具有吸尘机构的晶圆ID打标设备的制作方法

具有吸尘机构的晶圆id打标设备
技术领域
1.本实用新型涉及激光打标设备技术领域，特别涉及一种具有吸尘机构的晶圆id打标设备。


背景技术：

2.晶圆也称作硅晶片，是硅半导体电路的重要的原材料。随着晶圆的广泛应用及发展，晶圆的加工厂商通常会通过在晶圆上打标开实现对于晶圆产品的质量跟踪溯源。现有的晶圆id打标设备中，打标过程会产生烟尘，从而对加工间造成污染。


技术实现要素：

3.本实用新型的主要目的是提供一种具有吸尘机构的晶圆id打标设备，旨在减少加工过程产生的烟尘对加工车间的污染。
4.为实现上述目的，本实用新型提出的具有吸尘机构的晶圆id打标设备，包括：
5.机架，所述机架设有机台，所述机台设有打标工位；
6.固定夹具，所述固定夹具设于所述打标工位，用于固定待打标的晶圆；
7.激光打标头，所述激光打标头设于所述机架，所述激光打标头的出光口的朝向所述打标工位设置；以及
8.吸尘机构，所述吸尘机构设于所述固定夹具的外周缘，用以吸除打标过程中的烟尘。
9.在本实用新型的一实施例中，所述吸尘机构包括：
10.吸尘件，所述吸尘件固定于所述固定夹具的外边缘，所述吸尘件设有多个吸尘孔；
11.负压风机，所述负压风机设于所述机架；以及
12.吸尘管道，所述吸尘管道的进风端与所述吸尘件连接，并与所述吸尘孔连通，所述负压风机与所述吸尘管道出风端连接。
13.在本实用新型的一实施例中，固定夹具设有进料侧，所述吸尘件围设于所述固定夹具的顶面的外边缘，并与所述进料侧相邻。
14.在本实用新型的一实施例中，所述吸尘机构还包括正压风机，所述正压风机固定于所述机架，并与所述吸尘件相对设置。
15.在本实用新型的一实施例中，所述吸尘件包括相邻设置的第一吸尘部和第二吸尘部，所述第一吸尘部与所述固定夹具的进料侧相邻设置，并与所述正压风机相对设置，所述第二吸尘部与所述固定夹具的进料侧相对设置。
16.在本实用新型的一实施例中，所述吸尘机构还包括固定架，所述固定架固定于所述机台表面，并位于所述固定夹具的外侧，所述第一吸尘部、所述第二吸尘部以及所述正压风机均固定于所述固定架的表面。
17.在本实用新型的一实施例中，所述正压风机内为负离子风机。
18.在本实用新型的一实施例中，所述具有吸尘机构的晶圆id打标设备还包括设于所
述机台的多个料盒和移料机构，所述料盒用于放置晶圆，所述移料机构可在多个所述料盒和所述打标工位之间移动。
19.在本实用新型的一实施例中，所述移料机构包括：
20.底座，所述底座设于所述机架，并位于所述安装位；和
21.两移料机械手，两所述移料机械手均固定于所述底座，并可伸出所述机台，两所述移料机械手可分别相对所述底座转动或移动设置。
22.本实用新型技术方案中的具有吸尘机构的晶圆id打标设备包括机架、固定夹具、激光打标头以及吸尘机构。其中，机架设有机台，机台为晶圆打标的工作台面。打标工位固定有固定夹具，固定夹具用于固定待打标的晶圆。激光打标头的出光口的朝向打标工位设置，以使得从出光口射出激光能投射于待打标的晶圆的表面，从而融化晶圆表面的材质，在晶圆的表面形成有标识。吸尘机构设于固定夹具的外周缘，用以吸除打标过程中的产生的烟尘，以避免烟尘在机架周围弥漫，从而降低烟尘对加工车间的污染，提升加工车间环境的舒适性。
附图说明
23.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
24.图1为本实用新型具有吸尘机构的晶圆id打标设备立体图；
25.图2为图1中吸尘机构和固定夹具的结构示意图。
26.附图标号说明：
[0027][0028]
本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0029]
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0030]
需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0031]
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0032]
另外，在本实用新型中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义为，包括三个并列的方案，以“a和/或b为例”，包括a方案，或b方案，或a和b同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。
[0033]
本实用新型提供一种具有吸尘机构的晶圆id打标设备100。
[0034]
参照图1和图2，在本实用新型的一个实施例中，还具有吸尘机构的晶圆id打标设备100包括机架10，所述机架10设有机台11，所述机台11设有打标工位13；
[0035]
固定夹具20，所述固定夹具20设于所述打标工位13，用于固定待打标的晶圆；
[0036]
激光打标头70，所述激光打标头70设于所述机架10，所述激光打标头70的出光口71的朝向所述打标工位13设置；以及
[0037]
吸尘机构80，所述吸尘机构80设于所述固定夹具20的外周缘，用以吸除打标过程中的烟尘。
[0038]
本实用新型技术方案中的具有吸尘机构的晶圆id打标设备100包括机架10、固定夹具20、激光打标头70以及吸尘机构80。其中，机架10设有机台11，机台11为晶圆打标的工作台面。打标工位13固定有固定夹具20，固定夹具20用于固定待打标的晶圆。激光打标头70的出光口71的朝向打标工位13设置，以使得从出光口71射出激光能投射于待打标的晶圆的表面，从而融化晶圆表面的材质，在晶圆的表面形成有标识。吸尘机构80设于固定夹具20的外周缘，用以吸除打标过程中的产生的烟尘，以避免烟尘在机架10周围弥漫，从而降低烟尘对加工车间的污染，提升加工车间环境的舒适性。
[0039]
参照图1，在本实用新型的一实施例中，所述具有吸尘机构的晶圆id打标设备100还包括设于所述机台11的多个料盒30和移料机构40，所述料盒30用于放置晶圆，所述移料机构40可在多个所述料盒30和所述打标工位13之间移动。其中，移料机构40包括底座41和两移料机械手43，所述底座41设于所述机架10，并位于所述安装位；两所述移料机械手43均
固定于所述底座41，并可伸出所述机台11，两所述移料机械手43可分别相对所述底座41转动或移动设置。
[0040]
机架10包括有框体式的架体和机台11，其中，机台11可以是与框体固定的钢板或大理石板，机台11的安装位形成有让让位孔，以便于移料机构40的部件的安装。机架10为固定夹具20、激光打标头70以及控制系统提供安装的载体。机台11上还设有料盒30和移料机构40，固定夹具20、激光打标头70、料盒30以及移料机构40可以根据机台11的形状进行合理地布局。例如，打标工位13与移料机构40的安装位呈相邻设置，以减小移料机构40的移动行程，从而实现进一步提升加工的效率。
[0041]
料盒30的数量为多个，多个料盒30环设于移料机构40安装位的外周设置，每一料盒30中均可存放晶圆。移料机构40可以在多个料盒30和打标工位13之间移动，以将料盒30内的待打标的晶圆移动至打标工位13，并将打标后的晶圆移动至料盒30内。移料机构40可以在多个料盒30、固定夹具20之间自动地往复运动，以进一步提升晶圆上料、下料的操作，提升进一步提升了晶圆的打标效率。
[0042]
移料机械手43可以在空间内实现转动或者是平移运动，两个移料机械手43分别独立运动。可以理解地，两移料机械手43呈相互配合的关系，例如，其中的一个移料机械手43用于从料盒30中取料，另一移料机械手43则由打标工位13将完成打标的晶圆取出，并放置回料盒30中，从而减小取料、上料过程中的等待时间，使得激光打标头70能快速对下一工件进行打标操作，进一步提升加工的效率。
[0043]
具体地，移料机械手43设有多个联动的机械臂(未标示)，机械臂的数量可以是两个，以形成为两轴机械手，机械臂的数量可以是三个，以形成三轴机械手、机械臂的数量还可以是五个，以形成五轴机械手等，移料机械手43的机械臂的数量越多，其灵活性就越大。在移料机械手43远离底座41的机械臂的端面，形成有用于承载晶圆的弧形承载面。移料时，移料机械手43的机械臂联动，以运动至晶圆的底部，然后移料机械手43的机械臂再联动以向上运动，从而实现带动晶圆运动。
[0044]
固定夹具20用于固定待打标晶圆，其中，固定夹具20可以是通过夹持、吸附、压覆等方式实现对晶圆的固定。其中，采用真空吸附的方式实现对晶圆的固定的效果较好，这种方式既快捷，又能避免对晶圆造成损坏的。在本实用新型的一实施例中，所述固定夹具20包括支架21和吸附主体23，所述支架21固定于所述机台11，并位于所述打标工位13；所述吸附主体23设有通气孔和吸附孔237，所述通气孔和所述吸附孔237连通以形成气流通道，所述吸附主体23的顶面设有所述吸附孔237，所述晶圆固定于所述吸附主体23的顶面。吸附主体23通过支架21固定于机台11的表面，可以使得吸附主体23具有一定高度，便于移料机械手43的上料或者下料操作。吸附主体23上设有通气孔和吸附孔237，气泵可以通过的连接管与通气孔连接，以向气流通道吸气或吹气，从而实现固定晶圆或释放晶圆。实用新型的技术方案中，通过采用真空吸附的方式实现对晶圆的固定，一方面能实现快速地吸附固定或释放，另一方面，真空吸附的方式也能有效地减少对晶圆的损伤。
[0045]
可以理解地，吸附主体23固定晶圆的表面光滑、平整，便于与晶圆的表面相适配。吸附孔237的数量有多个，多个吸附孔237呈间隔设置，可以对晶圆的不同位置施加吸附力，从而提升晶圆固定的可靠性。可以理解地，吸附主体23朝向移移料机构40的一侧为进料侧。
[0046]
移料机械手43在上料时，晶圆设于移料机械手43的承载面的上方，移料机械手43
将晶圆移动至吸附主体23的顶面后，移料机械手43相对吸附主体23下降运动至让位槽235，此时，晶圆的边缘分别与吸附主体23的表面抵接，实现与移料机械手43分离，从而实现上料。当激光打标头70完成对晶圆的打标操作后，移料机械手43经由让位槽235移动至晶圆的底部，然后相对吸附主体23上升运动，并可携带晶圆向上运动，以与吸附主体23的表面表面分离，并将达标后的晶圆依次移动至检测机构和料盒30内，以完成下料操作。
[0047]
参照图2，在本实用新型的一实施例中，所述吸尘机构80包括：
[0048]
吸尘件81，所述吸尘件81固定于所述固定夹具20的外边缘，所述吸尘件81设有多个吸尘孔815；
[0049]
负压风机(未图示)，所述负压风机设于所述机架10；以及
[0050]
吸尘管道83，所述吸尘管道83的进风端与所述吸尘件81连接，并与所述吸尘孔815连通，所述负压风机与所述吸尘管道83出风端连接。
[0051]
在本实用新型的一实施中，吸尘管道83的出风端与加工车间排风系统连接，以将打标加工的烟尘汇集处理后再进行排放。负压风机有多种类型，可以是涡轮风机、轴流风机等，只要能产生风压将烟尘吸入管道内即可，在此不对负压风机的类型进行限定。吸尘件81上设有多个吸尘孔815，吸尘孔815均朝向固定夹具20设置，以便于将晶圆打标过程中产生的烟尘吸入至吸尘管道83内。
[0052]
进一步，参照图2，在本实用新型的一实施例中，固定夹具20设有进料侧，所述吸尘件81围设于所述固定夹具20的顶面的外边缘，并与所述进料侧相邻。
[0053]
在本实用新型一实施例的技术方案中，吸尘件81围设于固定夹具20的顶面的外边缘，一方面是可以阻止烟尘向固定夹具20的外侧蔓延，另一方面，由于烟尘产生后会向上蔓延，因此，将吸尘件81在固定夹具20的顶面，以尽可能多地吸除向上蔓延的烟尘，以提升除尘效果。
[0054]
进一步，参照图2，在本实用新型的一实施例中，所述吸尘机构80还包括正压风机85，所述正压风机85固定于所述机架10，并与所述吸尘件81相对设置。
[0055]
在本实用新型一实施例的技术方案中，通过设置在吸尘件81相对的位置设置有正压风机85，正压风机85可以对固定夹具20顶面的空气流动方向进行引导，以使得烟尘朝向吸尘件81方向移动，以进一步提升吸尘机构80除尘效果。需要说明的是，本实用新型技术方案中的正压风机85为负离子风机，即，正压风机85在吹出的风中携带有负离子，负离子可以消除晶圆表面的静电，以提升晶圆打标的质量。
[0056]
进一步，请继续参照图2，在本实用新型的一实施例中，所述吸尘件81包括相邻设置的第一吸尘部811和第二吸尘部813，所述第一吸尘部811与所述固定夹具20的进料侧相邻设置，并与所述正压风机85相对设置，所述第二吸尘部813与所述固定夹具20的进料侧相对设置。
[0057]
在本实用新型一实施例的技术方案中，通过设置相连接的第一吸尘部811和第二吸尘部813，以提升吸尘件81的吸尘面积，从而提升吸尘的效果。第一吸尘部811和第二吸尘部813相邻设置，第一吸尘部811和第二吸尘部813之间的夹角可以是直角，第一吸尘部811和第二吸尘部813也可以是圆弧过度，第一吸尘部811和第二吸尘部813可以根据的固定夹具20的形状进行合理地布置，以进一步提升吸尘的效果。
[0058]
进一步，请继续参照图2，在本实用新型的一实施例中，所述吸尘机构80还包括固
定架87，所述固定架87固定于所述机台11表面，并位于所述固定夹具20的外侧，所述第一吸尘部811、所述第二吸尘部813以及所述正压风机85均固定于所述固定架87的表面。固定架87为第一吸尘部811、所述第二吸尘部813以及正压风机85提供安装的载体。通过设置固定架87为来安装吸尘件81和负离子风机，以减小吸尘机构80在工作时对固定治具产生影响。
[0059]
以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的实用新型构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。