一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的信号过滤结构的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的信号过滤结构，所述感应耦合等离子体刻蚀机包括气体流量器和与该气体流量器通过信号线连接的氦气阀开闭控制装置，所述气体流量器和氦气阀开闭控制装置之间的信号线上设有一信号过滤器，且该信号过滤器一端接地。本发明在气体流量器和氦气阀开闭控制装置之间的信号线上增设一信号过滤器，且该信号过滤器一端接地，由此能够把信号干扰通过接地线排除，使气体流量器发出的信号通过信号过滤器完整地发送到氦气阀开闭控制装置，确保信号稳定的传送。
【专利说明】一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的信号过滤结构
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的信号过滤结构。
【背景技术】
[0002]制备晶圆过程中所使用感应耦合等离子体刻蚀机，在使用时，比较容易产生氦气阀没有打开的警报，这种警报发生后，会造成很高的晶圆报废率。
[0003]控制氦气的是气体流量器，即气体流量器通过向氦气阀开闭控制装置发出控制信号，来控制氦气阀的开闭，但感应耦合等离子体刻蚀机运行时，等离子体会对信号产生干扰，造成气体流量器发出的信号不稳定，进而影响氦气阀的开闭。
【发明内容】
[0004]本发明的目的，就是为了解决上述问题而提供了一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的信号过滤结构。
[0005]本发明的目的是这样实现的:
[0006]本发明的一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的信号过滤结构，所述感应耦合等离子体刻蚀机包括气体流量器和与该气体流量器通过信号线连接的氦气阀开闭控制装置，所述气体流量器和氦气阀开闭控制装置之间的信号线上设有一信号过滤器，且该信号过滤器一端接地。
[0007]本发明在气体流量器和氦气阀开闭控制装置之间的信号线上增设一信号过滤器，且该信号过滤器一端接地，由此能够把信号干扰通过接地线排除，使气体流量器发出的信号通过信号过滤器完整地发送到氦气阀开闭控制装置，确保信号稳定的传送。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]图1是本发明的结构示意图。
【具体实施方式】
[0009]下面将结合附图，对本发明作进一步说明。
[0010]请参阅图1，本发明用于感应耦合等离子体刻蚀机的信号过滤结构。感应耦合等离子体刻蚀机包括气体流量器I和与该气体流量器I通过信号线11连接的氦气阀开闭控制装置2，气体流量器I和氦气阀开闭控制装置2之间的信号线11上设有一信号过滤器3，且该信号过滤器3 —端接地。
[0011]信号过滤器3两端分别有16PIN的输入接口和输出接口，气体流量器I通过信号线11与信号过滤器3的输入接口连接，信号过滤器3的输出接口通过信号线11与氦气阀开闭控制装置2连接，信号过滤器3本身加装一根接地线，能够把信号干扰通过这根接地线排除，使气体流量器I发出的信号通过信号过滤器3完整地发送到氦气阀开闭控制装置2，确保信号稳定的传送。[0012]以上实施例仅供说明本发明之用，而非对本发明的限制，有关【技术领域】的技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以作出各种变换或变型，因此所有等同的技术方案也应该属于本发明的范畴，应由各权利要求所限定。
【权利要求】
1.一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的信号过滤结构，所述感应耦合等离子体刻蚀机包括气体流量器和与该气体流量器通过信号线连接的氦气阀开闭控制装置，其特征在于，所述气体流量器和氦气阀开闭控制装置之间的信号线上设有一信号过滤器，且该信号过滤器一端接地。
【文档编号】H01J37/32GK103871817SQ201210552670
【公开日】2014年6月18日 申请日期:2012年12月18日 优先权日:2012年12月18日
【发明者】黄惠良, 李雪峰, 陈子勇 申请人:上海鸿辉光通科技股份有限公司