远心扫描镜头的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种远心扫描镜头，用于激光打孔。所述远心扫描镜头包括依次靠近被加工物体的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜，所述远心扫描镜头的入瞳直径为10毫米，有效镜头焦距为121.95毫米。本实用新型的远心扫描镜头让出射光的光轴基本垂直于被加工物体，从而在加工较深位置时，孔内部深度不容易倾斜，也能保证孔的圆度，同时孔的加工位置也在允许的偏移范围之内。
【专利说明】远心扫描镜头
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及激光加工领域，尤其涉及用于紫外激光打微孔的远心扫描镜头。【背景技术】
[0002]现有的紫外激光加工设备通常使用非远心扫描镜头，从而在加工较深位置时，一方面，孔内部深度容易倾斜，孔形也不圆；另一方面，在加工物体离焦时，被加工位置和实际需要的加工位置存在偏移，从而无法达到加工的要求。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的在于提供一种远心扫描镜头，使用该远心扫描镜头可以保证孔的圆度，同时孔的加工位置也在允许的偏移范围之内。
[0004]为实现以上实用新型目的，本实用新型采用如下技术方案:一种远心扫描镜头，用于激光打孔，所述远心扫描镜头包括依次靠近被加工物体的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜，所述远心扫描镜头的入瞳直径为10毫米，有效镜头焦距为121.95 晕米。
[0005]作为本实用新型的进一步改进，所述第一透镜远离第二透镜的一侧面为凹面，靠近第二透镜的一侧面为平面，所述第二透镜靠近第一透镜的一侧面为凹面，靠近第三透镜的一侧面为凸面，所述第三透镜靠近第二透镜的一侧面为平面，靠近第四透镜的一侧面为凸面，所述第四透镜的两侧面均为凸面，所述第五透镜靠近第四透镜的一侧面为凸面，相对的另一侧面为平面。
[0006]作为本实用新型的进一步改进，所述第一透镜的两个球面半径分别为-40.923毫米和354.791毫米，对应的两个厚度分别为5.000毫米和7.710毫米。
[0007]作为本实用新型的进一步改进，所述第二透镜的两个球面半径分别为-94.768毫米和-72.256毫米，对应的两个厚度分别为18.000毫米和0.500毫米。
[0008]作为本实用新型的进一步改进，所述第三透镜的两个球面半径分别为2457.454毫米和-72.650毫米，对应的两个厚度分别为22.820毫米和0.500毫米。
[0009]作为本实用新型的进一步改进，所述第四透镜的两个球面半径分别为341.579毫米和-342.776毫米，对应的两个厚度分别为12.730毫米和0.500毫米。
[0010]作为本实用新型的进一步改进，所述第五透镜的两个球面半径分别为161.983毫米和748.621毫米，对应的两个厚度分别为18.000毫米和168.825毫米。
[0011]作为本实用新型的进一步改进，所述远心扫描镜头的最大远心度为0.346度。
[0012]作为本实用新型的进一步改进，所述远心扫描镜头适用于波长为354.7纳米的激光，切趾因子为1.83，激光光束质量因子为1.2。
[0013]相较于现有技术，本实用新型的远心扫描镜头在镜头视场范围内，出射光的光轴基本垂直于被加工物体，且在加工较深位置时，孔内部深度不容易倾斜，也能保证孔的圆度，同时孔的加工位置也在允许的偏移范围之内。【专利附图】
【附图说明】
[0014]图1是本实用新型的远心扫描镜头的结构示意图。
[0015]图2是图1所示的远心扫描镜头的调制传输曲线图。
[0016]图3是图1所示的远心扫描镜头的象散，场曲，畸变图。
[0017]图4是图1所示的远心扫描镜头的镜头像差图。
[0018]图5是使用图1所示的远心扫描镜头的光学系统示意图。
【具体实施方式】
[0019]如图1-4所示，本实用新型的远心扫描镜头10用于激光打孔。所述远心扫描镜头10包括依次靠近被加工物体的第一透镜11、第二透镜12、第三透镜13、第四透镜14及第五透镜15。所述远心扫描镜头10的入瞳直径为10毫米，有效镜头焦距(EFL)为121.95毫米，适用波长(λ )为354.7纳米的紫外激光器。
[0020]所述第一透镜11远离第二透镜12的一侧面111为凹面，靠近第二透镜12的一侧面112为平面；所述第二透镜12靠近第一透镜11的一侧面121为凹面，靠近第三透镜13的一侧面122为凸面；所述第三透镜13靠近第二透镜12的一侧面131为平面，靠近第四透镜14的一侧面132为凸面；所述第四透镜14的两侧面141、142均为凸面；所述第五透镜15靠近第四透镜14的一侧面151为凸面,相对的另一侧面152为平面。因此,所述第一透镜11至所述第五透镜15中的每一个透镜均由两个半径组成，且该五个透镜组合在一起，才能得到一个完整的远心扫 描镜头10。
[0021]所述第一透镜11至第五透镜15的具体球面半径值和厚度值请参下表。所述远心扫描镜头10的光学性能曲线图如图2-4所示。
[0022]
【权利要求】
1.一种远心扫描镜头，用于激光打孔，其特征在于:所述远心扫描镜头包括依次靠近被加工物体的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜，所述远心扫描镜头的入瞳直径为10毫米，有效镜头焦距为121.95毫米。
2.如权利要求1所述的远心扫描镜头，其特征在于:所述第一透镜远离第二透镜的一侧面为凹面，靠近第二透镜的一侧面为平面，所述第二透镜靠近第一透镜的一侧面为凹面，靠近第三透镜的一侧面为凸面，所述第三透镜靠近第二透镜的一侧面为平面，靠近第四透镜的一侧面为凸面，所述第四透镜的两侧面均为凸面，所述第五透镜靠近第四透镜的一侧面为凸面，相对的另一侧面为平面。
3.如权利要求2所述的远心扫描镜头，其特征在于:所述第一透镜的两个球面半径分别为-40.923毫米和354.791毫米，对应的两个厚度分别为5.000毫米和7.710毫米。
4.如权利要求2所述的远心扫描镜头，其特征在于:所述第二透镜的两个球面半径分别为-94.768毫米和-72.256毫米，对应的两个厚度分别为18.000毫米和0.500毫米。
5.如权利要求2所述的远心扫描镜头，其特征在于:所述第三透镜的两个球面半径分别为2457.454毫米和-72.650毫米，对应的两个厚度分别为22.820毫米和0.500毫米。
6.如权利要求2所述的远心扫描镜头，其特征在于:所述第四透镜的两个球面半径分别为341.579毫米和-342.776毫米，对应的两个厚度分别为12.730毫米和0.500毫米。
7.如权利要求2所述的远心扫描镜头，其特征在于:所述第五透镜的两个球面半径分别为161.983毫米和748.621毫米，对应的两个厚度分别为18.000毫米和168.825毫米。
8.如权利要求1所述的远心扫描镜头，其特征在于:所述远心扫描镜头的最大远心度为0.346度。
9.如权利要求1所述的远心扫描镜头，其特征在于:所述远心扫描镜头适用于波长为354.7纳米的激光，切趾因子为1.83，激光光束质量因子为1.2。
【文档编号】B23K26/04GK203799099SQ201420136981
【公开日】2014年8月27日 申请日期:2014年3月25日 优先权日:2014年3月25日
【发明者】张宽 申请人:维嘉数控科技（苏州）有限公司