一种膜层球磨仪的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及PVD真空镀膜的膜层检测应用领域，具体涉及到一种纳米膜层的断面获得的一种球磨仪机构，以便于进行膜层分析。
【背景技术】
[0002]PVD (Physical Vapor Deposit1n)，简称物理气相沉积，是指在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上，一般用来表面改性或镀涂层。但是在某些产品的制造过程中，在对测试基片端面进行PVD处理后，一般还要去除某一位置处的PVD膜层形成阶梯断面作为监测点进行检测，因此需要一种机器来对工件表面的PVD膜层进行去除。一般来说，移除PVD膜层的面积阶梯断面均匀，同时也要保证监测点中心部位位置处的PVD膜层被移除干净，利用现有的机器很难控制监测点面积，同时也很难控制监测点移除PVD膜层的厚度；此外，现有的机器结构比较复杂，操作维护起来也比较麻烦。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型提供了一种膜层球磨仪，包括:
[0004]底座；
[0005]轴承座，所述轴承座固定在所述底座上；
[0006]旋转轴，所述旋转轴沿水平方向固定在所述轴承座顶部，且所述旋转轴的中央设置有卡槽，所述卡槽内放置有一钢球；
[0007]基座，所述基座吸附在所述底座上，所述基座上垂直设置有一支架，所述支架上固定有一支撑座，所述支撑座的顶部固定有一夹具底板，所述夹具底板上夹持有一测试片，所述测试片的一面正对所述钢球。
[0008]上述的膜层球磨仪，其中，所述旋转轴通过一联轴器与电机相连，且所述联轴器上设置有一平键。
[0009]上述的膜层球磨仪，其中，所述电机具有一调速器。
[0010]上述的膜层球磨仪，其中，所述旋转轴的两端通过轴承固定在所述轴承座上。
[0011]上述的膜层球磨仪，其中，所述旋转轴与所述轴承座的接触端设置有凸块。
[0012]上述的膜层球磨仪，其中，所述基座为磁吸座。
[0013]上述的膜层球磨仪，其中，所述支撑座通过压紧螺钉固定在所述支撑座上。
[0014]上述的膜层球磨仪，其中，所述轴承座通过螺栓固定在所述底座上。
[0015]上述的膜层球磨仪，其中，所述支撑座具有一旋钮，通过所述旋钮来调整所述夹具夹板与水平面之间的角度。
[0016]上述的膜层球磨仪，其中，所述夹具底板的两端固定有左夹板和右夹板，通过所述左夹板和所述右夹板将所述测试片夹持在中间。
[0017]在利用本实用新型提供的膜层球磨仪进行工作时，先将表面具有膜层的测试片夹持在夹具底板上，之后将钢球放置在旋转轴的卡槽中，并保证钢珠的球面与测试片进行接触。机器在运作时，旋转轴在旋转时会带动卡槽内的钢球进行旋转，随着钢球的不断旋转，进而将测试片的表面磨出一个圆形的测试点，测试人员取下测试片即可进行检测。本实用新型采用钢球作为进行研磨，因此研磨的面积较小，且移除PVD膜层的面积阶梯断面均匀，便于检测。本实用新型结构简单，操作便利。
【附图说明】
[0018]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型及其特征、外形和优点将会变得更明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比例绘制附图，重点在于示出本实用新型的主旨。
[0019]图1为本实用新型提供的膜层球磨仪的正面图；
[0020]图2为本实用新型提供的膜层球磨仪的侧面图。
【具体实施方式】
[0021]在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本实用新型更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本实用新型可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本实用新型发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。
[0022]为了彻底理解本实用新型，将在下列的描述中提出详细的步骤以及详细的结构，以便阐释本实用新型的技术方案。本实用新型的较佳实施例详细描述如下，然而除了这些详细描述外，本实用新型还可以具有其他实施方式。
[0023]本实用新型提供了一种膜层球磨仪，参照图1和图2所示，包括:底座1 ;轴承座2，轴承座2固定在底座1上；旋转轴5，旋转轴5沿水平方向固定在轴承座2顶部，旋转轴5的中央设置有卡槽3，卡槽3内放置有一钢球18 ;基座11，基座11吸附在底座1上，基座11上垂直设置有一支架20，支架20上固定有一支撑座12，支撑座12的顶部固定有一夹具底板14，夹具底板14上夹持有一测试片，测试片的一面正对钢球18。
[0024]在利用本实用新型提供的膜层球磨仪进行工作时，先将表面具有膜层(例如PVD膜层)的测试片夹持在夹具底板14上，之后将钢球18放置在旋转轴5的卡槽3中，并保证钢珠的球面与测试片进行接触。机器在运作时，旋转轴5在旋转时会带动卡槽3内的钢球18进行旋转，随着钢球18的不断旋转，进而将测试片的表面磨出一个圆形的测试点，测试人员关闭机器后取下测试片即可进行检测。本实用新型采用钢球18作为进行研磨，且移除PVD膜层的面积阶梯断面均匀，便于检测。本实用新型结构简单，操作便利。
[0025]在本实用新型一可选的实施例中，旋转轴5通过一联轴器8与电机10相连，且联轴器上设置有一平键7。在本实用新型中，通过电机10来驱动旋转轴5进行水平方向的旋转。在一实施例中，联轴器8和平键7设置在一电机座9中。
[0026]在本实用新型一可选的实施例中，电机10具有一调速器。在本实用新型中，通过该调速器来调整电机10的转速，进而控制旋转轴5的旋转速度，可有效避免由于旋转轴5的转速过快进而导致旋转轴5的卡槽3内的钢球18飞出，保证了生产安全。
[0027]在本实用新型一可选的实施例中，旋转轴5的两端通过轴承6固定在轴承座2上。
[0028]在本实用新型一可选的实施例中，旋转轴5与轴承座2的接触端设置有凸块19，通过凸块19可有效保证旋转轴5始终固定在轴承座2上，避免随着旋转轴5的转动进而产生偏移。
[0029]在本实用新型一可选的实施例中，基座11为磁吸座，该基座11通过吸附的方式固定在底座1上，通过这种固定方式，技术人员可移动基座11的位置(如图示左右箭头的方向)，从而调整固定在支架上的夹具底板14位置，进而使得夹具底板14上夹持的测试片正对旋转轴5凹槽内的钢球18。
[0030]在本实用新型一可选的实施例中，支撑座12通过压紧螺钉13固定在支撑座12上。通过旋转压紧螺钉13，可调整支撑座12的高度，如图示上下箭头所示方向。
[0031]在本实用新型一可选的实施例中，轴承座2通过螺栓4固定在底座1上。
[0032]在本实用新型一可选的实施例中，支撑座12具有一旋钮，通过旋钮来调整夹具夹板与水平面之间的角度。如图2所示，支撑座12呈L型，支撑座12横向的部分固定在基座11上的支架上，支撑座12纵向的部分可围绕与支撑座12横向部分的衔接处进行旋转，进而调整夹具底板14的角度，使得测试片紧贴钢球18，调整起来更加灵活。
[0033]在本实用新型一可选的实施例中，夹具底板14的两端固定有左夹板17和右夹板15，通过左夹板17和右夹板15将测试片夹持在中间，并通过一锁定钉21来进行加固。可选的，左夹板17和右夹板15通过螺钉16固定在夹具底板14上。
[0034]以上对本实用新型的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本实用新型并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本实用新型的实质内容。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。
【主权项】
1.一种膜层球磨仪，其特征在于，包括: 底座； 轴承座，所述轴承座固定在所述底座上； 旋转轴，所述旋转轴沿水平方向固定在所述轴承座顶部，且所述旋转轴的中央设置有卡槽，所述卡槽内放置有一钢球； 基座，所述基座吸附在所述底座上，所述基座上垂直设置有一支架，所述支架上固定有一支撑座，所述支撑座的顶部固定有一夹具底板，所述夹具底板上夹持有一测试片，所述测试片的一面正对所述钢球。2.如权利要求1所述的膜层球磨仪，其特征在于，所述旋转轴通过一联轴器与电机相连，且所述联轴器上设置有一平键。3.如权利要求2所述的膜层球磨仪，其特征在于，所述电机具有一调速器。4.如权利要求1所述的膜层球磨仪，其特征在于，所述旋转轴的两端通过轴承固定在所述轴承座上。5.如权利要求1所述的膜层球磨仪，其特征在于，所述旋转轴与所述轴承座的接触端设置有凸块。6.如权利要求1所述的膜层球磨仪，其特征在于，所述基座为磁吸座。7.如权利要求1所述的膜层球磨仪，其特征在于，所述支撑座通过压紧螺钉固定在所述支撑座上。8.如权利要求1所述的膜层球磨仪，其特征在于，所述轴承座通过螺栓固定在所述底座上。9.如权利要求1所述的膜层球磨仪，其特征在于，所述支撑座具有一旋钮，通过所述旋钮来调整所述夹具夹板与水平面之间的角度。10.如权利要求1至9任意一所述的膜层球磨仪，其特征在于，所述夹具底板的两端固定有左夹板和右夹板，通过所述左夹板和所述右夹板将所述测试片夹持在中间。
【专利摘要】本实用新型公开了一种膜层球磨仪，包括：底座；轴承座，所述轴承座固定在所述底座上；旋转轴，所述旋转轴沿水平方向固定在所述轴承座顶部，且所述旋转轴的中央设置有卡槽，所述卡槽内放置有一钢球；基座，所述基座吸附在所述底座上，所述基座上垂直设置有一支架，所述支架上固定有一支撑座，所述支撑座的顶部固定有一夹具底板，所述夹具底板上夹持有一测试片，所述测试片的一面正对所述钢球。本实用新型结构简单，操作便利。
【IPC分类】B24B37/34, B24B37/04
【公开号】CN205057760
【申请号】CN201520539032
【发明人】王叔晖, 孟庆学
【申请人】上海法德机械设备有限公司
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2015年7月23日