一种真空镀膜用工件承载托盘的制作方法

1.本实用新型涉及真空气相沉积镀膜设备技术领域，具体为一种真空镀膜用工件承载托盘。


背景技术：

2.在真空镀膜设备领域中，镀膜工件的承载托盘是整个镀膜系统最关键的组成部分之一，特别是在量产作业温度条件调控时，需要极高的稳定均匀型和极快的加热速度。传统的镀膜工件承载托盘采用种间接的加热模式进行工作。温度调控时，承载托盘的本体与设备上的加热单元接触，让加热单元产生的热量经过承载托盘自身再传导到工件上去，加热完毕承载托盘带着放置其上的工件离开加热单元，进行后续镀膜工序；因为热量是从设备加热单元经过承载托盘再到达工件上的，加热过程耗时多。而且，热量需要同时满足承承载托盘与工件的热熔，增加了热量损耗；现有技术中的工序中，加热后无法马上开始镀膜工艺，所以承载盘加热后在等待过程中会发生热量流失，还需要增加预热工序，也进一步造成了热量损耗和时间损耗。同时，承载托盘与加热单元的接触难以做到100%的贴合，会造成传热不均匀的的问题，最终导致温度不均匀，影响镀膜均匀性。


技术实现要素：

3.为了解决现有技术的工件承载托盘在温度调控时耗时长、热量损耗大、加热不均匀的问题，本实用新型提供一种真空镀膜用工件承载托盘，其可以在工序中实现对镀膜工件的快速、均匀、省能的加热。
4.本实用新型的技术方案是这样的：一种真空镀膜用工件承载托盘，其包括：承载托盘，其特征在于，其还包括加热模块、储热层，所述加热模块、所述储热层被集成在所述承载托盘上，所述储热层被均匀地设置于所述承载托盘下部，所述加热模块为所述承载托盘加热。
5.其进一步特征在于：
6.所述储热层基于向相变储能材料或者盐类物质实现；
7.所述承载托盘基于高传热效率的材料实现；
8.所述加热模块基于电加热器件实现。
9.本实用新型提供的一种真空镀膜用工件承载托盘，其通过加热模块直接对承载托盘加热，是承载托盘自身成为热源，通过承载托盘直接对工件进行加热，无需另行使用加热单元，提高了加热速度、降低了热传导过程中的能耗，实现对工件的均匀加热；通过储热层的设置，确保在放置在承载托盘之上的工件均匀加热，同时在承载托盘停止通电后，也能持续放热，无需增加预热程序。
附图说明
10.图1为本实用新型的工件承载托盘的结构示意图；
11.图2为本实用新型的承载托盘与现有技术中的承载托盘的加热效果对比图。
具体实施方式
12.如图1所示，本实用新型一种真空镀膜用工件承载托盘1，其包括：承载托盘1、加热模块2、储热层3，加热模块2、储热层3被集成在承载托盘1上，储热层3被均匀地设置于承载托盘1下部，加热模块2为承载托盘1加热。具体实施的时候，储热层3基于向相变储能材料（比如：水合硫酸钠）或者盐类物质（比如：硝酸钾）实现；承载托盘1基于高传热效率的材料实现，如：石墨、碳、铝、铝合金、不锈钢等材料；加热模块2基于现有技术中的电加热器件实现。
13.使用过程中，在温度调控时，通过加热模块2通电对承载托盘1进行加热，同时通过承载托盘1和储热层3之间的导热，将热量储存在储热层3中。
14.如图2所示，承载托盘1本身作为热源对放置其上的工件进行直接加热，与现有技术中的承载托盘相比，避免了热源到承载托盘1过程中的热能损失，减少了热传导所需的时间，承载托盘1本身各处温度均匀，不会出现因为承载托盘1温度不一致导致工件加热不均匀的问题发生。
15.本实用新型中，加热后的储热层3可以长时间保持热量并且可以持续放热，储热层3被密封后均匀地铺设安放于承载托盘1的下部，对承载托盘1所承载物进行均匀的加热；加热模块2停止加热后，承载托盘1进入等待工艺过程中，通过储热层3的放热，也可以保持一定的温度，基于本实用新型实现的工艺阶段，预热压力较低甚至无需预热程序，提高了工件整体的加工效率。同时，在对镀膜设备整体进行设计的时候，无需额外的为加热单元设计结构，使整体的设备的设计更加合理。


技术特征：
1.一种真空镀膜用工件承载托盘，其包括：承载托盘，其特征在于，其还包括加热模块、储热层，所述加热模块、所述储热层被集成在所述承载托盘上，所述储热层被均匀地设置于所述承载托盘下部，所述加热模块为所述承载托盘加热。2.根据权利要求1所述一种真空镀膜用工件承载托盘，其特征在于：所述储热层基于向相变储能材料或者盐类物质实现。3.根据权利要求1所述一种真空镀膜用工件承载托盘，其特征在于：所述承载托盘基于高传热效率的材料实现。4.根据权利要求1所述一种真空镀膜用工件承载托盘，其特征在于：所述加热模块基于电加热器件实现。

技术总结
本实用新型提供一种真空镀膜用工件承载托盘，其可以在工序中实现对镀膜工件的快速、均匀、省能的加热。其包括：承载托盘，其特征在于，其还包括加热模块、储热层，所述加热模块、所述储热层被集成在所述承载托盘上，所述储热层被均匀地设置于所述承载托盘下部，所述加热模块为所述承载托盘加热。模块为所述承载托盘加热。模块为所述承载托盘加热。


技术研发人员：郑佳毅
受保护的技术使用者：无锡爱尔华光电科技有限公司
技术研发日：2021.12.09
技术公布日：2022/5/29