专利名称：一种自动送料装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种自动送料装置，更具体地，尤其涉及一种晶圆(wafer)的激光标记、切割加工设备以及LED蓝宝石晶圆激光剥离设备中的送料装置。
背景技术：
现有LED晶圆激光剥离设备中的晶圆送料基本采用人工单片取料和卸料，生产效率低；同时因为人工操作的个性化，在取料和卸料过程中造成半成品和成品污染和损坏几
率较高
实用新型内容
本实用新型的目的是克服现有技术的缺点，提供一种设计合理自动送料装置，其自动化程度闻，以及闻可罪性、低成本，能有效提闻生广效率和品质的机械手。为达上述目的，本实用新型的一种自动送料装置，采用以下的技术方案一种自动送料装置，包含工作台，工作台上端设有顶板，顶板上设有取料盒、卸料盒和载物平台，工作台内设有传输机构，传输机构包括水平直线移动机构与垂直直线移动机构，该水平直线移动机构上设有垂直直线移动机构，垂直直线移动机构上设有一个取料臂，取料臂上部设有一个取料头。进一步，所述工作台包括底板，底板上立装有左侧板、右侧板和背板，在左侧板、右侧板和背板上盖有顶板，在正面装有前封板，背板上组装有传输机构。进一步,所述取料盒位于工作台左侧,卸料盒位于工作台右侧,且取料盒和卸料盒相对载物平台呈左右对称布置，取料盒和卸料盒为晶圆加工行业通用夹具cassette (卡座),该cassette (卡座)通过顶板上装配的左固定档块、右固定档块和固定档块固定。进一步，所述取料臂中间有连接真空用的孔，取料头中间有通孔，取料头的通孔与取料臂的孔相连通，取料头表面有一个或多个真空吸孔或真空槽。进一步，所述水平直线移动机构顶部设有防护罩，水平直线移动机构包括A驱动电机，该A驱动电机装于A安装座上，该A安装座内套设有A联轴器，该A联轴器的右端与A驱动电机相连接，A联轴器的左端与A丝杆相连接，A丝杆与A滑块单元相连接，A滑块单元与A过渡板相连接,A过渡板与A连接板相连接；A滑块单元上装有A过渡板,在A过渡板上设有A连接板，该A连接板上设有垂直直线移动机构，A安装座镶有导轨，导轨上安装有A滑块单元，A安装座以及A滑块单元形成收容空间，A丝杆位于该收容空间内。进一步，垂直直线移动机构侧面平行设有限位开关组件，垂直直线移动机构包括B驱动电机，该B驱动电机装于垂直直线移动机构的B安装座上，该B安装座内套设有B联轴器，该B联轴器下端与B驱动电机相连接，B联轴器的上端与B丝杆相连接，B丝杆与B滑块单元相连接，传输机构之垂直直线移动机构的B滑块单元与B过渡板相连接，B过渡板与B连接板相连接，B安装座和B连接板之间有防尘盖板；B滑块单元上装有B过渡板，在B过渡板上设有B连接板，该B连接板上设有取料臂，该取料臂上部装有取料头，B安装座镶有导轨，导轨上安装有B滑块单元，B安装座以及B滑块单元形成收容空间，B丝杆位于该收容空间内。进一步，所述自动送料装置还包括一套检测料光纤传感器，该光纤传感器嵌固于取料臂中。本实用新型送料装置通过采用所述传输机构使得取料和卸料一套机构完成，减少了运动机构，降低了成本，提高了机构可靠性；且因取料盒和卸料盒与半成品包装盒、成品包装盒通用，通过整盒倒片，取消了加工前和加工后人工装片工序，从而减少了工时，提高了效率，同时减少了可能因人工装片造成的产品污染，提高了产品质量。
图I所示为本实用新型的示意图。图2所示为本实用新型传输机构的示意图。图3所示为本实用新型送水平移动机构的示意图。图4所示为本实用新型垂直移动机构的示意图。图5所示为本实用新型检测机构的示意图。图6所示为本实用新型的结构示意图。以下是本实用新型零部件符号标记说明左侧板I、固定档块2、左固定档块3、取料盒5、载物平台6、晶圆片7、光纤传感器放大器8、右固定档块9、料盒底板10、顶板11、右侧板12、背板13、拖链护板14、底板15、卸料盒17、传输机构20、防护罩21、水平直线移动机构22、A安装座221、A滑块单元222Λ过渡板223、A连接板224、A丝杆225、A联轴器226、A驱动电机227、限位开关组件23、取料头24、取料臂25、垂直直线移动机构26、B安装座261、防尘盖板262、B连接板263、B联轴器264、Β驱动电机265、感应片266、Β过渡板267、Β滑块单元268、Β丝杆269、光纤传感器27。
具体实施方式
为能进一步了解本实用新型的特征、技术手段以及所达到的具体目的、功能，解析本实用新型的优点与精神，藉由
以下结合附图与具体实施方式
对本实用新型的详述得到进一步的了解。本实用新型设计出一种。本实用新型的送料装置包括工作台，工作台上设有取料盒5和卸料盒17，工作台下面设有传输机构20,该传输机构20包括一个水平直线移动机构22,该水平直线移动机构22上有一个垂直直线移动机构26，垂直直线移动机构26上有一个取料臂25，该取料臂25上部装有一个取料头24，该取料头24上有一个或多个真空吸孔或真空槽。请参阅图1，本实用新型的工作台包括底板15，其上立装有左侧板I、右侧板12和背板13，在左侧板I、右侧板12和背板13上盖有顶板11，在正面装有前封板，在顶板11上组装有取料盒5、卸料盒17和载物平台6，取料盒5位于工作台左侧，卸料盒17位于工作台右侧，且取料盒5和卸料盒17相对载物平台6呈左右对称布置。所述取料盒5和卸料盒17为晶圆加工行业通用夹具cassette (卡座),该cassette (卡座)通过顶板11上装配的左固定档块3、右固定档块9和固定档块2固定，在所述背板13上组装有传输机构20。[0023]请参阅图2，所述传输机构20包括水平直线移动机构22，该水平直线移动机构22上装配垂直直线移动机构26，在垂直直线移动机构26上装配有取料臂25，取料臂25上装有取料头24。在所述取料臂25中间有连接真空用的孔，所述取料头24中间有通孔，并与取料臂25相连通。取料头24表面有一个或多个真空吸孔或真空槽。请参阅图3，水平直线移动机构22顶部设有防护罩21，所述水平直线移动机构22包括A驱动电机227，该A驱动电机227装于A安装座221上，该A安装座221内套设有A联轴器226，该A联轴器226的右端与所述A驱动电机227相连接，A联轴器226的左端与A丝杆225相连接，所述A丝杆225与A滑块单元222相连接。A滑块单元222连接A过渡板223，A过渡板223连接A连接板224。请参阅图4，垂直直线移动机构26侧面平行设有限位开关组件23，所述垂直直线移动机构26包括B驱动电机265，该B驱动电机265装于垂直直线移动机构26的B安装座261上，该B安装座261内套设有B联轴器264，该B联轴器264的下端与所述B驱动电机265相连接，B联轴器264的上端与B丝杆269相连接，所述B丝杆269与B滑块单元268相连接，B滑块单元268与B过渡板267相连接，B过渡板267与B连接板263相连接；在 B安装座261和B连接板263之间有防尘盖板262。请参阅图5，该送料装置还包括一套检测料光纤传感器27，该光纤传感器27嵌固于取料臂25中。请结合图I、图2、图3、图4、图5，并请参阅图6，下面描述该送料装置的工作过程。首先将待加工整盒晶圆片倒片到取料盒5中，放置于工作台面左侧取料位，将另一个空的卸料盒17放置于右侧卸料位，开始启动送料。传输机构初始位置为水平直线移动机构22位于左侧取料位(即取料用cassette盒中心位置)，垂直直线移动机构26位于下端极限点。垂直直线移动机构26按设定好的步距向上移动，当光纤传感器27检测取料盒5中有料，开启真空，取料头24吸取晶圆片7，待真空达到设定的真空度后，水平直线移动机构22开始向右移动，到载物平台6中心位置，垂直直线移动机构26向下移动，达到载物平台6高度位置时，取料头24上的真空释放，晶圆片7被放置于载物平台6上，待晶圆片7加工完后，垂直直线移动机构26向上移动，达到载物平台6高度位置时，真空开启，晶圆片7被取料头24真空固定并继续随垂直直线移动机构26向上移动达到卸料用cassetted卸料盒17相应高度位置，水平直线移动机构22向右移动到达工作台右侧卸料位cassette卸料盒17中，真空释放，垂直直线移动机构26向下移动，使加工后的晶圆片7放置于卸料位cassetted卸料盒17中，完成了一片晶圆片7的取料和卸料过程。然后，水平直线移动机构10向左移动到取料位，等待下一次取料和卸料。综上所述，本送料装置通过两套直线移动机构即可精确的实现取料和卸料过程，同时采用晶圆加工行业通用的cassette作为取料和卸料容器，降低了成本，同时减少了人工倒片、取料和卸料造成的时间浪费和可能产品二次污染，提高了生产效率和产品质量。本实用新型结构特征在于送料装置的工作台上设有取料盒5和卸料盒17，工作台下面还设有传输机构20,该传输机构20包括一个水平直线移动机构22,该水平直线移动机构22上有一个垂直直线移动机构26，垂直直线移动机构26上有一个取料臂25，取料臂25上部有一个取料头24，取料头24上有一个或多个真空吸孔或真空槽。工作台包括顶板11、左侧板I、右侧板12、背板13和前封板，取料盒5和卸料盒17置于该顶板11上，传输机构20置于该背板13上。传输机构20的水平直线移动机构22包括A驱动电机227，该A驱动电机227装于水平直线移动机构22的A安装座221上，该A安装座221内套设有A联轴器226，该A联轴器226的右端与A驱动电机227相连接，A联轴器226的左端与A丝杆225相连接，A丝杆225与A滑块单元222相连接。传输机构20的垂直直线移动机构26包括B驱动电机265，该B驱动电机265装于垂直直线移动机构26的B安装座261上，该B安装座261内套设有B联轴器264，该B联轴器264的下端与B驱动电机265相连接，B联轴器264的上端与B丝杆269相连接，B丝杆269与B滑块单元268相连接。传输机构20的水平直线移动机构22的A滑块单元222与A连接板224相连接，该A连接板224上设有垂直直线移动机构26。传输机构20之垂直直线移动机构26的B滑块单元268与B连接板263相连接，该B连接板263上设有取料臂25，该取料臂25上部装有取料头24。A安装座221镶有导轨，导轨上安装有A滑块单元222，A安装座221以及A滑块单元222形成收容空间，A丝杆225位于该收容空间内。B安装座261镶有导轨，导轨上安装有B滑块单元268，B安装座261以及B滑块单元268成收容空间，B丝杆269位于该收容空间内。送料装置还包括检测机构，该检测机构为光纤传感器27，取料盒5和卸料盒17均为晶圆加工行业通用的cassette,方便与产品包装盒倒片。以上所述实施例仅表达了本实用新型的部分实施方式，其描述较为具体和详细， 但并不能因此而理解为对本实用新型范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型的保护范围应以所附权利要求为准。
权利要求1.一种自动送料装置，包含有工作台，所述工作台上端设有顶板(11)，其特征在于所述顶板(11)上设有取料盒(5 )、卸料盒(17)和载物平台(6 )，所述工作台内设有传输机构(20)，所述传输机构(20)包括水平直线移动机构(22)与垂直直线移动机构(26)，所述水平直线移动机构(22)上设有所述垂直直线移动机构(26)，所述垂直直线移动机构(26)上设有一个取料臂(25 )，所述取料臂(25 )上部设有一个取料头(24 )。
2.根据权利要求I所述的一种自动送料装置，其特征在于所述工作台包括底板(15)，所述底板(15)上立装有左侧板(I )、右侧板(12)和背板(13)，在左侧板(I )、右侧板(12)和背板(13)上面设有所述顶板(11 )，所述工作台正面装有前封板，所述背板(13)上组装有所述传输机构(20 )。
3.根据权利要求I所述的一种自动送料装置，其特征在于所述取料盒(5)位于所述工作台左侧，所述卸料盒(17)位于所述工作台右侧，且所述取料盒(5)和所述卸料盒(17)相对所述载物平台(6)呈左右对称布置。
4.根据权利要求I所述的一种自动送料装置，其特征在于所述取料臂(25)中间有连接真空用的孔，所述取料头(24)中间有通孔，所述取料头(24)的通孔与所述取料臂(25 )的孔相连通，所述取料头(24)表面有一个或多个真空吸孔或真空槽。
5.根据权利要求I所述的一种自动送料装置，其特征在于所述水平直线移动机构(22)顶部设有防护罩(21)，所述水平直线移动机构(22)包括A驱动电机(227)，所述A驱动电机(227)装于A安装座(221)上，所述A安装座(221)内套设有A联轴器(226)，所述A联轴器(226 )的右端与所述A驱动电机(227 )相连接，所述A联轴器(226 )的左端与A丝杆(225 )相连接，所述A丝杆(225 )与A滑块单元(222 )相连接，所述A滑块单元(222 )与A过渡板(223 )相连接，所述A过渡板(223 )与A连接板(224 )相连接。
6.根据权利要求5所述的一种自动送料装置，其特征在于所述A滑块单元(222)上装有A过渡板(223)，所述A过渡板(223)上设有A连接板(224)，所述A连接板(224)上设有所述垂直直线移动机构(26)，所述A安装座(221)镶有导轨，所述导轨上安装有A滑块单元(222),所述A安装座(221)以及A滑块单元(222)形成收容空间，所述A丝杆(225)位于该收容空间内。
7.根据权利要求I所述的一种自动送料装置，其特征在于所述垂直直线移动机构(26 )侧面平行设有限位开关组件(23 )，所述垂直直线移动机构(26 )包括B驱动电机(265 )，所述B驱动电机(265)装于所述垂直直线移动机构(26)的B安装座(261)上，所述B安装座(261)内套设有B联轴器(264)，所述B联轴器(264)的下端与所述B驱动电机(265)相连接，所述B联轴器(264)的上端与B丝杆(269)相连接，所述B丝杆(269)与B滑块单元(268 )相连接，所述B滑块单元(268 )与B过渡板(267 )相连接，所述B过渡板(267 )与B连接板(263 )相连接，所述B安装座(261)和所述B连接板(263 )之间有防尘盖板(262 )。
8.根据权利要求7所述的一种自动送料装置，其特征在于所述B滑块单元(268)上装有B过渡板(267 )，所述B过渡板(267 )上设有所述B连接板(263 )，所述B连接板(263 )上设有所述取料臂(25)，所述B安装座(261)镶有导轨，所述导轨上安装有B滑块单元(268)，所述B安装座(261)以及B滑块单元(268)形成收容空间，所述B丝杆(269)位于该收容空间内。
9.根据权利要求I所述的一种自动送料装置，其特征在于所述自动送料装置还包括一套检测料光纤传感器(27 )，所述光纤传感器(27 )嵌固于所述取料臂(25 )中 。
专利摘要本实用新型提供一种设计合理的自动送料装置，其高可靠性、低成本，能有效提高生产效率和品质的机械手。本实用新型包含工作台，工作台上端设有顶板，顶板上设有取料盒、卸料盒和载物平台，工作台内设有传输机构，传输机构包括水平直线移动机构与垂直直线移动机构，该水平直线移动机构上设有垂直直线移动机构，垂直直线移动机构上设有一个取料臂，取料臂上部设有一个取料头。本实用新型采用传输机构使得取料和卸料一套机构完成，减少了运动机构，降低了成本，提高了机构可靠性，同时减少了可能因人工装片造成的产品污染，提高了产品质量。
文档编号B23K26/42GK202479706SQ20122000438
公开日2012年10月10日 申请日期2012年1月6日 优先权日2012年1月6日
发明者何明坤, 张国义, 程天佑 申请人:东莞市中镓半导体科技有限公司