一种防粘黏效果好的热处理炉载盘的制作方法

1.本发明涉及机械设备领域，特别涉及一种防粘黏效果好的热处理炉载盘。


背景技术：

2.热处理炉是对金属工件进行各种金属热处理的工业炉的统称。温度一般较加热炉为低。热处理炉可以采用各种加热炉的炉型，但要求较严格地控制炉温和炉内气氛等。现有的利用热处理炉对金属进行热熔处理时，一般通过将装有的金属器皿防止在载盘上进行热处理，其载盘上一般由载盘本体、翘曲晶圆以及设置在其外表面的氮化镓镀膜层组成，在热熔处理过程中，对于熔点较低的金属其会发生热熔并产生沸腾从而使得金属液溅出，冷变成固态，粘黏在载盘本体上，很难清除，故此，我们提出一种防粘黏效果好的热处理炉载盘。


技术实现要素：

3.本发明的主要目的在于提供一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，可以有效解决背景技术中的问题。
4.为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：
5.一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，包括载盘，所述载盘上设置呈圆周设置有若干组凹槽且相对应的每组所述凹槽内均设置有锅盖形状的翘曲晶圆且所述翘曲晶圆的外壁上设置有氮化镓镀膜层，所述载盘的外表面上设置有一层耐高温防粘黏涂层。
6.优选的，所述耐高温防粘黏涂层设置为zs-522耐高温防粘涂层且所述zs-522耐高温防粘涂层的厚度设置在50-110μm之间。
7.优选的，所述载盘为石墨表面镀碳化矽制成或整体为碳化矽材料制成。
8.优选的，每组相对应的凹槽内均设置有一组导热柱且所述导热柱的上端与翘曲晶圆的下端面接触，且其导热接触点位于翘曲晶圆直径四分之一长度相对应的翘曲晶圆内凹面上的对应点的位置。
9.优选的,所述导热柱为碳化矽材料制成或矽晶圆材料制成。
10.优选，所述导热柱的厚度设置为0.1-0.20mm。
11.与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：
12.1、本热处理炉载盘在其表面设置有一层耐高温防粘黏涂层，可通过其耐高温防粘黏涂层防止热处理时溅落在载盘的金属液冷却固定化后粘接在载盘上，便于后期对金属渣的清除。
13.2、设置有导热柱，且其导热接触点位于翘曲晶圆直径四分之一长度相对应的翘曲晶圆内凹面上的对应点的位置上，可使得导热柱将热量从此导热接触点同时向内外进行传导，可降低翘曲晶圆表面的最大温差值，有利于其均匀受热。
附图说明
14.图1为本发明一种防粘黏效果好的热处理炉载盘的整体结构图；
15.图2为本发明一种防粘黏效果好的热处理炉载盘的局部剖面图。
16.图中：1、载盘；2、翘曲晶圆；3、凹槽；4、导热柱；5、氮化镓镀膜层；6、耐高温防粘涂层。
具体实施方式
17.为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
18.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
19.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
20.如图1-2所示，一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，包括载盘1，所述载盘1上设置呈圆周设置有若干组凹槽3且相对应的每组所述凹槽内均设置有锅盖形状的翘曲晶圆2且所述翘曲晶圆2的外壁上设置有氮化镓镀膜层5，所述载盘1的外表面上设置有一层耐高温防粘黏涂层6，可通过其耐高温防粘黏涂层6防止热处理时溅落在载盘1的金属液冷却固定化后粘接在载盘1上，便于后期对金属渣的清除。
21.所述耐高温防粘黏涂层6设置为zs-522耐高温防粘涂层且所述zs-522耐高温防粘涂层的厚度设置在50-110μm之间，其zs-522耐高温防粘涂层具有很好地防粘效果的同时还具有很高地耐热性，其耐热温度可的2000摄氏度。
22.所述载盘1为石墨表面镀碳化矽制成或整体为碳化矽材料制成，其材质的载盘1导热系数好、对于红外线灯管的波長吸收率要高、无粉尘或或者是其他挥发物质产生，且加热时形变量小。
23.每组相对应的凹槽3内均设置有一组导热柱4且所述导热柱4的上端与翘曲晶圆2的下端面接触，且其导热接触点位于翘曲晶圆2直径四分之一长度相对应的翘曲晶圆2内凹面上的对应点的位置上，将导热接触点的位置从翘曲晶圆2的下端边沿移至翘曲晶圆2的直径四分之一的内凹面相对应的点上，可使得导热柱4将热量从此导热接触点同时向内外进行传导，降低翘曲晶圆表面的最大温差值，有利于其均匀受热。
24.所述导热柱4为碳化矽材料制成或矽晶圆材料制成，其材质的载盘1导热系数好、对于红外线灯管的波長吸收率要高、无粉尘或或者是其他挥发物质产生，且加热时形变量小。
25.所述导热柱4的厚度设置为0.1-0.20mm。
26.需要说明的是，本发明为一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，本热处理炉载盘在其表面设置有一层耐高温防粘黏涂层6，可通过其耐高温防粘黏涂层6防止热处理时溅落在
载盘1的金属液冷却固定化后粘接在载盘1上，便于后期对金属渣的清除，耐高温防粘黏涂层6设置为zs-522耐高温防粘涂层且所述zs-522耐高温防粘涂层的厚度设置在50-110μm之间，其zs-522耐高温防粘涂层具有很好地防粘效果的同时还具有很高地耐热性，其耐热温度可达2000摄氏度，设置有导热柱4，且其导热接触点位于翘曲晶圆2直径四分之一长度相对应的翘曲晶圆2内凹面上的对应点的位置上，将导热接触点的位置从翘曲晶圆2的下端边沿移至翘曲晶圆2的直径四分之一的内凹面相对应的点上，可使得导热柱4将热量从此导热接触点同时向内外进行传导，降低翘曲晶圆表面的最大温差值，有利于其均匀受热。
27.以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。


技术特征：
1.一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，包括载盘(1)，其特征在于：所述载盘(1)上设置呈圆周设置有若干组凹槽(3)且相对应的每组所述凹槽内均设置有锅盖形状的翘曲晶圆(2)且所述翘曲晶圆(2)的外壁上设置有氮化镓镀膜层(5)，所述载盘(1)的外表面上设置有一层耐高温防粘黏涂层(6)。2.根据权利要求1所述的一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，其特征在于：所述耐高温防粘黏涂层(6)设置为zs-522耐高温防粘涂层且所述zs-522耐高温防粘涂层的厚度设置在50-110μm之间。3.根据权利要求1或2所述的一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，其特征在于：所述载盘(1)为石墨表面镀碳化矽制成或整体为碳化矽材料制成。4.根据权利要求1或2所述的一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，其特征在于：每组相对应的凹槽(3)内均设置有一组导热柱(4)且所述导热柱(4)的上端与翘曲晶圆(2)的下端面接触，且其导热接触点位于翘曲晶圆(2)直径四分之一长度相对应的翘曲晶圆(2)内凹面上的对应点的位置。5.根据权利要求4所述的一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，其特征在于：所述导热柱(4)为碳化矽材料制成或矽晶圆材料制成。6.根据权利要求4所述的一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，其特征在于：所述导热柱(4)的厚度设置为0.1-0.20mm。

技术总结
本发明公开了一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，包括载盘，所述载盘上设置呈圆周设置有若干组凹槽且相对应的每组所述凹槽内均设置有锅盖形状的翘曲晶圆且所述翘曲晶圆的外壁上设置有氮化镓镀膜层，所述载盘的外表面上设置有一层耐高温防粘黏涂层。本发明所述的一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，本热处理炉载盘在其表面设置有一层耐高温防粘黏涂层，可通过其耐高温防粘黏涂层防止热处理时溅落在载盘的金属液冷却固定化后粘接在载盘上，便于后期对金属渣的清除，设置有导热柱，且其导热接触点位于翘曲晶圆直径四分之一长度相对应的翘曲晶圆内凹面上的对应点的位置上，可降低翘曲晶圆表面的最大温差值，有利于其均匀受热。有利于其均匀受热。有利于其均匀受热。


技术研发人员：李奕攸 萧志斌 林锦辉 许志宏 赖政志
受保护的技术使用者：苏州芯默科技有限公司
技术研发日：2022.04.12
技术公布日：2022/8/18