还原炉底盘螺栓拆卸省力操作助力系统的制作方法

1.本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种还原炉底盘螺栓拆卸省力操作助力系统。


背景技术：

2.在生产多晶硅的生产技术中，改良西门子法为主要的生产方法。在生产多晶硅棒的过程中，反应系统将高纯三氯氢硅和高纯氢气，一定条件下，在还原炉反应釜中按照一定摩尔配比发生物理化学反应生成多晶硅并沉积在硅芯电极表面形成硅棒。目前，多晶硅生产主要设备为还原炉，由于还原炉在生产过程中，生产介质为易燃易爆物质，必须要保证生产时还原炉不能有任何泄露，需要良好的安全性和密封性。还原炉主要靠钟罩大法兰和炉盘大法兰安装底盘大垫片，和若干底盘大螺栓锁紧密封。随着工艺和设备的升级改进，越来越多的大型还原炉开始投用以降低能耗，提高市场竞争力。由于还原炉是间隙式生产，每个生产周期都要经历装炉运行和拆装炉阶段。而在拆炉和装炉阶段，耗时最多的是设备底盘大螺栓的拆装。随着大炉型的投入使用，拆装设备底盘大螺栓耗费的时间也会越来越多，占用了还原炉的非在产时间，影响了多晶硅生产效率和产量。


技术实现要素：

3.有鉴于此，本实用新型提供一种还原炉底盘螺栓拆卸省力操作助力系统，主要目的是提高还原炉底盘大螺栓的拆装效率。
4.为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：
5.本实用新型提供了一种还原炉底盘螺栓拆卸省力操作助力系统，该系统包括：底座和调整部；
6.所述底座的下表面分别转动连接于多个滚轮；
7.所述调整部包括支撑立柱、横臂和调整机构，所述支撑立柱的下端固定连接于所述底座，所述横臂的一端侧通过轴承安装于所述支撑立柱的上端，所述调整机构包括竖直立柱、第一连杆、第二连杆、悬挂杆和气缸体，所述竖直立柱的上端通过轴承安装于所述横臂的另一端侧，所述第一连杆的一端铰接于所述竖直立柱的上端侧，另一端铰接于所述悬挂杆的上端，所述第二连杆的一端铰接于所述竖直立柱的下端，另一端铰接于所述悬挂杆，所述第一连杆平行于所述第二连杆，所述第一连杆的长度和所述第二连杆的长度相同，所述气缸体的一端转动连接于所述第一连杆的另一端侧，所述气缸体的另一端转动连接于所述第二连杆的一端侧，所述悬挂杆的下端连接于气动扳手。
8.本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
9.可选的，还包括第一制动机构，所述第一制动机构包括第一刹车盘和第一碟式刹车制动器，所述第一刹车盘固定安装于所述支撑立柱的上端轴侧，所述第一碟式刹车制动器固定安装于所述横臂的一端，用于控制所述横臂相对于所述支撑立柱的转动角度。
10.可选的，还包括第二制动机构，所述第二制动机构包括第二刹车盘和第二碟式刹
车制动器，所述第二刹车盘固定安装于所述横臂的另一端侧，所述第二碟式刹车制动器固定安装于所述竖直立柱的上端侧，用于控制所述竖直立柱相对于所述横臂的转动角度。
11.可选的，还包括多个加强筋板，每一个所述加强筋板的一端固定连接于所述底座，另一端固定连接于所述支撑立柱的下端侧。
12.可选的，还包括推柄，所述推柄固定连接于所述底座的上表面。
13.可选的，还包括多个停车制动器，每一个所述停车制动器对应于其中一个所述滚轮。
14.可选的，还包括多个螺纹杆，所述底座的边缘均布有多个螺纹孔，每一个所述螺纹杆的上端螺纹连接于其中一个所述螺纹孔，每一个所述螺纹杆的下端固定连接于支撑座。
15.可选的，还包括操作手柄，所述操作手柄固定连接于所述悬挂杆的下端侧。
16.可选的，还包括控制按钮，所述控制按钮安装于所述悬挂杆的下端侧，用于控制所述气动扳手。
17.借由上述技术方案，本实用新型至少具有下列优点：
18.当还原炉内的硅棒完成沉积反应，需要拆炉时，拆卸螺栓；或者当还原炉钟罩罩设于还原炉底盘上，准备沉积反应前，需要旋紧螺栓。
19.当上述情况发生时，操作人员通过推动支撑立柱，带动底座下表面的多个滚轮滚动，从而使底座移动至还原炉旁边。
20.然后，操作人员先手动推横臂，使横臂相对于支撑立柱水平转动，调整横臂和底座的相对角度；再推动悬挂杆，从而带动第一连杆和第二连杆相对于横臂水平转动，从而使悬挂杆下端的气动扳手对接至还原炉底盘大螺栓。
21.所述第一连杆平行于所述第二连杆，所述第一连杆的长度和所述第二连杆的长度相同，从而使竖直立杆、第一连杆、第二连杆和悬挂杆构成平行四边形。在上述过程中，为了便于气动扳手自上而下对接还原炉底盘大螺栓，操作人员可以控制气缸体的活塞杆伸出气缸体的气缸(这时，悬挂杆带动气动扳手向上移动)，或者控制气缸体的活塞杆缩回气缸体的气缸(这时，悬挂杆带动气动扳手向下移动)。
22.因为竖直立杆沿竖直方向延伸，悬挂杆平行于竖直立杆，在气缸体的活塞杆伸缩过程中，悬挂杆和气动扳手一直沿竖直方向上下移动，从而保证气动扳手顺利对接还原炉底盘大螺栓。
附图说明
23.图1为本实用新型实施例提供的一种还原炉底盘螺栓拆卸省力操作助力系统的侧视图；
24.图2为本实用新型实施例提供的一种还原炉底盘螺栓拆卸省力操作助力系统的使用状态图；
25.图3为还原炉底盘和气动扳手的位置关系图；
26.图4为图1中a部分的放大图。
27.说明书附图中的附图标记包括：底座1、滚轮2、支撑立柱3、横臂4、竖直立柱5、第一连杆6、第二连杆7、悬挂杆8、气缸体9、气动扳手10、第一刹车盘11、第一碟式刹车制动器12、第二刹车盘13、第二碟式刹车制动器14、加强筋板15、推柄16、停车制动器17、螺纹杆18、支
撑座19、操作手柄20、控制按钮21、大螺栓22。
具体实施方式
28.为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型申请的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。在下述说明中，不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外，一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。
29.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
30.如图1、图2和图3所示，本实用新型的一个实施例提供的一种还原炉底盘螺栓拆卸省力操作助力系统，其包括：底座1和调整部；
31.底座1的下表面分别转动连接于多个滚轮2；
32.调整部包括支撑立柱3、横臂4和调整机构，支撑立柱3的下端固定连接于底座1，横臂4的一端侧通过轴承安装于支撑立柱3的上端，调整机构包括竖直立柱5、第一连杆6、第二连杆7、悬挂杆8和气缸体9，竖直立柱5的上端通过轴承安装于横臂4的另一端侧，第一连杆6的一端铰接于竖直立柱5的上端侧，另一端铰接于悬挂杆8的上端，第二连杆7的一端铰接于竖直立柱5的下端，另一端铰接于悬挂杆8，第一连杆6平行于第二连杆7，第一连杆6的长度和第二连杆7的长度相同，气缸体9的一端转动连接于第一连杆6的另一端侧，气缸体9的另一端转动连接于第二连杆7的一端侧，悬挂杆8的下端连接于气动扳手10。
33.还原炉底盘螺栓拆卸省力操作助力系统工作过程如下:
34.当还原炉内的硅棒完成沉积反应，需要拆炉时，拆卸螺栓；或者当还原炉钟罩罩设于还原炉底盘上，准备沉积反应前，需要旋紧螺栓。
35.当上述情况发生时，操作人员通过推动支撑立柱3，带动底座1下表面的多个滚轮2滚动，从而使底座1移动至还原炉旁边。
36.然后，操作人员先手动推横臂4，使横臂4相对于支撑立柱3水平转动，调整横臂4和底座1的相对角度；再推动悬挂杆8，从而带动第一连杆6和第二连杆7相对于横臂4水平转动，从而使悬挂杆8下端的气动扳手10对接至还原炉底盘大螺栓22。
37.第一连杆6平行于第二连杆7，第一连杆6的长度和第二连杆7的长度相同，从而使竖直立杆、第一连杆6、第二连杆7和悬挂杆8构成平行四边形。在上述过程中，为了便于气动扳手10自上而下对接还原炉底盘大螺栓22，操作人员可以控制气缸体9的活塞杆伸出气缸体9的气缸(这时，悬挂杆8带动气动扳手10向上移动)，或者控制气缸体9的活塞杆缩回气缸体9的气缸(这时，悬挂杆8带动气动扳手10向下移动)。
38.因为竖直立杆沿竖直方向延伸，悬挂杆8平行于竖直立杆，气缸体9的活塞杆在伸缩运动过程中，悬挂杆8和气动扳手10一直沿竖直方向上下移动，从而保证气动扳手10顺利对接还原炉底盘大螺栓22。
39.在本实用新型的技术方案中，操作人员不需要手提气动扳手10，只需要水平推动横臂4，或者水平推动悬挂杆8，从而调整气动扳手10和还原炉底盘大螺栓22的水平位置，与此同时，通过控制气缸体9，带动气动扳手10向下移动，并对接还原炉底盘大螺栓22；或者通过控制气缸体9，带动气动扳手10向上移动，脱离还原炉底盘大螺栓22。通过本装置，便于操作人员节省体力，提高拆卸或者安装大螺栓22时的效率。
40.具体的,竖直立杆、第一连杆6、第二连杆7和悬挂杆8构成平行四边形，气缸体9基本沿平行四边形的对角线方向延伸，通过气缸体9的活塞杆的伸缩运动，改变平四边形的对角线长度，从而改变悬挂杆8的竖直高度。
41.如图1、图2所示，在具体实施方式中，还包括第一制动机构，第一制动机构包括第一刹车盘11和第一碟式刹车制动器12，第一刹车盘11固定安装于支撑立柱3的上端轴侧，第一碟式刹车制动器12固定安装于横臂4的一端，用于控制横臂4相对于支撑立柱3的转动角度。
42.在本实施方式中，具体的，当操作人员推动横臂4转动至合适角度位置时，操作人员拨动第一碟式刹车制动器12的开关，从而制动第一刹车盘11，从而固定横臂4和支撑立柱3的相对位置。
43.如图1、图2所示，在具体实施方式中，还包括第二制动机构，第二制动机构包括第二刹车盘13和第二碟式刹车制动器14，第二刹车盘13固定安装于横臂4的另一端侧，第二碟式刹车制动器14固定安装于竖直立柱5的上端侧，用于控制竖直立柱5相对于横臂4的转动角度。
44.在本实施方式中，具体的，当操作人员驱动竖直立柱5转动至合适角度位置时，操作人员拨动第二碟式刹车制动器14的开关，从而制动第二刹车盘13，从而固定竖直立柱5和横臂4的相对位置。
45.上述合适角度位置根据实际现场需要而定，当操作人员在使用气动扳手10时，通过第一制动机构和第二制动机构固定上述相对位置，可以保证启动扳手的水平位置稳定性。
46.如图1、图2所示，在具体实施方式中，还包括多个加强筋板15，每一个加强筋板15的一端固定连接于底座1，另一端固定连接于支撑立柱3的下端侧。
47.在本实施方式中，具体的，通过多个加强筋板15，提高了支撑立柱3下端的稳定性，避免支撑立柱3相对于底座1偏斜。
48.如图1、图2所示，在具体实施方式中，还包括推柄16，推柄16固定连接于底座1的上表面。
49.在本实施方式中，具体的，操作人员手握推柄16，便于操作人员带动底座1移动。
50.如图1、图2所示，在具体实施方式中，还包括多个停车制动器17，每一个停车制动器17对应于其中一个滚轮2。
51.在本实施方式中，具体的，当操作人员将底座1移动至所需位置时，通过多个停车制动器17制动多个滚轮2，从而保证底座1的位置不会再随意改变，为后续气动扳手10水平位置的调整提供一个稳定的基础。
52.如图1、图2、图4所示，在具体实施方式中，还包括多个螺纹杆18，底座1的边缘均布有多个螺纹孔，每一个螺纹杆18的上端螺纹连接于其中一个螺纹孔，每一个螺纹杆18的下端固定连接于支撑座19。
53.在本实施方式中，具体的，当操作人员将底座1移动至合适位置时，操作人员同步旋动多个螺纹杆18，以使多个螺纹杆18下端的支撑座19同步向下移动，随着支撑座19向下移动距离的增加，多个滚轮2逐渐脱离地面，这样，进一步提高了底座1在地面上的稳定性，在使用气动扳手10时，底座1不会发生不受控制的移动。
54.如图1、图2所示，在具体实施方式中，还包括操作手柄20，操作手柄20固定连接于悬挂杆8的下端侧。
55.在本实施方式中，具体的，操作手柄20的数量为两个，两个操作手柄20相互垂直，当操作人员将启动扳手和还原炉底盘大螺栓22对接完毕，启动气动扳手10时，可以手持两个操作手柄20，避免气动扳手10脱离大螺栓22。
56.如图1、图2所示，在具体实施方式中，还包括控制按钮21，控制按钮21安装于悬挂杆8的下端侧，用于控制气动扳手10。
57.在本实施方式中，具体的，控制按钮21电连接于气动扳手10，操作人员在拆卸大螺栓22的过程中，需要控制气动扳手10的启动或停止时，可以就近触动控制按钮21，提高操作的便捷性。
58.以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。