一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件的制作方法

1.本实用新型涉及工艺腔体技术领域，更具体地说，本实用新型涉及一种12 寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件。


背景技术：

2.amat 300mm txz chamber在生产工艺中，由于forline的阀体没有保护，导致金属膜不容易黏附，颗粒容易掉落；工艺过程中，需要从干泵切换到分子泵抽腔体的，由于分子泵的抽力更大，所以会导致干泵forline阀体的没有保护的掉落颗粒反冲上来，掉落在晶圆的表面，干泵排气管内的颗粒反冲上来影响晶圆，导致晶圆颗粒超标报废或良率低的问题，缺少一个避免颗粒反冲，对颗粒进行收集的装置。
3.因此亟需提供一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件。


技术实现要素：

4.为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型的实施例提供一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件，以解决现有技术的颗粒反冲影响晶圆的问题。
5.为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件，包括排气管，所述排气管的数量为若干个，相邻的两个所述排气管之间通过法兰固定连接，所述排气管的内壁设有套筒组件。
6.优选地，所述套筒组件包括第一套筒，所述第一套筒的顶部固定安装有支撑板，所述第一套筒的内壁活动安装有第二套筒，所述支撑板的内部开设有通孔，所述通孔的内径大小与第一套筒的内径大小相同。
7.优选地，所述第一套筒和第二套筒的内壁呈粗糙结构。
8.本实用新型的上述技术方案的有益效果如下：
9.上述方案中，通过设置所述干泵的forline新型保护套，使得很好的保护了forline的连接口，新型保护套在表面内筒表面都使用喷砂，具有一定的粗糙度，且表面粗糙度均匀，使得颗粒都可以黏附在上面，不容易掉落，在从干泵切换到分子泵抽腔体时产生的向上的反冲，由于颗粒被吸附在保护套内壁表面，颗粒不会反冲上去，使得腔体的晶圆不受到颗粒沾污，从而避免了晶圆颗粒超标报废，提高了晶圆的良率和设备的使用率。
附图说明
10.图1为本实用新型的整体内部有结构示意图；
11.图2为本实用新型的套筒组件结构示意图。
12.[附图标记]
[0013]
1、排气管；2、法兰；3、套筒组件；31、第一套筒；32、支撑板；33、第二套筒。
具体实施方式
[0014]
为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
[0015]
如附图1至附图2本实用新型的实施例提供一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件，包括排气管1，所述排气管1的数量为若干个，相邻的两个所述排气管1之间通过法兰2固定连接，所述排气管1的内壁设有套筒组件3。
[0016]
如图2，所述套筒组件3包括第一套筒31，所述第一套筒31的顶部固定安装有支撑板32，所述第一套筒31的内壁活动安装有第二套筒33，所述支撑板32的内部开设有通孔，所述通孔的内径大小与第一套筒31的内径大小相同。
[0017]
具体的，所述套筒组件3由一个伸缩管和挡板构成，所述伸缩管包括第一套筒31和第二套筒33，可以根据需要自由伸缩，所述支撑板32起到支撑作用，所述套筒组件3与排气管1之间的连接方式为可拆卸安装。
[0018]
如图2，所述第一套筒31和第二套筒33的内壁呈粗糙结构。
[0019]
具体的，所述第一套筒31和第二套筒33的内壁表面是用了喷砂，表面粗糙度均匀，容易吸附颗粒，避免晶圆颗粒超标而报废。
[0020]
本实用新型的工作过程如下：
[0021]
上述方案中，通过设置所述干泵的套筒组件3，使得很好的保护了forline 的连接口，套筒组件3在表面内筒表面都使用喷砂，具有一定的粗糙度，且表面粗糙度均匀，使得颗粒都可以黏附在上面，不容易掉落，当从干泵切换到分子泵抽腔体时，容易产生向上的反冲，由于颗粒被吸附在套筒组件3内壁表面，颗粒不会反冲上去，使得腔体的晶圆不受到颗粒沾污，从而避免了晶圆颗粒超标报废，提高了晶圆的良率和设备的使用率，利用套筒组件3的长度可调节，可以根据实际需求，扩大或缩小套筒组件3的颗粒吸附面积。
[0022]
最后应说明的几点是：术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0023]
此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
[0024]
在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义；
[0025]
其次：本实用新型公开实施例附图中，只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计，在不冲突情况下，本实用新型同一实施例及不同实施例可以相互组合；
[0026]
最后：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件，包括排气管(1)，所述排气管(1)的数量为若干个，相邻的两个所述排气管(1)之间通过法兰(2)固定连接，其特征在于，所述排气管(1)的内壁设有套筒组件(3)；所述套筒组件(3)包括第一套筒(31)，所述第一套筒(31)的顶部固定安装有支撑板(32)，所述第一套筒(31)的内壁活动安装有第二套筒(33)，所述支撑板(32)的内部开设有通孔，所述通孔的内径大小与第一套筒(31)的内径大小相同。2.根据权利要求1所述的一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件，其特征在于，所述第一套筒(31)和第二套筒(33)的内壁呈粗糙结构。

技术总结
本实用新型公开了一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件，具体涉及工艺腔体技术领域，包括排气管，所述排气管的数量为若干个，相邻的两个所述排气管之间通过法兰固定连接，所述排气管的内壁设有套筒组件。上述方案中，通过设置所述干泵的FORLINE新型保护套，使得很好的保护了FORLINE的连接口，新型保护套在表面内筒表面都使用喷砂，具有一定的粗糙度，且表面粗糙度均匀，使得颗粒都可以黏附在上面，不容易掉落，在从干泵切换到分子泵抽腔体时产生的向上的反冲，由于颗粒被吸附在保护套内壁表面，颗粒不会反冲上去，使得腔体的晶圆不受到颗粒沾污，从而避免了晶圆颗粒超标报废，提高了晶圆的良率和设备的使用率。提高了晶圆的良率和设备的使用率。提高了晶圆的良率和设备的使用率。


技术研发人员：荣海洋
受保护的技术使用者：上海陆派实业有限公司
技术研发日：2021.03.31
技术公布日：2021/11/28