专利名称：溅镀机的防着板结构的制作方法
技术领域：
本实用新型提供一种溅镀机部件，尤指一种溅镀机的防着板结构。
技术背景参阅图1所示，为习用溅镀机的剖面示意图，溅镀机的结构主要包含有 一溅镀源l o，该溅镀源i O以离子溅射原理，先利用电场使两极间产生电子， 这些加速电子会与真空腔中己预先充入的惰性气体碰撞，使其带正电，这些带正电 的粒子会受阴极(靶材)吸引而撞击阴极，入射离子受到电场作用获得动量，撞击 靶材表面的原子，这些原子受到正电离子的碰撞得到入射离子的动量转移，被撞击 的靶材表面原子因接受入射离子的动量，对靶材表面下原子造成压挤使其发生移 位，此靶材表面下多层原子的挤压，会产生垂直耙材表面的作用力而把表面原子碰 撞出去，这些被碰撞出去的原子，最后终于沉积在被镀物l 5上完成溅镀；一防着板结构l 1，该防着板结构l l设于导轨结构l 2两侧，防着板结构 11防止原子沉积于置物板1 4以外的机台其他位置；一导轨结构1 2 ，该导轨结构1 2设于输送带结构1 3的两侧，以导引置物板1 4移动方向；一输送带结构1 3 ，该输送带结构1 3输送置物板1 4经过溅镀源1 0 ;数置物板l 4，提供被镀物l 5放置；通过上述组成，被镀物1 5置于置物板1 4 ，再将置物板1 4置于输送带结构 1 3，经导轨结构l 2导引，而经过溅镀源l 0完成溅镀。 惟，其上述习用的溅镀机，仍存在有下列缺失-1 .溅镀源1 0的溅镀过程会有原子沉积在溅镀区四周，所以防着板结构1 1 与导轨结构l 2，均须在使用一段时间后，将之拆卸以利进行沉积物的清除，但每 多一防着板或导轨，就增加一拆及装防着板或导轨的时间，同时也浪费了人力。2.习用的溅镀机，其防着板与导轨分开制作与锁固，所以防着板与导轨的强 度也较差。因此，针对上述习知结构所存在的问题点，如何开发一种更具理想实用性的创 新结构，实消费者所殷切企盼，亦系相关业者须努力研发突破的目标及方向。有鉴于此，创作人本于多年从事相关产品的制造开发与设计经验，针对上述的
目标，详加设计与审慎评估后，终得一确具实用性的本实用新型。 发明内容本实用新型目的在于，提供一种溅镀机的防着板结构，以克服上述传统结构的 缺陷，达到减少组、拆次数，节省人力，同时提高防着板结构强度的效果。解决问题的技术特点 一种溅镀机的防着板结构，该溅镀机包含有一向输送带 结构及置物板方向溅镀的溅镀源、 一输送带结构、数置物板及一由防着板构成的防 着板结构，输送带上置放有置物板，而置物板上置放被镀物，所述防着板结构位于 输送带结构两侧；其特征在于该防着板结构的防着板一体成型有导轨。其中，该防着板结构包括二块以上的防着板，每一防着板均一体成型有导轨。 对照先前技术的功效一、 习用溅镀机的防着板结构与导轨结构系分别制作，再分别锁设固定至溅镀 机，待使用过后须要清洁时，也须要分别将防着板结构与导轨结构拆下来清洁，再 将清洁好的防着板结构与导轨结构分别锁回溅镀机，操作上每增一构件就要增加二 倍的工作量，时间、人力也较浪费，而本实用新型的防着板一体成型有导轨，所以 拆、装次数得以减少，人力也较节省。二、 习用溅镀机的防着板结构与导轨结构分别制作，所以防着板结构的强度较 差，本实用新型的防着板与导轨一体成型制成，所以强度较强。有关本实用新型所采用的技术、手段及其功效，兹举一较佳实施例并配合图式 详细说明于后，相信本实用新型上述的目的、构造及特征，当可由之得一深入而具 体的了解。
图l:是习用溅镀机的剖面示意图。图2:是本实用新型的其一实施例溅镀机的剖面示意图。 图3:是本实用新型的其一实施例溅镀机平面示意图。 图4:是本实用新型的其一实施例测镀机流程示意图。
具体实施方式
参阅图2所示，本实用新型提供一种溅镀机的防着板结构，其一实施例包括: 一溅镀源2 0，该溅镀源2 O以离子溅射原理，先利用电场使两极间产生电子， 这些加速电子会与真空腔中己预先充入的惰性气体碰撞，使其带正电，这些带正电 的粒子会受阴极(靶材)吸引而撞击阴极，入射离子受到电场作用获得动量，撞击
靶材表面的原子，这些原子受到正电离子的碰撞得到入射离子的动量转移，被撞击 的耙材表面原子因接受入射离子的动量，对耙材表面下原子造成压挤使其发生移 位，此靶材表面下多层原子的挤压，会产生垂直靶材表面的作用力而把表面原子碰 撞出去，这些被碰撞出去的原子，最后终于沉积在被镀物2 5上完成溅镀，过程会 产生废热，且会于真空腔内累积；一防着板结构3 0 ，该防着板结构3 0包括至少二防着板3 1、 3 2，该二防 着板3 1、 3 2分别设于输送带结构2 3两侧，防着板结构3 O防止原子沉积于置 物板2 4以外的机台其他位置，防着板结构3 O必要时需拆卸下来，作必要的清洁 动作；一输送带结构2 3 ，该输送带结构2 3输送置物板2 4经过溅镀源2 0 ; 数置物板2 4 ，提供被镀物2 5放置；主要在于防着板3 l或3 2制作时一体成型制出导轨，如此锁设固定防着板3 l或3 2同时，也固定了导轨，因此使用一段时间之后相关的结构须拆卸清除沉 积物时，只需拆、装防着板3 l及3 2即可，据此可以减少组、拆次数，节省人力， 防着板结构的强度也可较强。通过上述组成，被镀物2 5置于置物板2 4 ，再将置物板2 4置于输送带结构 2 3，经导引而经过溅镀源2 0完成溅镀。参阅图3、图4所示，本实用新型提供一种溅镀机的防着板结构，其一实施例 流程，包括该被镀物2 5被置于置物板2 4之上，而置物板2 5则置于输送带结构2 3 上，置物板2 5首先经过溅镀机的输入装置4 l送入溅镀机内部，其后以清洁装置4 2将被镀物2 5确实的清洁，以利溅镀的附着，清洁之后进入第一缓冲装置4 3 缓冲一段时间，再将置物板2 4连同被镀物2 5送入溅镀装置4 4溅镀，溅镀完成 后，经第二缓冲装置4 5以一段时间缓冲后，由输出装置4 6将置物板2 4连同被 镀物2 5送出，最后乃完成所有溅镀制程。所述溅镀装置4 4、缓冲装置4 3或4 5均可依需求增加。 前文针对本实用新型的较佳实施例为本实用新型的技术特征进行具体的说明；惟，熟悉此项技术的人士当可在不脱离本实用新型的精神与原则下对本实用新型进 行变更与修改，而该等变更与修改，皆应涵盖于本申请专利范围所界定的范畴中。
权利要求1.一种溅镀机的防着板结构，包含有一向输送带结构及置物板方向溅镀的溅镀源、一输送带结构、数置物板及一由防着板构成的防着板结构，输送带上置放有置物板，而置物板上置放被镀物，所述防着板结构位于输送带结构两侧；其特征在于该防着板结构的防着板一体成型有导轨。
2.如权利要求l所述的溅镀机的防着板结构，其特征在于，该防着板结构包 括二块以上的防着板，每一防着板均一体成型有导轨。
专利摘要一种溅镀机的防着板结构，该溅镀机包含有一溅镀源、一防着板结构、一输送带结构及数置物板，其中，溅镀过程中，原子会往被镀物方向沉积，因此也有可能沉积至防着板结构，所以溅镀操作一段时间之后，相关的结构均须拆卸清除沉积物，本实用新型的防着板结构一体成型有导轨结构，据此，无论在拆、装防着板结构后，就不用再拆、装导轨结构，可以减少组、拆次数，节省人力，防着板结构的强度也相应较强。
文档编号C23C14/34GK201031252SQ20072014107
公开日2008年3月5日 申请日期2007年3月26日 优先权日2007年3月26日
发明者赖翠仙 申请人:建铯科技股份有限公司