利用多极透镜调整粒子束流的光阑及包含该光阑的设备的制作方法
【专利摘要】本发明的目的是提供一种利用多极透镜调整粒子束流的光阑及包含该光阑的设备。根据本发明的光阑，包括光阑板，其上包括多个分别具有不同孔径的小孔；多个多极透镜，包括位于该光阑板入射侧的第一组多个入射多极透镜及位于该光阑板出射侧的第二组多个出射多极透镜。本发明的优点在于：能够使得电子束以最优剖面轮廓通过光阑板，从而能够获得质量较好的图像；对光阑进行切换时，只需通过调整加在多极透镜上的电压，即可调整电子束的大小，因此光阑的切换更加快速且方便，在实践中仅需零点几秒即可完成光阑的切换，极大地提高了光阑的切换效率；并且，根据本发明的光阑比通常采用的使用步进式马达调整的光阑结构更加简单，且造价更便宜。
【专利说明】利用多极透镜调整粒子束流的光阑及包含该光阑的设备
【技术领域】
[0001]本发明涉及电子光学领域，尤其涉及利用多极透镜调整粒子束流的光阑及包含该光阑的设备。
【背景技术】
[0002]在电子光学领域的应用中，在电子束聚焦镜筒中往往需要改变电子束流的大小。传统的改变电子束流的方法包括两种，一种方法是使用固定的电子束光阑，通过控制电子束交叉光点与光阑的相互位置，来调整电子束的大小，这种方法虽然比较简单，但是降低了成像质量；另一种方法是采用多个电子束光阑来控制电子束的剖面轮廓，该多个电子束光阑通过步进式马达来驱动并调整自身的位置，该种方法虽然能够保证成像质量，但是光阑的转换较慢，通常至少需要数秒的时间，并且该种调整方法所需的装置较为复杂，需要花费较高的成本去制造。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是提供一种利用多极透镜调整电子束流的光阑及包含该光阑的设备。
[0004]根据本发明的一个方面，提供一种光阑，其包括:
[0005]-光阑板，其上包括多个分别具有不同孔径的小孔；
[0006]-多个多极透镜，包括位于该光阑板入射侧的第一组多个入射多极透镜及位于该光阑板出射侧的第二组多个出射多极透镜；
[0007]其中，所述第一组入射多极透镜分别具有适合的电场和/或磁场，用于将穿过其中的入射粒子束流调整至与初始光轴平行且相距预定距离的位置，以使所述入射例子束流通过所述光阑板上的特定小孔；
[0008]所述第二组多个出射多极透镜分别具有与所述第一组入射多极透镜相对应的适合的电场和/或磁场，以使得穿过所述光阑板上的特定小孔的出射粒子束流回归到所述初始光轴的位置。
[0009]根据本发明的另一个方面，还提供了 一种扫描电镜，所述扫描电镜包含所述光阑。
[0010]根据本发明的另一个方面，还提供了一种用于调节扫描电镜的方法，其中，所述扫描电镜包括所述光阑，所述方法包括以下步骤:
[0011]A根据所需粒子束流的大小来控制所述光阑中多个多极透镜的电场和/或磁场，以使初始粒子束流穿过所述光阑板上与所需粒子束流大小相对应的小孔。
[0012]与现有技术相比，本发明具有以下优点:1)根据本发明的方案，能够使得电子束以最优剖面轮廓通过光阑板，从而能够获得质量比较最好的图像；2)根据本发明的方案，对光阑进行切换时，只需通过调整加在多极透镜上的电压，即可调整电子束的大小，因此光阑的切换更加快速且方便，在实践中仅需零点几秒即可完成光阑的切换，极大地提高了光阑的切换效率；3)更进一步地，根据本发明的光阑比通常采用的使用步进式马达调整的光 阑结构更加简单，且造价更便宜。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
[0014]图1为根据本发明的一种光阑的结构示意图；
[0015]图2为粒子束流通过根据本发明的光阑的前一部分时的偏转示意图；
[0016]图3为包含根据本发明的一种光阑的扫描电镜的剖面结构不意图；
[0017]图4为一种用于条件包含根据本发明的一种光阑的扫描电镜的方法流程图。
[0018]附图中相同或相似的附图标记代表相同或相似的部件。
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图对本发明作进一步详细描述。
[0020]图1示意出了根据本发明的一种光阑。所述光阑(Beam Aperture)用于调节通过自身的粒子束流的大小。其中，所述粒子束流包括但不限于用于成像的带电粒子的弱束流。优选地，所述粒子束流包括但不限于以下任一种弱束流:
[0021]I)电子束；
[0022]2)离子束。
[0023]具体地，参照图1，所述光阑I包括光阑板11 (Aperture Plate)和多个多级透镜。
[0024]其中，所述光阑板11上包含多个分别具有不同孔径的小孔，用于截取经过自身的粒子束流。
[0025]所述多个多极透镜包括位于该光阑板11入射侧的第一组多个入射多极透镜12及位于该光阑板11出射侧的第二组多个出射多极透镜12’。
[0026]其中，所述每组多极透镜能够使所述粒子束流平移至与其进入该组多级透镜前的光轴平行且相距预定距离的位置。
[0027]优选地，所述多级透镜包括偶数级透镜，更优选地，包括但不限于以下任一种:
[0028]I) 二级透镜；
[0029]2)四级透镜；
[0030]3)八极透镜。
[0031]作为本发明的优选方案之一，所述多级透镜包括八极透镜，所述光阑I包括八极透镜光阑(Octupole Assembly Aperture)。
[0032]所述第一组入射多极透镜12分别具有适合电场和/或磁场，将穿过其中的入射粒子束流调整至与初始光轴平行且相距预定距离的位置，以使所述入射例子束流通过所述光阑板11上的特定小孔。
[0033]优选地，所述预定距离根据所述特定小孔与所述初始光轴间的距离来确定。
[0034]更优选地，所述初始光轴为光阑所处电子聚焦系统，例如电子扫描显微镜等的中轴。
[0035]所述第二组多个出射多极透镜12’分别具有与所述第一组入射多极透镜相对应的适合电场和/或磁场，以使得穿过所述光阑板11上的特定小孔的出射粒子束流回归到所述初始光轴的位置。
[0036]根据本发明的优选实施例之一，所述粒子束流包括电子束，所述多极透镜具有合适电场。所述第一组入射八极透镜包括两个入射八极透镜，所述第二组出射八极透镜包括两个出射八极透镜。
[0037]其中，所述第二个入射八极透镜的电场与第一个入射八极透镜的电场方向相反；所述第二个出射八极透镜的电场与第一个出射八极透镜的电场方向相反。
[0038]根据本发明的第一不例，参照图1，其中，光阑I包含于扫描电镜I中，光阑I的第一组多个入射多极透镜12包括两个八极透镜Octl和0ct2，光阑I的第二组多个出射多极透镜12’包括两个八极透镜0ct3和0ct4 ;其中，Octl和0ct2的电压方向相反，0ct3的电压分布与0ct2相同，0ct4的电压分布与Octl相同。
[0039]再参照图2，电子束Beaml的初始光轴与该扫描电镜的电子聚焦系统中轴平行，当电子束Beaml进入第一个八极透镜Octl时，由于Octl内部的电场而产生一定角度的偏转，并保持偏转后的切线轨迹进入0ct2,接着，电子束Beaml由于受到0ct2内部与Octl相反的电场作用力，而产生第二次偏转。电子束Beaml在第二次偏转后，其轨迹变化至与初始光轴平行，但与初始光轴之间相距距离为d的位置。接着，电子束在到达具有多个小孔的光阑板11时，穿过该光阑板11上的、与初始光轴距离为d，且位于由当前的电子束轨迹及初始光轴所确定的平面上的小孔Hl，从而截取到与该小孔Hl相应大小的电子束Beaml’。
[0040]接着，当截取后的电子束Beaml’通过0ct3和0ct4时，0ct3和0ct4内部的电场，通过与在Octl和0ct2中相似的方式，将该所需大小的电子束Beaml’的轨迹调整至进入Octl前的初始光轴位置。
[0041]其中，本领域技术人员应能理解，根据本发明的光阑，可以通过调节加诸于各个多极透镜上的电压、以及多极透镜上各个电极的电压等参数，来调节粒子束流的偏移角度及距离，以使得粒子束流通过光阑板上合适的小孔，从而获得所需大小的粒子束流。
[0042]根据本发明的方案，能够使得电子束以最优剖面轮廓通过光阑板，从而能够获得质量比较最好的图像；其次，根据本发明的方案，对光阑进行切换时，只需通过调整加在多极透镜上的电压，即可调整电子束的大小，因此光阑的切换更加快速且方便，在实践中仅需零点几秒即可完成光阑的切换，极大地提高了光阑的切换效率；更进一步地，根据本发明的光阑比现有的采用步进式马达切换光阑的仪器结构更加简单，且造价更便宜。
[0043]图3示意出了一种包含如图1所示的光阑的扫描电镜的剖面结构的示意图。所述扫描电镜包括但不限于能够利用带电粒子的弱流束成像的电子光学仪器。
[0044]优选地，所述扫描电镜包括以下任一种:
[0045]I)常规扫描电镜(scanning electron microscope, SEM)；
[0046]2)环境扫描电镜(environmental scanning electron microscope, ESEM)；
[0047]3)场发射扫描电镜(field emission scanning electron microscope,FESEM)；
[0048]4)扫描透射电镜(scanning transmission electron microscopy, STEM)。
[0049]参照图3，所述扫描电镜包括光阑1、电子源2、用于成像的电子透镜3(其中包括第一级电子透镜31以及第二级电子透镜32)、成像装置4、样品台5以及扫描偏转装置6。
[0050]在图3所示意的扫描电镜中，来自电子源的电子束先通过光阑I，由光阑I截取成所需大小之后，通过电子透镜3以及扫描偏转装置6将样品台5上的样品成像，并在成像装置4中展现给用户。
[0051]其中，所述光阑I可以与扫描电镜的聚焦系统中轴成任意角度，或者与聚焦系统中轴偏移任意距离。
[0052]根据本发明的一个优选实施例，所述扫描电镜还包括偏转控制装置(图未示)。
[0053]其中，所述偏转控制装置根据所需粒子束流的大小来控制所述光阑中多个多极透镜的电场和/或磁场，以使初始粒子束流穿过所述光阑板上与所需粒子束流大小相对应的小孔。
[0054]具体地，所述根据所需粒子束流的大小来控制所述光阑中多个多极透镜的电场和/或磁场，以使初始粒子束流穿过所述光阑板上与所需粒子束流大小相对应的小孔的方式包括但不限于以下任一种:
[0055]I)包含于偏转控制装置中的第一确定装置根据所需粒子束流的大小来查询预设偏转数值表，以确定与所需粒子束流的大小相对应的所述多极透镜电场和/或磁场的相关调整参数；接着，包含于偏转控制装置中的第一调整装置根据所述相关调整参数来控制所述光阑中多个多极透镜的电场和/或磁场，以使初始粒子束流穿过所述光阑板上与所需粒子束流大小相对应的小孔。
[0056]其中，偏转控制装置所存储的预设偏转数值表中，包含了与多个粒子束流的大小范围分别对应的多极透镜电场和/或磁场的相关调整参数，则第一确定装置根据已获得的粒子束流的大小，确定当前所需的粒子束流大小所属的范围，并获取与该粒子束流的大小范围相对应的多极透镜电场和/或磁场的相关调整参数。
[0057]2)包含于偏转控制装置中的第二确定装置根据所需粒子束流的大小来确定初始粒子束流所需穿过的所述光阑板上的小孔；接着，包含于偏转控制装置中的第二调整装置根据所确定的小孔相应地调整多个多极透镜的电场和/或磁场的电压，以使所述初始粒子束流与初始光轴平行地穿过该所确定的小孔。
[0058]具体地，所述第二确定装置根据所需粒子束流的大小，来查询包含了与多个粒子束流的大小范围分别对应的小孔的预设孔径列表，以获得与所需粒子束流的大小对应的小孔。
[0059]其中，所述第二调整装置根据所确定的小孔相应地调整多个多极透镜的电场和/或磁场的电压，以使所述初始粒子束流与初始光轴平行地穿过该所确定的小孔的方式包括但不限于以下任一种:
[0060]a)当存在包含与各个小孔分别对应的各个所述多极透镜的电场和/或磁场的相关调整参数的预设参数表时，第二调整装置根据所确定的小孔查询获得与该小孔相对应的各个多极透镜的电场和/或磁场的相关调整参数，并根据所述相关调整参数来调整所述光阑中各个多极透镜的电场和/或磁场，以使所述初始粒子束流与初始光轴平行地穿过该所确定的小孔。
[0061]b)第二调整装置获取第二确定装置所确定的小孔相对于粒子束流的初始光轴的距离信息，并将该位置信息作为粒子束流的偏移距离；接着，第二调整装置根据预定公式，确定得需要将粒子束流调整至位于由初始光轴以及所选小孔确定的平面上、与初始光轴平行且相距该偏转距离的轨迹上时，所需的各个多极透镜的电场和/或磁场的相关调整参数，以根据所述相关调整参数来调整所述光阑中各个多极透镜的电场和/或磁场，以使所述初始粒子束流与初始光轴平行地穿过该所确定的小孔。
[0062]其中，所述预定公式包括但不限于用于对于每个多级透镜，确定其各个电极的相对于初始光轴的方位角、各个电极的电极电压、粒子束流相对于初始光轴的方位角以及该多级透镜上的电压这四者需要满足的关联关系。
[0063]优选地，当所述多极透镜包括八极透镜时，前述四项信息所需满足以下公式所示的关联关系:Vn = A.Cos ( α n- Θ )。
[0064]其中,η表不该电极在八极透镜的八个电极中第η个电极的序号,Vn表不该第η个电极的电极偏移电压，A表不该八极透镜上的基本电压，α 11表不该第η个电极相对于初始光轴的方位角；Θ表不偏转后的粒子束流相对于初始光轴的方位角。
[0065]在一示例中，八极透镜中第I个电极的方位角\为从初始光轴起22.5°，其余各个方位角依次在前一方位角基础上增加45°后得到，具体如下:
[0066]α 2 = 22.5° +45。= 67.5° ；
[0067]α3 = 67.5。+45。=112.5° ；
[0068]α 4 = 112.5° +45。=157.5° ；
[0069]α 5 = 157.5° +45。= 202.5° ；
[0070]α 6 = 202.5° +45。= 247.5° ；
[0071]α 7 = 247.5° +45° = 292.5° ；
[0072]α 8 = 292.5° +45° = 337.5°。
[0073]其中，上述方位角数值仅为示例，本领域技术人员应可根据实际情况和需求来确定多极透镜中各个电极的方位角αη。
[0074]接着，第二调整装置根据偏转距离以及小孔位置，可确定偏转后粒子束流相对于初始光轴的方位角Θ，并进而可获知相对于当前的各个Vn和PA的调整信息。例如，根据新的Cos ( α η- Θ )的值相应地调整各个Vn的值，以使新的各个VnM能满足Vn = A-Cos ( α η- Θ )；或者，通过同时调整A和Vn来使得新的A与Vn能够满足Vn = A.Cos ( α η- Θ )等；又或者，直接由预定的多组A与Vn中选择与当前的Cos( α η- Θ )相对应的一组A与Vn等。
[0075]需要说明的是，上述具体的关联关系及相应的调整参数的方式仅为示例，本领域技术人员应可根据实际情况和需求来确定或选择所使用的关联关系及对应的预定公式，以及相应地采用所选择的预定公式来获得相关调整参数的方式，而不局限于本说明书的举例中所述的方式，任何可根据粒子束流的偏移信息来获得各个多极透镜的电场和/或磁场的相关调整参数的方式，均应包含在本发明的范围内。
[0076]本领域技术人员应可根据实际情况和需求确定该偏转控制装置的位置，例如，将该偏转控制装置包含于所述扫描电镜的控制芯片中的方式等，故不再赘述。
[0077]图4示意出了一种用于调节包含如图1所示的光阑的扫描电镜的方法的流程图。其中，所述扫描电镜包括但不限于能够利用带电粒子的弱流束成像的电子光学仪器。
[0078]优选地，所述扫描电镜包括以下任一种:
[0079]I)常规扫描电镜(scanning electron microscope, SEM)；
[0080]2)环境扫描电镜(environmental scanning electron microscope, ESEM)；
[0081]3)场发射扫描电镜(field emission scanning electron microscope,FESEM)；
[0082]4)扫描透射电镜(scanning transmission electron microscopy, STEM)。[0083]所述方法包括步骤SI。
[0084]具体地，参照图4，在步骤SI中，扫描电镜根据所需粒子束流的大小来控制所述光阑中多个多极透镜的电场和/或磁场，以使初始粒子束流穿过所述光阑板上与所需粒子束流大小相对应的小孔。其中，所述光阑可以与扫描电镜的聚焦系统中轴成任意角度，或者与聚焦系统中轴偏移任意距离。
[0085]具体地，所述根据所需粒子束流的大小来控制所述光阑中多个多极透镜的电场和/或磁场，以使初始粒子束流穿过所述光阑板上与所需粒子束流大小相对应的小孔的方式包括但不限于以下任一种:
[0086]I)扫描电镜根据所需粒子束流的大小来查询预设偏转数值表，以确定与所需粒子束流的大小相对应的所述多极透镜电场和/或磁场的相关调整参数；接着，扫描电镜根据所述相关调整参数来控制所述光阑中多个多极透镜的电场和/或磁场，以使初始粒子束流穿过所述光阑板上与所需粒子束流大小相对应的小孔。
[0087]其中，扫描电镜所存储的预设偏转数值表中，包含了与多个粒子束流的大小范围分别对应的多极透镜电场和/或磁场的相关调整参数，则扫描电镜根据已获得的粒子束流的大小，确定当前所需的粒子束流大小所属的范围，并获取与该粒子束流的大小范围相对应的多极透镜电场和/或磁场的相关调整参数。
[0088]2)扫描电镜根据所需粒子束流的大小来确定初始粒子束流所需穿过的所述光阑板上的小孔；接着，扫描电镜根据所确定的小孔相应地调整多个多极透镜的电场和/或磁场的电压，以使所述初始粒子束流与初始光轴平行地穿过该所确定的小孔。
[0089]具体地，扫描电镜根据所需粒子束流的大小，来查询包含了与多个粒子束流的大小范围分别对应的小孔的预设孔径列表，以获得与所需粒子束流的大小对应的小孔。
[0090]其中，扫描电镜根据所确定的小孔相应地调整多个多极透镜的电场和/或磁场的电压，以使所述初始粒子束流与初始光轴平行地穿过该所确定的小孔的方式包括但不限于以下任一种:
[0091]a)当存在包含与各个小孔分别对应的各个所述多极透镜的电场和/或磁场的相关调整参数的预设参数表时，扫描电镜根据所确定的小孔查询获得与该小孔相对应的各个多极透镜的电场和/或磁场的相关调整参数，并根据所述相关调整参数来调整所述光阑中各个多极透镜的电场和/或磁场，以使所述初始粒子束流与初始光轴平行地穿过该所确定的小孔。
[0092]b)扫描电镜所确定的小孔相对于粒子束流的初始光轴的距离信息，并将该位置信息作为粒子束流的偏移距离；接着，扫描电镜根据预定公式，确定得需要将粒子束流调整至位于由初始光轴以及所选小孔确定的平面上、与初始光轴平行且相距该偏转距离的轨迹上时，所需的各个多极透镜的电场和/或磁场的相关调整参数，以根据所述相关调整参数来调整所述光阑中各个多极透镜的电场和/或磁场，以使所述初始粒子束流与初始光轴平行地穿过该所确定的小孔。
[0093]其中，所述预定公式包括但不限于用于对于每个多级透镜，确定其各个电极的相对于初始光轴的方位角、各个电极的电极电压、粒子束流相对于初始光轴的方位角以及该多级透镜上的电压这四者需要满足的关联关系。
[0094]优选地，当所述多极透镜包括八极透镜时，前述四项信息所需满足以下公式所示的关联关系:Vn = A.Cos ( α η- θ )。
[0095]其中,η表不该电极在八极透镜的八个电极中第η个电极的序号,Vn表不该第η个电极的电极偏移电压，A表不该八极透镜上的电压，α η表不该第η个电极相对于初始光轴的方位角；Θ表不偏转后的粒子束流相对于初始光轴的方位角。
[0096]在一示例中，八极透镜中第I个电极的方位角\为从初始光轴起22.5°，其余各个方位角依次在前一方位角基础上增加45°后得到，具体如下:
【权利要求】
1.一种光阑，其包括: -光阑板，其上包括多个分别具有不同孔径的小孔； -多个多极透镜，包括位于该光阑板入射侧的第一组多个入射多极透镜及位于该光阑板出射侧的第二组多个出射多极透镜； 其中，所述第一组多个入射多极透镜分别具有适合电场和/或磁场，用于将穿过其中的入射粒子束流调整至与初始光轴平行且相距预定距离的位置，以使所述入射例子束流通过所述光阑板上的特定小孔； 所述第二组多个出射多极透镜分别具有与所述第一组入射多极透镜相对应的适合电场和/或磁场，以使得穿过所述光阑板上的特定小孔的出射粒子束流回归到所述初始光轴的位置。
2.根据权利要求1所述的光阑，其中，所述粒子束流包括电子束，所述多极透镜具有适合电场。
3.根据权利要求2所述的光阑，其中，所述多极透镜包括八极透镜。
4.根据权利要求3所述的光阑，其中，所述第一组入射八极透镜包括两个入射八极透镜，所述第二组出射八极透镜包括两个出射八极透镜。
5.根据权利要求4所述的光阑，其中， 所述第二个入射八极透镜的电场与第一个入射八极透镜的电场方向相反； 所述第二个出射八极透镜的电场与第一个出射八极透镜的电场方向相反。
6.—种扫描电镜,其包括如权利要求1至5中任一项所述的光阑。
7.根据权利要求6所述的扫描电镜，还包括: 偏转控制装置，用于根据所需粒子束流的大小来控制所述光阑中多个多极透镜的电场和/或磁场，以使初始粒子束流穿过所述光阑板上与所需粒子束流大小相对应的小孔。
8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述偏转控制装置包括: 第一确定装置，用于根据所需粒子束流的大小来查询预设偏转数值表，以确定与所需粒子束流的大小相对应的所述多极透镜电场和/或磁场的相关调整参数； 第一调整装置，用于根据所述相关调整参数来控制所述光阑中多个多极透镜的电场和/或磁场，以使初始粒子束流穿过所述光阑板上与所需粒子束流大小相对应的小孔。
9.根据权利要求7所述的方法，其中，所述偏转控制装置包括: 第二确定装置，用于根据所需粒子束流的大小来确定初始粒子束流所需穿过的所述光阑板上的小孔； 第二调整装置，用于根据所确定的小孔相应地调整多个多极透镜的电场和/或磁场的电压，以使所述初始粒子束流与初始光轴平行地穿过该所确定的小孔。
10.根据权利要求6至9中任一项所述的扫描电镜,所述扫描电镜包括以下任一种: -常规扫描电镜； -环境扫描电镜； -场发射扫描电镜； -扫描透射电镜。
11.一种用于调节扫描电镜的方法，其中，所述扫描电镜包括如权利要求1至5中任一项所述的光阑，其中，所述方法包括以下步骤:A根据所需粒子束流的大小来控制所述光阑中多个多极透镜的电场和/或磁场，以使初始粒子束流穿过所述光阑板上与所需粒子束流大小相对应的小孔。
12.根据权利要求11所述的方法，所述步骤A包括以下步骤: -根据所需粒子束流的大小来查询预设偏转数值表，以确定与所需粒子束流的大小相对应的所述多极透镜电场和/或磁场的相关调整参数； -根据所述相关调整参数来控制所述光阑中多个多极透镜的电场和/或磁场，以使初始粒子束流穿过所述光阑板上与所需粒子束流大小相对应的小孔。
13.根据权利要求11所述的方法，所述步骤A包括以下步骤: -根据所需粒子束流的大小来确定初始粒子束流所需穿过的所述光阑板上的小孔； -根据所确定的小孔相应地调整多个多极透镜的电场和/或磁场的电压，以使所述初始粒子束流与初始光轴平行地穿过该所确定的小孔。
14.根据权利要求11至13中任一项所述的方法，其中，所述扫描电镜包括以下任一种: -常规扫描电镜； -环境扫描电镜； -场发射扫描电镜； -扫描透射电镜。
【文档编号】H01J37/26GK103456589SQ201210177109
【公开日】2013年12月18日 申请日期:2012年5月31日 优先权日:2012年5月31日
【发明者】李家铮 申请人:睿励科学仪器（上海）有限公司