一种用于单晶硅切片的研磨装置的制作方法

1.本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，具体为一种用于单晶硅切片的研磨装置。


背景技术：

2.单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等；单晶硅切片研磨，是指单晶硅切片通过研磨能去除切片和轮磨所造成的锯痕及表面损伤层，有效改善单晶硅切片的曲度、平坦度和平行度，达到一个抛光过程可以处理规格，现有技术都是利用研磨装置对单晶硅切片进行研磨。
3.现有的研磨装置中并没有固定待加工工件的装置，基本是将待加工工件放置在研磨装置上直接研磨，在研磨的过程中可能会造成待加工工件移动，导致研磨质量变差；并且现有的研磨装置的研磨盘一般都在固定位置对工件进行研磨，不能适用于不同大小的工件，适用范围较小。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种用于单晶硅切片的研磨装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种用于单晶硅切片的研磨装置，包括支撑板，所述支撑板底部设置有支撑腿，所述支撑板顶部的两侧均固定安装有侧盒，一个所述侧盒的内安装有电机，所述电机输出端连接有丝杠，所述丝杠上螺纹连接有第一滑动块，另一个所述侧盒的内部固定安装有滑杆，所述滑杆中部套接有第二滑动块，所述第一滑动块和第二滑动块之间固定安装有连接板，所述连接板的底部固定安装有漏斗，所述漏斗的底部固定连通有导管，所述导管的底端穿过所述支撑板并连通有收集盒。
6.所述连接板顶部的左右两端分别固定安装有固定装置。
7.所述固定装置包括固定块，所述固定块中螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆外端连接有把手，内侧连接有限位吸盘。
8.所述连接板的顶部后方固定有支撑柱，所述支撑柱顶端固定安装有液压缸，所述液压缸的底端固定连接有固定盒，所述固定盒的内部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有转动轴，所述转动轴的另一端固定连接有研磨盘。
9.所述收集盒连通有连接管，所述连接管的另一端固定连通有动力泵，所述动力泵的另一侧固定连通有引流管，所述引流管的另一端安装有喷头。
10.与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：
11.1、本实用新型通过电机、丝杠、滑杆、第一滑动块和第二滑动块，能实现连接板的上下移动，从而可以调整研磨盘与连接板之间的距离，方便对不同大小的工件进行研磨，扩大了使用范围；
12.2、通过固定装置，能实现对工件的固定，使两个限位吸盘从侧面将待加工工件固定，防止在研磨的过程中，由于待加工工件的移动，导致研磨的质量变差，从而提高了该研磨装置的实用性。
附图说明
13.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
14.图1是本实用新型整体的结构示意图；
15.图2是固定装置的结构示意图。
16.图中：1支撑板，2支撑腿，3侧盒，4丝杠，5第一滑动块，6滑杆，7第二滑动块，8、连接板，9、漏斗，10导管，11收集盒，12连接管，13动力泵，14引流管，15支撑柱，16液压缸，17固定盒，18驱动电机，19转动轴，20研磨盘，21电机，22喷头，23固定装置，24固定块，25螺纹杆，26把手，27限位吸盘。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.请参阅图1
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2，本实用新型提供技术方案：一种用于单晶硅切片的研磨装置，包括支撑板1，支撑板1底部设置有支撑腿2，支撑板1顶部的两侧均固定安装有侧盒3，一个侧盒3的内安装有电机21，电机21输出端连接有丝杠4，丝杠4上螺纹连接有第一滑动块5，另一个侧盒3的内部固定安装有滑杆6，滑杆6中部套接有第二滑动块7，第一滑动块5和第二滑动块7之间固定安装有连接板8，连接板8中部安装有漏网，连接板8的底部固定安装有漏斗9，漏斗9的底部固定连通有导管10，导管10的底端穿过支撑板1并连通有收集盒11，研磨液依次通过漏网、漏斗9、导管10进入收集盒11中。
19.连接板8顶部的左右两端分别固定安装有固定装置23。
20.固定装置23包括固定块24，固定块24中螺纹连接有螺纹杆25，螺纹杆25外端连接有把手26，内侧连接有限位吸盘27。
21.连接板8的顶部后方固定有支撑柱15，支撑柱15安装于待加工工件的后端，支撑柱15顶端固定安装有液压缸16，液压缸16的底端固定连接有固定盒17，固定盒17的内部固定安装有驱动电机18，驱动电机18的输出轴固定连接有转动轴19，转动轴19的另一端固定连接有研磨盘20。
22.收集盒11连通有连接管12，连接管12的另一端固定连通有动力泵13，动力泵13的另一侧固定连通有引流管14，引流管14的另一端安装有喷头22，从而使研磨液循环利用。
23.具体实施方式为：本实用新型通过电机、丝杠、滑杆、第一滑动块和第二滑动块，电机驱动丝杠转动，可使第一滑动块沿侧盒上下移动，使连接板的上下移动，从而可以调整研磨盘与连接板之间的距离，方便对不同大小的工件进行研磨，扩大了使用范围；
24.通过固定装置，能实现对工件的固定，通过转动把手，带动螺纹杆向内侧移动，可
使两个限位吸盘从侧面将待加工工件固定，防止在研磨的过程中，由于待加工工件的移动，导致研磨的质量变差，从而提高了该研磨装置的实用性。
25.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种用于单晶硅切片的研磨装置，包括支撑板(1)，其特征在于：所述支撑板(1)底部设置有支撑腿(2)，所述支撑板(1)顶部的两侧均固定安装有侧盒(3)，一个所述侧盒(3)的内安装有电机(21)，所述电机(21)输出端连接有丝杠(4)，所述丝杠(4)上螺纹连接有第一滑动块(5)，另一个所述侧盒(3)的内部固定安装有滑杆(6)，所述滑杆(6)中部套接有第二滑动块(7)，所述第一滑动块(5)和第二滑动块(7)之间固定安装有连接板(8)，所述连接板(8)的底部固定安装有漏斗(9)，所述漏斗(9)的底部固定连通有导管(10)，所述导管(10)的底端穿过所述支撑板(1)并连通有收集盒(11)。2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅切片的研磨装置，其特征在于：所述连接板(8)顶部的左右两端分别固定安装有固定装置(23)。3.根据权利要求2所述的一种用于单晶硅切片的研磨装置，其特征在于：所述固定装置(23)包括固定块(24)，所述固定块(24)中螺纹连接有螺纹杆(25)，所述螺纹杆(25)外端连接有把手(26)，内侧连接有限位吸盘(27)。4.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅切片的研磨装置，其特征在于：所述连接板(8)的顶部后方固定有支撑柱(15)，所述支撑柱(15)顶端固定安装有液压缸(16)，所述液压缸(16)的底端固定连接有固定盒(17)，所述固定盒(17)的内部固定安装有驱动电机(18)，所述驱动电机(18)的输出轴固定连接有转动轴(19)，所述转动轴(19)的另一端固定连接有研磨盘(20)。5.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅切片的研磨装置，其特征在于：所述收集盒(11)连通有连接管(12)，所述连接管(12)的另一端固定连通有动力泵(13)，所述动力泵(13)的另一侧固定连通有引流管(14)，所述引流管(14)的另一端安装有喷头(22)。

技术总结
本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，具体为一种用于单晶硅切片的研磨装置。包括支撑板，支撑板底部设置有支撑腿，支撑板顶部的两侧均固定安装有侧盒，一个侧盒的内安装有电机，电机输出端连接有丝杠，丝杠上螺纹连接有第一滑动块，另一个侧盒的内部固定安装有滑杆，滑杆中部套接有第二滑动块，第一滑动块和第二滑动块之间固定安装有连接板，连接板的底部固定安装有漏斗，漏斗的底部固定连通有导管，导管的底端穿过支撑板并连通有收集盒。本实用新型能实现连接板上下移动，从而可调整研磨盘与连接板之间的距离，方便对不同大小的工件研磨；能实现对工件的固定，防止在研磨过程中，由于工件移动导致研磨的质量变差，提高了该研磨装置的实用性。该研磨装置的实用性。该研磨装置的实用性。


技术研发人员：王初林
受保护的技术使用者：扬州善鸿新能源发展有限公司
技术研发日：2020.12.22
技术公布日：2021/11/30