1.一种用于利用脉冲激光束(200)切割或烧蚀工件(310)的特定材料的方法(100),所述方法(100)包括:
利用至少一个激光源(301,301a)产生(101)所述脉冲激光束(200),
将加压的流体射流(303)提供到所述工件(310)上,以及
将所述脉冲激光束(200)耦合到朝向所述工件(310)的所述流体射流(303)中,
其中,所述脉冲激光束(200)包括基于所述工件(310)的特定材料选择的至少两种叠加的脉动(201,202),
其中,第一脉动(201)具有与第二脉动(202)不同的功率和频率。
2.根据权利要求1所述的方法(100),其中:
所述第一脉动(201)适合于切割或烧蚀所述工件(310)的特定材料,以及
所述第二脉动(202)不适合于切割或烧蚀所述工件(310)的特定材料。
3.根据权利要求1或2所述的方法(100),其中:
所述第一脉动(201)适合于切割或烧蚀所述工件(310)的特定材料,以及
所述第二脉动(202)适合于使所述工件(310)的特定材料的表面平滑、特别是使通过利用所述第一脉动(201)切割或烧蚀所述特定材料而形成的表面(610)平滑。
4.根据权利要求3所述的方法(100),其中:
所述第二脉动(202)适合于使作为所述工件(310)的特定材料的均质金属或陶瓷材料的表面平滑到粗糙度轮廓的算术平均值等于或小于0.3μm、特别是等于或小于0.1μm。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法(100),其中:
所述工件(310)的特定材料的厚度为1mm或更大。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法(100),所述方法用于切割或烧蚀所述工件(310)的多于一种的材料,其中:
所述工件(310)包括多个不同的材料层,以及
所述脉冲激光束(200)包括所述工件(310)的每个材料层所选择的至少两种叠加的脉动(201,202)。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法(100),其中:
还基于至少一个参数、特别是基于所述流体射流(303)的宽度和/或压力来选择所述至少两种叠加的脉动(201,202)。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的方法(100),其中:
所述第一脉动(201)的频率与所述第二脉动(202)的频率具有不同的技术范围,其中,特别地,所述第一脉动(201)的频率在1khz-40khz之间,所述第二脉动(202)的频率在60khz-300khz之间。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法(100),其中:
所述第一脉动(201)和所述第二脉动(202)是同步的。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的方法(100),其中:
所述第一脉动(201)和所述第二脉动(202)是异步的。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的方法(100),其中:
所述第一脉动(201)和所述第二脉动(202)中的至少一者包括多个单独子脉冲的突发。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的方法(100),其中:
所述工件(310)的特定材料为钴铬镍合金、特别为phynox,或者为铜锌镍合金、或铜基合金、非晶钢,
所述第一脉动(201)的频率为4khz-8khz,半高全宽(fwhm)脉冲宽度为90ns-160ns,以及
所述第二脉动(202)的频率为80khz-120khz,fwhm脉冲宽度为5ns-20ns。
13.根据权利要求1至11中任一项所述的方法(100),其中:
所述工件(310)的特定材料为半导体,
所述第一脉动(201)的频率为18khz-40khz,fwhm脉冲宽度为200ns-500ns,以及
所述第二脉动(202)的频率为100khz-300khz,fwhm脉冲宽度为15ns-30ns。
14.根据权利要求1至11中任一项所述的方法(100),其中:
所述工件(310)的特定材料为硬材料、特别是陶瓷或金刚石,
所述第一脉动(201)的频率为1khz-13khz,fwhm脉冲宽度为100ns-190ns,以及
所述第二脉动(202)的频率为50khz-150khz,fwhm脉冲宽度为6ns-20ns。
15.一种利用脉冲激光束切割或烧蚀工件(310)的特定材料的设备(300),所述设备(300)包括:
至少一个激光源(301,301a),所述至少一个激光源(301,301a)被配置为产生所述脉冲激光束(200);以及
机加工单元(302),所述机加工单元(302)被配置为将加压的流体射流(303)提供到所述工件(310)上并将所述脉冲激光束(200)耦合到朝向所述工件(310)的所述流体射流(303)中,
其中,所述脉冲激光束(200)包括基于所述工件(310)的特定材料选择的至少两种叠加的脉动(201,202),
其中,第一脉动(201)具有与第二脉动(202)不同的功率和频率。
16.根据权利要求15所述的设备(300),还包括:
光学装置(400),所述光学装置(400)被配置为组合由多个所述激光源(301,301a)中的每一个发射的激光,以产生所述脉冲激光束(200),以及
光耦合元件(402),所述光耦合元件(402)被配置为将所述脉冲激光束(200)引导至所述机加工单元(302)。
17.根据权利要求15或16所述的设备(300),其中:
由多个所述激光源(301,301a)发射的激光包括至少两种不同的脉动频率和/或至少两种不同的颜色。