反应腔室辅助安装装置以及安装方法与流程

1.本技术属于半导体加工技术领域，具体涉及一种反应腔室辅助安装装置以及安装方法。


背景技术：

2.去胶设备的反应腔室质量较重，在安装及维护时需要高位叉车将反应腔室吊起，以辅助安装，对安装人员的人力、安装所需的辅助工具以及待安装设备附近的所需要的维护空间要求较高，安装效率低，且安装成本较高。
3.另外，去胶设备的反应腔室吊起后，需要两人将反应腔室推至于传送腔室连接位置处，再通过另外的两人安装螺丝固定，其安装方式耗费人力、且安装时安全风险较大、极易出现重物伤人的意外情况的发生。
4.因此，需对现有技术改进。


技术实现要素：

5.为解决上述技术问题，本技术提供一种反应腔室辅助安装装置以及安装方法，旨在至少能够在一定程度上改善去胶设备的反应腔室的安装效率、安装成本以及安装的安全性。
6.本技术的技术方案为：
7.一方面，本技术提供了一种反应腔室辅助安装装置，以辅助反应腔室的安装，所述辅助安装装置包括：
8.辅助框架；
9.两个以上的导轨，并列设置在所述辅助框架的顶部；
10.滑块，每个所述导轨上均对应设置有所述滑块，所述滑块可移动地设置在对应的所述导轨上；
11.承载板，所述承载板和所述导轨对应设置，所述承载板通过对应的所述导轨上的滑块支撑，所述反应腔室可落在所述承载板上，推动所述反应腔室，所述反应腔室可带动所述承载板上沿导轨滑动至待安装位置。
12.在一些实施方案中，所述辅助框架包括两个相对设置的支撑板；
13.所述导轨设置有两个，所述导轨和所述支撑板对应设置，所述导轨固定设置在对应的所述支撑板上。
14.在一些实施方案中，所述导轨的长度方向的两端均设置有定位件。
15.在一些实施方案中，每个所述导轨上的两个所述定位件相对的端部均设置有缓存件。
16.在一些实施方案中，所述导轨的宽度方向的两侧设置在凹槽，所述滑块设置有嵌设在所述凹槽中的导向部。
17.在一些实施方案中，所述承载板和对应的所述导轨上的滑块固定连接。
18.可选地，所述承载板和对应的所述导轨上的滑块通过多个螺钉固定连接。
19.在一些实施方案中，所述承载板的顶部的宽度方向的外侧均设置有第一定位件，两个所述承载板上的所述第一定位件和所述反应腔室的宽度方向的尺寸相一致。
20.在一些实施方案中，所述承载板的顶部的宽度方向的外侧均还设置有第二定位件，所述第二定位件包括固定连接且成l形的第一定位板以及第二定位板，所述第一定位板的内侧面和所述第一定位件的内侧面位于同一直线上，所述第二定位板设置在所述第一定位板的内侧。
21.另一方面，本技术还提供了一种反应腔室安装方法，其特殊之处在于，所述安装方法包括：
22.操作反应腔室至上述辅助安装装置的承载板上；
23.推动反应腔室，所述反应腔室带动所述承载板上沿导轨滑动至待安装位置；
24.装配所述反应腔室至待安装处。
25.本技术的有益效果至少包括：
26.本技术所提供的一种反应腔室辅助安装装置以及安装方法，在实施时，先操作反应腔室至辅助安装装置的承载板上，由于辅助框架的顶部设置有两个以上并列的导轨，且每个导轨上均对应设置有滑块，承载板通过对应的导轨上的滑块支撑，当反应腔室落在承载板上后，可推动反应腔室，反应腔室可带动承载板上沿导轨滑动至待安装位置，即可进行反应腔室的安装，具有较好的机械化，可改善去胶设备的反应腔室的安装效率、安装成本以及安装的安全性，具有很好的实用价值。
附图说明
27.为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
28.图1为本技术实施例的一种反应腔室辅助安装装置的结构示意图；
29.图2为图1中的辅助框架的结构示意图；
30.图3为图1中的a处放大示意图；
31.图4为图3中的滑块在导轨上的装配示意图；
32.图5为图1中的承载板的结构示意图。
33.附图标记：
34.100-辅助框架，101-车体，102-滚轮，103-支撑板，200-导轨，201-凹槽，202-定位件， 203-缓冲件，204-固定件，210-第一通孔，220-第二通孔，300-滑块，301-导向部，400-承载板，401-第一定位件，402-第二定位件，4021-第一定位板，4022-第二定位板。
具体实施方式
35.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其
他实施例，都属于本技术保护的范围。
36.需要说明的是，本技术实施例中所有方向性指示仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
37.下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本技术的不同结构。为了简化本技术的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本技术。此外，本技术可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外，本技术提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
38.图1为本技术实施例的一种反应腔室辅助安装装置的结构示意图，结合图1，该反应腔室辅助安装装置用于辅助反应腔室的安装，该辅助安装装置包括辅助框架100、导轨200、滑块300以及承载板400。
39.图2为图1中的辅助框架的结构示意图，结合图1以及图2，本技术实施例的辅助框架100包括车体101、滚轮102以及支撑板103，其中，车体101整体可呈箱型，多个滚轮102设置在车体101的底部，可通过滚轮102将辅助框架100移动至所需位置，且，滚轮102 具有刹车功能，当辅助框架100移动至所需位置后，可将滚轮102刹车，使辅助框架100定位至所需位置。
40.结合图1，本技术实施例中，两个以上的导轨200并列设置在辅助框架100的顶部。
41.具体地，结合图1以及图2，本技术实施例中，支撑板103可相对设置有两个，两个支撑板103相对设置在车体101的顶部，相应地，导轨200也设置有两个。
42.结合图1以及图2，本技术实施例中，多个支撑板103并列间隔设置在车体101的顶部，支撑板103和导轨200对应设置，每个导轨200均可通过螺栓等连接件固定在支撑板103 上。
43.图3为图1中的a处放大示意图，结合图1以及图3，本技术实施例中，每个导轨 200上均对应设置有滑块300，滑块300可移动地设置在对应的导轨200上。
44.图4为图3中的滑块在导轨上的装配示意图，结合图3以及图4，本技术实施例中，导轨200的宽度方向的两侧设置在凹槽201，该凹槽201为导向槽，滑块300设置有嵌设在凹槽201中的导向部301，当推动滑块300在导轨200上移动时，导向部301在对应的凹槽 201中移动，不仅可对滑块300的移动进行导向，还可以提高滑块300移动时的稳定性。
45.结合图1以及图3，本技术实施例中，导轨200的长度方向的两端均设置有定位件202，每个导轨200上的多个滑块300均位于导轨200的两端的定位件202之间，当待移动的部件通过滑块300在导轨200上移动时，定位件202可限制滑块300的移动位置。
46.具体地，本技术实施例的定位件202可以为定位块，其可通过螺栓等固定件连接在支撑板103上，而定位件202设置有供导轨200穿过的通孔，定位件202的高度不高于滑块300 的高度，这样可使定位件202只作用在滑块300上，从而可适应较大尺寸的部件的移动。
47.结合图1以及图3，本技术实施例中，每个导轨200上的两个定位件202相对的端部均可设置有缓存件203，缓冲件203可具有弹性功能，其和导轨200是柔性接触，可防止导轨200和定位件202刚接触造成的意外情况发生。
48.结合图1以及图3，本技术实施例中，在导轨200的长度方向的一端的外侧还设置有固定件204，该固定件204固定设置在和导轨200对应的支撑板103上，该固定件204的高度高于导轨200上的滑块300，该固定件204用于对待移动的部件的长度方向的定位。
49.结合图1以及图3，本技术实施例中，承载板400和导轨200对应设置，承载板400 通过对应的导轨200上的滑块300支撑，反应腔室可落在承载板400上，推动反应腔室，反应腔室可带动承载板200上沿导轨200滑动至待安装位置。
50.本技术实施例中，承载板400和对应的导轨200上的滑块可通过多个螺钉固定连接。
51.图5为图1中的承载板的结构示意图，结合图1、图3以及图5，本技术实施例的承载板400的顶部的宽度方向的外侧均设置有第一定位件401，两个承载板400上的第一定位件401和反应腔室的宽度方向的尺寸相一致，即通过两个承载板400上的第一定位件401，可对反应腔室的宽度方向进行定位。
52.进一步地，结合图1、图3以及图5，本技术实施例中，承载板400的顶部的宽度方向的外侧均还设置有第二定位件402，第二定位件402包括固定连接且成l形的第一定位板 4021以及第二定位板4022，第一定位板4021的内侧面和第一定位件401的内侧面位于同一直线上，第一定位板4021和同侧的第一定位件401用于对反应腔室的宽度方向进行档位，第二定位板4022设置在第一定位板4021的内侧，用于对反应腔室的长度方向的一侧进行档位。
53.本技术实施例中，第一定位件401以及第二定位件402均可以通过螺栓等固定件或者一天成型的固定连接在承载板400上，在此不作限制。
54.另一方面，本技术还提供了一种反应腔室安装方法。该安装方法包括：
55.s1：操作反应腔室至上述辅助安装装置的承载板400上；
56.具体地：可通过人工将反应腔室抬至辅助安装装置的承载板400上。
57.s2：推动反应腔室，反应腔室带动承载板上沿导轨滑动至待安装位置；
58.具体地：反应腔室抬至辅助安装装置的承载板400上后，在反应腔室的重力以及第一定位件401以及第二定位件402的作用下，可单人推动反应腔，以带动承载板400与滑块300 在导轨200上滑动摩擦，进而可将反应腔室移动至与传送腔室安装连接处。
59.s3:装配反应腔室至待安装处；
60.具体地：反应腔室移动至与传送腔室安装连接处后，可通过螺栓等连接件，将反应腔室与传送腔室固定连接，即可完成安装。
61.本技术实施例所示的反应腔室辅助安装装置以及安装方法，具有较好的机械化，可减少对安装辅助工具的吊车的依赖，降低辅助吊车对设备安装厂地空间的要求，通过自身配备的滑轨方便高效的作业，不仅可提高安装维护人员的便利性，还可提高安装维护人员的安全性，以改善去胶设备的反应腔室的安装效率、安装成本以及安装的安全性，具有很好的实用价值。
62.尽管已描述了本技术的优选实施例，但本领域内的普通技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本技术范围的所有变更和修改。
1.显然，本领域的技术人员可以对本技术进行各种改动和变型而不脱离本技术的精
神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变型在内。