技术特征：
1.一种光学设备(1)，包括载体(4)、光学元件(2)和辐射热沉(3)，其中-所述光学元件(2)安装在所述载体(4)上，-所述光学元件(2)可移动地附接到所述载体(4)，-所述载体(4)具有凹部(7)，其中-所述光学设备(1)布置成与电磁辐射(9)相互作用，将所述电磁辐射(9)分成第一部份(91)和第二部份(92)，所述光学元件布置成在可限定方向上偏转所述第一部分，以及所述第二部分(92)照射在所述辐射热沉(3)上。2.根据权利要求1所述的光学设备，其中，所述电磁辐射(9)和所述第一部分(91)和/或所述第二部分(92)入射到所述凹部(7)中。3.根据权利要求2所述的光学设备(1)，其中，所述凹部(7)从第一侧(45)到第二侧(46)完全延伸穿过所述载体(4)，其中，所述第一侧(45)与所述第二侧(46)相对。4.根据权利要求1至3中任一项所述的光学设备，其中，所述载体(4)和所述辐射热沉(3)通过隔热材料(31)连接，其中，所述隔热材料(31)的导热系数低于所述辐射热沉(3)的导热系数。5.根据权利要求1至3中任一项所述的光学设备(1)，其中，所述反射镜固定地附接到布置成与所述反射镜一起移动的底架，其中所述反射镜和所述底架形成所述光学设备的可移动部分，所述可移动部分相对于所述光学设备的固定部分移动，并且所述可移动部分的重心与所述第一旋转轴线之(21)间的距离不大于0.5mm，并且所述可移动部分的重心与所述第二旋转轴线(22)之间的距离不大于0.5mm。6.根据权利要求5所述的光学设备(1)，包括支承件，所述支承件布置成将所述可移动部分支承在所述载体(4)上，其中所述支承件包括至少两个弯曲梁，致动器，其布置成产生实现彼此独立地围绕所述第一旋转轴线的旋转和围绕所述第二旋转轴线的旋转的力，其中-所述致动器包括固定地附接到所述可移动部分的线圈，以及-所述弯曲梁包括所述线圈的电触点。7.根据权利要求1至3中任一项所述的光学设备，包括致动器，其布置成产生实现彼此独立地围绕所述第一旋转轴线的旋转和围绕所述第二旋转轴线的旋转的力，其中-所述致动器包括固定地附接到所述载体的线圈，以及-所述线圈与所述可移动部分之间的热阻高于所述线圈与所述载体之间的热阻。8.根据权利要求1至3中的一项所述的光学设备(1)，其中，所述光学元件(2)具有用于围绕所述第一旋转轴线旋转的第一共振频率(f1)和用于围绕所述第二旋转轴线旋转的第二共振频率(f2)，其中，所述第一共振频率(f1)与所述第二共振频率(f2)相差最大10hz，优选地1hz。9.根据权利要求1至3中任一项所述的光学设备(1)，包括测量单元(80)，其布置成测量所述光学元件(2)的偏转，其中所述测量单元(80)布置成测量所述光学元件(2)围绕所述第一旋转轴线(21)的旋转和围绕所述第二旋转轴线(22)的旋转。
10.根据权利要求9所述的光学设备，其中所述测量单元(80)布置成生成照射在所述可移动部分(10)上的测量光束(81)，所述可移动部分(10)布置成反射所述测量光束(81)，以及所述测量单元(80)包括检测器(82)，其中所述检测器(82)布置成检测反射的测量光束(81)，其中，反射的测量光束(81)照射在所述检测器上的位置取决于所述光学元件(2)的偏转，以及所述测量单元(80)布置成确定所述光学元件(2)从该位置的偏转。11.根据权利要求10所述的光学设备，其中，所述测量光束(81)照射到所述光学元件(2)的与在预期操作期间所述光束(9)照射到的一侧相对的一侧上。12.一种激光加工设备(6)，包括根据前述权利要求1至3中任一项所述的光学设备(1)和激光源(5)，其中-所述激光源(5)布置成发射具有至少0.5kw的能量的激光束(9)-所述光学设备(1)布置成与所述激光束(9)相互作用，其中所述相互作用将所述激光束分成第一部分(91)和第二部分(91)，所述第一部分(91)在可限定的方向上偏转，以及-所述激光束(9)的所述第一部分(91)具有比所述激光束(9)的所述第二部分(92)更高的光功率。13.根据权利要求12所述的激光加工设备(6)，其中，所述光学设备(1)布置成使所述第一部分(91)沿着线性、圆形或任意轨道偏转。14.根据权利要求12所述的激光加工设备(6)，包括位移装置(60)，所述位移装置布置成使所述工件(6)和所述光学设备(1)以可限定的速度在可限定的方向(61)上相对于彼此移动。15.根据权利要求12所述的激光加工设备(6)，其中，所述激光束(9)的所述第一部分(91)布置成加热所述工件(6)，以用于切割、焊接、雕刻或压印所述工件(6)。
技术总结
一种光学设备(1)，包括载体(4)、光学元件(2)和辐射热沉(3)，其中光学元件(2)安装在载体(4)上，光学元件(2)可移动地附接到载体(4)，载体(4)具有凹部(7)，其中光学设备(1)布置成与电磁辐射(9)相互作用，将电磁辐射(9)分成第一部分(91)和第二部分(92)，光学元件布置成在可限定的方向上偏转第一部分，并且第二部分(92)入射到凹部(7)中并且照射在辐射热沉(3)上。上。上。
技术研发人员：曼纽尔
受保护的技术使用者：奥普托图尼股份公司
技术研发日：2021.10.29
技术公布日：2022/5/25