新型磁铁自动往复磁控平面靶的制作方法

1.本实用新型涉及磁铁技术领域，具体为新型磁铁自动往复磁控平面靶。


背景技术：

2.磁铁的成分是铁、钴、镍等原子，其原子的内部结构比较特殊，本身就具有磁矩；磁铁能够产生磁场，具有吸引铁磁性物质如铁、镍、钴等金属的特性；磁铁分永久磁铁与软磁，永久磁铁是加上强磁，使磁性物质的自旋与电子角动量成固定方向排列，软磁则是加上电；等电流去掉软铁会慢慢失去磁性；将条形磁铁的中点用细线悬挂起来，静止的时候，它的两端会各指向地球南方和北方，指向北方的一端称为指北极或n极，指向南方的一端为指南极或s极；镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源；靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。
3.但是，现有的新型磁铁自动往复磁控平面靶使用时结构复杂，不方便进行安装；因此不满足现有的需求，对此我们提出了新型磁铁自动往复磁控平面靶。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供新型磁铁自动往复磁控平面靶，以解决上述背景技术中提出现有的新型磁铁自动往复磁控平面靶使用时结构复杂，不方便进行安装的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：新型磁铁自动往复磁控平面靶，包括平面靶座，所述平面靶座上方的外部安装有安装边板，所述平面靶座上方的内部安装有高效平面磁体安装座，所述高效平面磁体安装座两端的外部均安装有安装板块，所述安装边板下方的内部安装有固定块，所述高效平面磁体安装座的内部设置有磁控槽，所述磁控槽的内部安装有高效平面磁体。
6.优选的，所述平面靶座一侧的下方设置有引出口，所述引出口的前端安装有调节阀。
7.优选的，所述安装板块和高效平面磁体安装座为一体结构，且所述安装板块设置有若干个，且若干个安装板块依次分布，所述安装板块和安装边板通过固定螺栓连接。
8.优选的，所述安装边板的内部设置有安装固定孔，所述安装固定孔设置有若干个，且若干个安装固定孔依次分布，所述平面靶座和安装边板为一体结构。
9.优选的，所述平面靶座的内部设置有安装槽，所述安装槽的内部安装有绝缘内胆，所述绝缘内胆的内部安装有安装架，所述安装架上方的内部安装有磁钢组，所述平面靶座和安装架固定连接。
10.优选的，所述高效平面磁体安装座的外部安装有密封垫，所述平面靶座内部的上方安装有防护内圈块，所述防护内圈块和平面靶座固定连接，所述高效平面磁体安装座和密封垫粘贴连接。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.1、本实用新型通过安装板块、防护内圈块和密封垫，使用时，通过设置有安装板块便于对平面靶座和高效平面磁体安装座进行安装连接，连接可靠，装卸方便，防护内圈块对高效平面磁体安装座的外部进行防护，防止在装卸过程中造成磨损，密封垫保障了连接处的密封性，整体的结构完善，形式多样；
13.2、本实用新型通过安装架、绝缘内胆和磁控槽，使用时，通过设置有安装架，利于安装磁钢组的工作组件，方便安装使用，绝缘内胆绝缘性好，避免因外界的讯号影响内部的磁场工作情况，通过设置有磁控槽，利于根据需要安装高效平面磁体进行工作，连接可靠，易于操作，整体的结构稳定。
附图说明
14.图1为本实用新型新型磁铁自动往复磁控平面靶的主视图；
15.图2为本实用新型新型磁铁自动往复磁控平面靶的俯视图；
16.图3为本实用新型新型磁铁自动往复磁控平面靶的剖视图。
17.图中：1、平面靶座；2、安装边板；3、高效平面磁体安装座；4、固定块；5、安装板块；6、固定螺栓；7、引出口；8、调节阀；9、安装固定孔；10、防护内圈块；11、密封垫；12、高效平面磁体；13、磁控槽；14、安装槽；15、绝缘内胆；16、磁钢组；17、安装架。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
19.请参阅图1
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3，本实用新型提供的一种实施例：新型磁铁自动往复磁控平面靶，包括平面靶座1，平面靶座1上方的外部安装有安装边板2，平面靶座1上方的内部安装有高效平面磁体安装座3，高效平面磁体安装座3两端的外部均安装有安装板块5，便于装卸，连接可靠，安装边板2下方的内部安装有固定块4，稳定性高，高效平面磁体安装座3的内部设置有磁控槽13，磁控槽13的内部安装有高效平面磁体12，便于安装进行使用。
20.进一步，平面靶座1一侧的下方设置有引出口7，引出口7的前端安装有调节阀8，方便使用。
21.进一步，安装板块5和高效平面磁体安装座3为一体结构，且安装板块5设置有若干个，且若干个安装板块5依次分布，安装板块5和安装边板2通过固定螺栓6连接，方便装卸。
22.进一步，安装边板2的内部设置有安装固定孔9，安装固定孔9设置有若干个，且若干个安装固定孔9依次分布，平面靶座1和安装边板2为一体结构，结构整体性好。
23.进一步，平面靶座1的内部设置有安装槽14，安装槽14的内部安装有绝缘内胆15，绝缘内胆15的内部安装有安装架17，安装架17上方的内部安装有磁钢组16，平面靶座1和安装架17固定连接，连接稳定可靠，便于使用。
24.进一步，高效平面磁体安装座3的外部安装有密封垫11，平面靶座1内部的上方安装有防护内圈块10，防护内圈块10和平面靶座1固定连接，高效平面磁体安装座3和密封垫11粘贴连接，防护性强。
25.工作原理：使用时，通过在平面靶座1内部安装槽14内的安装架17内安装好相对应的磁钢组16，方便安装操作，绝缘内胆15绝缘性好，避免影响内部磁性活动，再将高效平面磁体安装座3安装在平面靶座1内部的上方，通过固定螺栓6穿过安装固定孔9对安装板块5和安装边板2进行固定，再通过固定块4进行进一步的固定，使得稳定性更高，密封垫11使得连接处更加的紧密，防护内圈块10防护性强，避免造成磨损，最后在高效平面磁体安装座3内部的磁控槽13内安装好高效平面磁体12来进行工作，且高效平面磁体安装座3背面采用伺服运动控制磁场的方式，使得平面靶溅射效率提高，工作结束后可以通过转动调节阀8，来经引出口7引出内部的水、电、气，整体的结构简单，便于进行拆卸，方便操作使用。
26.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。


技术特征：
1.新型磁铁自动往复磁控平面靶，包括平面靶座(1)，其特征在于：所述平面靶座(1)上方的外部安装有安装边板(2)，所述平面靶座(1)上方的内部安装有高效平面磁体安装座(3)，所述高效平面磁体安装座(3)两端的外部均安装有安装板块(5)，所述安装边板(2)下方的内部安装有固定块(4)，所述高效平面磁体安装座(3)的内部设置有磁控槽(13)，所述磁控槽(13)的内部安装有高效平面磁体(12)。2.根据权利要求1所述的新型磁铁自动往复磁控平面靶，其特征在于：所述平面靶座(1)一侧的下方设置有引出口(7)，所述引出口(7)的前端安装有调节阀(8)。3.根据权利要求1所述的新型磁铁自动往复磁控平面靶，其特征在于：所述安装板块(5)和高效平面磁体安装座(3)为一体结构，且所述安装板块(5)设置有若干个，且若干个安装板块(5)依次分布，所述安装板块(5)和安装边板(2)通过固定螺栓(6)连接。4.根据权利要求1所述的新型磁铁自动往复磁控平面靶，其特征在于：所述安装边板(2)的内部设置有安装固定孔(9)，所述安装固定孔(9)设置有若干个，且若干个安装固定孔(9)依次分布，所述平面靶座(1)和安装边板(2)为一体结构。5.根据权利要求1所述的新型磁铁自动往复磁控平面靶，其特征在于：所述平面靶座(1)的内部设置有安装槽(14)，所述安装槽(14)的内部安装有绝缘内胆(15)，所述绝缘内胆(15)的内部安装有安装架(17)，所述安装架(17)上方的内部安装有磁钢组(16)，所述平面靶座(1)和安装架(17)固定连接。6.根据权利要求1所述的新型磁铁自动往复磁控平面靶，其特征在于：所述高效平面磁体安装座(3)的外部安装有密封垫(11)，所述平面靶座(1)内部的上方安装有防护内圈块(10)，所述防护内圈块(10)和平面靶座(1)固定连接，所述高效平面磁体安装座(3)和密封垫(11)粘贴连接。

技术总结
本实用新型公开了新型磁铁自动往复磁控平面靶，涉及磁铁技术领域，为解决现有的新型磁铁自动往复磁控平面靶使用时结构复杂，不方便进行安装的问题。所述平面靶座上方的外部安装有安装边板，所述平面靶座上方的内部安装有高效平面磁体安装座，所述高效平面磁体安装座两端的外部均安装有安装板块，所述安装边板下方的内部安装有固定块，所述高效平面磁体安装座的内部设置有磁控槽，所述磁控槽的内部安装有高效平面磁体。有高效平面磁体。有高效平面磁体。


技术研发人员：王伟平 王金泉 王菊姿
受保护的技术使用者：莱糸真空科技（常州）有限公司
技术研发日：2020.12.31
技术公布日：2021/9/17