一种分段式进出口室的制作方法
【专利摘要】一种分段式进出口室，一级腔体外设有第一门阀隔绝大气与真空腔体；一级腔体与二级腔体相连接，同时两个腔体之间设有第二门阀；二级腔体与缓冲室相连接，同时设有第三门阀；辊道设置在一级腔体和二级腔体内部；盖板分别设置在两个腔体的上部；放气阀设置在盖板上部。本实用新型的积极效果是：本装置满足生产常规玻璃板面快速抽空的市场诉求，同时也能满足生产更长的玻璃。符合符合镀膜生产需求。
【专利说明】
一种分段式进出口室
技术领域
[0001]本实用新型涉及真空玻璃镀膜技术领域，特别是一种分段式进出口室。
【背景技术】
[0002]已知磁控溅射镀膜是在高真空下进行，流水的镀膜生产线为保证快速高效的生产运行把镀膜生产线分为进口室、进口缓冲室、进口过渡室、工艺室、出口过渡室、出口缓冲室、出口室共七个部分把生产过程中大气环境下的玻璃传送到高真空的工艺室，进行溅射镀膜并传出。
[0003]已知现有的镀膜生产线生产玻璃规格受限制与镀膜腔体尺寸，不能过长也不能过宽。而制作过大的生产往往利用率不高产生极大的浪费，市场罕见。
[0004]已知镀膜玻璃生产节拍取决与进口室和出口室的抽气速度与抽空空间，更大的进出口室可生产更大的玻璃，而降低抽空时间，生产节拍变慢。更小的进出口室则不能生产市场要求的更大板面的玻璃。
[0005]已知镀膜生产线使用一种超长模式把进口室与进口缓冲室合并，出口室与出口缓冲室合并。这样解决了镀膜线生产大板面玻璃的问题，但同时更复杂的抽气过程带来的是更长的抽空时间，大大降低了生产节拍，这样也对设备的稳定性要求更高，生产过程中容易出现问题。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种分段式进出口室。
[0007]为解决上述技术问题，本实用新型是按如下方式实现的:一种分段式进出口室，包括一级腔体、二级腔体、门阀、盖板、放气阀、辊道、支撑脚；
[0008]所述一级腔体外设有第一门阀隔绝大气与真空腔体;所述一级腔体与所述二级腔体相连接，同时两个腔体之间设有第二门阀;所述二级腔体与缓冲室相连接，同时设有第三门阀；所述辊道设置在所述一级腔体和所述二级腔体内部;所述盖板分别设置在两个腔体的上部;所述放气阀设置在所述盖板上部。
[0009]本实用新型的积极效果是:本装置满足生产常规玻璃板面快速抽空的市场诉求，同时也能满足生产更长的玻璃。符合符合镀膜生产需求。
【附图说明】
[00?0]图1为本实用新型结构不意图。
[0011 ]图2为生产3660mm常规板面时本实用新型的工作状态图。
[0012]图3为生产4880mm常规板面时本实用新型的工作状态图。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细的说明。
[0014]如图1所示，本实用新型所述的一种分段式进出口室，包括一级腔体1、二级腔体2、门阀3、盖板4、放气阀5、辊道6、支撑脚。一级腔体I外设有第一门阀隔绝大气与真空腔体;一级腔体I与二级腔体2相连接，同时两个腔体之间设有第二门阀，第二门阀的开关确定生产模式;二级腔体2与缓冲室相连接，同时设有第三门阀;这相临的第二门阀/第三门阀就开关就是本实用新型的核心部分。辊道6在一级腔体I和二级腔体2内部负责玻璃的传送，盖板4分别设置在两个腔体的上部，起到密封腔体的作用，放气阀5设置在盖板4上部，生产过程中的放空通过放气阀完成。
[0015]本装置把进出口室从一段分成两段。根据生产不同尺寸玻璃并通过门阀的开关确定进出口室可生产玻璃的大小。应用于大面积平板玻璃镀膜设备中，同时满足实现高速生产节拍与大板面玻璃生产。
[0016]本实用新型的积极效果是:在镀膜玻璃生产过程中，生产常规3660mm板面我们只使用一级腔室使用莱宝前级栗抽空时间可达8秒，生产节拍22秒可满足9米/分钟的工艺速度，有效的提高产量，产能打1000万平方米/年。同时我们也可以把一级腔室与二级腔室之间的门阀打开，一级腔室与二级腔室合用。这样就可以使镀膜生产线不使用超长模式的情况下生产4880以下的大板面玻璃。同样抽空时间也仅仅14秒。这无疑是把镀膜生产线的产能发挥到了最大。高产量带动相应的工艺成本也会大大的降低。
[0017]本实用新型不局限于上述最佳实施方式，任何人在本实用新型的启示下都可得出其他各种形式的产品，但不论在其形状或结构上作任何变化，凡是具有与本实用新型相同或相近似的技术方案，均落在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种分段式进出口室，其特征在于，包括一级腔体、二级腔体、门阀、盖板、放气阀、辊道、支撑脚； 所述一级腔体外设有第一门阀隔绝大气与真空腔体;所述一级腔体与所述二级腔体相连接，同时两个腔体之间设有第二门阀；所述二级腔体与缓冲室相连接，同时设有第三门阀；所述辊道设置在所述一级腔体和所述二级腔体内部;所述盖板分别设置在两个腔体的上部;所述放气阀设置在所述盖板上部。
【文档编号】C23C14/56GK205635763SQ201620243790
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2016年3月28日
【发明人】杨宏斌, 冷庆吉
【申请人】河北物华天宝镀膜科技有限公司