专利名称：离子源的制作方法
技术领域：
本发明涉及离子源技术领域，尤其涉及一种辉光放电式离子源。
背景技术：
离子迁移谱仪中最关键的技术之一就是离子源，离子源的作用是用来产生离子， 而离子流的强度又是由离子的引出方式决定的，因此，离子源技术包括离子的有效产生和离子的有效引出两个主要部分。对于离子的有效产生，中国专利授权公告号为CN101452806 B，发明名称为一种电离源及其在质谱或者离子迁移谱中的应用中，描述了一种离子源，其包括直流电源、载气、 正负放电电极和限流电阻，其中，限流电阻和正负放电电极通过导线与直流电源和正负放电电极串联，组成一串联电路。可见，所述正负放电电极组成了一个通过辉光放电产生离子的放电体。对于离子的有效引出，现有技术中则很少有描述。
发明内容
为此，本发明所要解决的技术问题是提供一种离子源，使得该离子源产生的离子能够被有效的引出，同时又不影响离子源放电的稳定性。于是，本发明提供了一种离子源，该离子源包括电源、能够产生离子的放电体和离子引出电极，放电体的高压端连接电源，低压端通过限流电阻Rl接地，离子引出电极的一端通过分压电阻R3连接所述放电体的高压端，另一端通过分压电阻R2接地。其中，所述离子引出电极为金属环、金属筒或者金属网。所述放电体和离子引出电极之间的电压为引出电压，该引出电压
权利要求
1.一种离子源，其特征在于，包括电源、能够产生离子的放电体和离子引出电极，放电体的高压端连接电源，低压端通过限流电阻Rl接地，离子引出电极的一端通过分压电阻R3 连接所述放电体的高压端，另一端通过分压电阻R2接地。
2.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述离子引出电极为金属环、金属筒或者金属网。
3.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述放电体和离子引出电极之间的电
4.根据权利要求1至3任意一项所述离子源，其特征在于，所述电阻Rl的取值范围为 500ΚΩ 至 30ΜΩ。
5.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述放电体包括正负放电电极。
6.根据权利要求5所述的离子源，其特征在于，所述正负放电电极为两个位置相对的针状放电电极。
7.根据权利要求6所述的离子源，其特征在于，所述放电体还包括正负电极体和用于安全防护的腔状绝缘体，所述针状放电电极设置在正负电极体上，且伸入到绝缘体内，绝缘体上开设有放电气体入孔。
8.根据权利要求7所述的离子源，其特征在于，所述放电气体入孔为圆状或者缝状。
9.根据权利要求6所述的离子源，其特征在于，所述正负电极体上的针状放电电极，两电极之间的间距为Imm至10mm。
10.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述电源为高压电源，其电压范围为 3KV 至 30KV。
全文摘要
本发明提供了一种离子源，该离子源包括电源、能够产生离子的放电体和离子引出电极，放电体的高压端连接电源，低压端通过限流电阻R1接地，离子引出电极的一端通过分压电阻R3连接所述放电体的高压端，另一端通过分压电阻R2接地。本发明所述的离子源，通过增加离子引出电极、以及离子引出电极和放电体之间的引出电压，使得该离子源产生的离子能够被有效引出，同时又不影响离子源放电的稳定性。
文档编号H01J49/12GK102263005SQ20111017567
公开日2011年11月30日 申请日期2011年6月27日 优先权日2011年6月27日
发明者刘立秋, 张亦扬, 张伟, 徐翔, 颜毅坚, 马军 申请人:武汉矽感科技有限公司