光构件的第一面的相反面、即第二面的中心部是平面， 所述第二面的周边部是向下侧凸起状的曲面。
全文摘要
本发明提供一种聚光构件和照明单元，以及利用该聚光构件和照明单元的光学检查装置，其中，利用聚光构件聚集向检查对象物照射的光。根据该结构，可以使照射在检查对象物(印刷电路板)上的光的损失最小，由此可以获取形成于基板上的图形倾斜面的清晰的图像数据。
文档编号F21S8/00GK101839426SQ20101012896
公开日2010年9月22日 申请日期2010年3月22日 优先权日2009年3月21日
发明者崔铉镐, 金敏秀 申请人:Aju高技术公司