一种加工太阳能电池板的氨气加热装置的制作方法

文档序号:27519837发布日期:2021-11-22 19:23阅读:207来源:国知局
一种加工太阳能电池板的氨气加热装置的制作方法

1.本实用新型涉及到太阳能领域,是一种加工太阳能电池板的氨气加热装置。


背景技术:

2.在太阳能电池片生产过程中pecvd工序是利用氨气和硅烷在真空管内离化成等离子体,通过电场的加速作用沉积在硅片表面,形成氮化硅膜层,由于氨气离化需要400度以上的温度,若低于400度,氨气离化不充分,导致颜色不均匀,因此,工艺上需要很长时间来弥补温度上的缺陷,使得产能利用率低,出现颜色色差。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的是要提供一种加工太阳能电池板的氨气加热装置。
4.本实用新型是这样来实现的:一种加工太阳能电池板的氨气加热装置,其特征是不锈钢管圆柱体两端与端板a和端板b连接,空心圆柱体a、空心圆柱体b和空心圆柱体c在不锈钢管圆柱体内的两端与端板a和端板b连接,半圆柱体a和半圆柱体b的两端与端板a的半圆孔a及半圆孔b和端板b连接,所述不锈钢管圆柱体填充有石英填料。
5.所述端板a有进气孔和出气孔。
6.所述不锈钢管圆柱体是直径为210毫米,长度为400毫米的圆柱体。
7.所述空心圆柱体a、空心圆柱体b和空心圆柱体c直径为64毫米的空心圆柱体。
8.所述石英填料为直径6毫米、长度10毫米的空心圆柱。
9.由于采用了上述技术方案,通过加装该装置获得更好的加热效果,充分利用管内热量,不需要增加加热器,用尽可能小的成本完成对氨气的加热。
附图说明
10.图1为本实用新型的结构示意图。
11.图2为本实用新型的端板结构示意图。
12.在图中:1、端板a;2、不锈钢管圆柱体;3、端板b;4、空心圆柱体a;5、石英填料;6、空心圆柱体b;7、空心圆柱体c;8、半圆柱体a;9、半圆柱体b;10、半圆柱体a;11、进气孔;12、出气孔;13、观察窗口14和15为电极孔16侧面不锈钢板。
具体实施方式
13.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
14.在图1和图2中,不锈钢管圆柱体2两端与端板a1和端板b3连接,空心圆柱体a4、空心圆柱体b6和空心圆柱体c7在不锈钢管圆柱体2内的两端与端板a1和端板b3连接,半圆柱体a8和半圆柱体b13的两端与端板a1的半圆孔a10及半圆孔b9和端板b3连接,所述不锈钢管圆柱体2填充有石英填料5。
15.所述端板a1有进气孔11和出气孔12。
16.所述不锈钢管圆柱体2是直径为210毫米,长度为400毫米的圆柱体。
17.所述空心圆柱体a4、空心圆柱体b6和空心圆柱体c7直径为64毫米的空心圆柱体。
18.所述石英填料5为直径6毫米、长度10毫米的空心圆柱。
19.所述半圆柱体a8和半圆柱体b13承受重力。
20.当加热腔体中加石英填料6以后,氨气从尾部进入腔体与其中的填料充分接触,能够快速被加热,达到缩短工艺时间,改善颜色均匀性的目的。
21.使得氨气从pe炉炉尾进入该装置,经过该装置的氨气被加热,温度达到400度左右,大大缩短了工艺时间,提高了太阳能电池片的颜色均匀性。


技术特征:
1.一种加工太阳能电池板的氨气加热装置,其特征是不锈钢管圆柱体两端与端板a和端板b连接,空心圆柱体a、空心圆柱体b和空心圆柱体c在不锈钢管圆柱体内的两端与端板a和端板b连接,半圆柱体a和半圆柱体b的两端与端板a的半圆孔a及半圆孔b和端板b连接,所述不锈钢管圆柱体填充有石英填料。2.根据权利要求1所述的一种加工太阳能电池板的氨气加热装置,其特征是所述端板a有进气孔和出气孔。3.根据权利要求1所述的一种加工太阳能电池板的氨气加热装置,其特征是所述不锈钢管圆柱体是直径为210毫米,长度为400毫米的圆柱体。4.根据权利要求1所述的一种加工太阳能电池板的氨气加热装置,其特征是所述空心圆柱体a、空心圆柱体b和空心圆柱体c直径为64毫米的空心圆柱体。5.根据权利要求1所述的一种加工太阳能电池板的氨气加热装置,其特征是所述石英填料为直径6毫米、长度10毫米的空心圆柱。

技术总结
本实用新型涉及到太阳能领域,是一种加工太阳能电池板的氨气加热装置。其特征是不锈钢管圆柱体两端与端板A和端板B连接,空心圆柱体A、空心圆柱体B和空心圆柱体C在不锈钢管圆柱体内的两端与端板A和端板B连接,半圆柱体A和半圆柱体B的两端与端板A的半圆孔A及半圆孔B和端板B连接,所述不锈钢管圆柱体填充有石英填料。由于采用了本技术方案,通过加装该装置获得更好的加热效果,充分利用管内热量,不需要增加加热器,用尽可能小的成本完成对氨气的加热。加热。加热。


技术研发人员:廖昱芯 张小波
受保护的技术使用者:湖北华昶能源科技有限公司
技术研发日:2021.05.11
技术公布日:2021/11/21
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