一种节能固溶退火炉的制作方法

本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种节能固溶退火炉。

背景技术：

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％。固溶退火炉是退火炉的一种。

现有的固溶退火炉的炉棍为单层，在对退火炉内的零件进行加温退火时，退火炉内多余的空间会消耗热量，较为浪费。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种节能固溶退火炉，以解决上述背景技术中提出的退火炉内的多余空间消耗热量的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种节能固溶退火炉，包括固溶退火炉主体，所述固溶退火炉主体顶端两侧分别连接有排烟系统和燃气控制系统，所述固溶退火炉主体内部上下两侧分别安装有一级炉棍和二级炉棍，所述一级炉棍和二级炉棍的端面均伸出至固溶退火炉主体外侧，且一级炉棍和二级炉棍的端面外部均安装有定位齿轮，并且定位齿轮之间连接有连接齿链，所述固溶退火炉主体内部安装有加热烧嘴。

优选的，所述固溶退火炉主体内部安装有测温系统，且测温系统位于一级炉棍和二级炉棍之间。

优选的，所述加热烧嘴设有层，且层加热烧嘴分别位于一级炉棍上方、一级炉棍和二级炉棍二者之间和二级炉棍下方。

优选的，所述燃气控制系统设有至少3个，且燃气控制系统均匀分布在固溶退火炉主体顶面。

优选的，所述一级炉棍和二级炉棍相互平行，且一级炉棍和二级炉棍的长度相等。

优选的，所述测温系统设有至少3个，且测温系统等距分布在固溶退火炉主体内部。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该节能固溶退火炉的内部设有两层炉棍，令退火炉内不会出现过多的多余空间，提高退火炉内部的热量消耗。本节能固溶退火炉内部设有一级炉棍和二级炉棍，能够均匀占用固溶退火炉主体内部的空间，提高与空气中的热量接触的面积，增大利用率，减少浪费，更加节能。

附图说明

图1为本实用新型一种节能固溶退火炉结构示意图；

图2为本实用新型一种节能固溶退火炉的侧视结构示意图；

图3为本实用新型一种节能固溶退火炉的图2中a处放大结构示意图。

图中：1、排烟系统，2、固溶退火炉主体，3、加热烧嘴，4、燃气控制系统，5、一级炉棍，6、测温系统，7、二级炉棍，8、定位齿轮，9、连接齿链。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种节能固溶退火炉，包括固溶退火炉主体2，固溶退火炉主体2顶端两侧分别连接有排烟系统1和燃气控制系统4，固溶退火炉主体2内部安装有测温系统6，且测温系统6位于一级炉棍5和二级炉棍7之间，此结构使得测温系统6能够在固溶退火炉主体2的中部位置对一级炉棍5和二级炉棍7附近的温度进行监测，测温系统6设有至少3个，且测温系统6等距分布在固溶退火炉主体2内部，此结构使得固溶退火炉主体2内的各个位置均能够受到固溶退火炉主体2的检测，燃气控制系统4设有至少3个，且燃气控制系统4均匀分布在固溶退火炉主体2顶面，此结构使得固溶退火炉主体2顶部的燃气控制系统4位置分布均匀，方便安装连线，固溶退火炉主体2内部上下两侧分别安装有一级炉棍5和二级炉棍7，一级炉棍5和二级炉棍7相互平行，且一级炉棍5和二级炉棍7的长度相等，此结构使得一级炉棍5和二级炉棍7上能够平行的摆放零件，不会出现相互干涉的情况，一级炉棍5和二级炉棍7的端面均伸出至固溶退火炉主体2外侧，且一级炉棍5和二级炉棍7的端面外部均安装有定位齿轮8，并且定位齿轮8之间连接有连接齿链9，固溶退火炉主体2内部安装有加热烧嘴3，此结构使得固溶退火炉主体2内部设有不同高度的一级炉棍5和二级炉棍7，能够在固溶退火炉主体2内部对两层零件进行退火处理，有效节省固溶退火炉主体2内部的消耗热量，提高退火效益，加热烧嘴3设有3层，且3层加热烧嘴3分别位于一级炉棍5上方、一级炉棍5和二级炉棍7二者之间和二级炉棍7下方，此结构使得加热烧嘴3能够分3层均匀的分布在一级炉棍5和二级炉棍7附近，以便对一级炉棍5和二级炉棍7上的零件进行退火处理。

工作原理：在使用该节能固溶退火炉时，首先使用者可以将待退火的零件分别推送至一级炉棍5和二级炉棍7之上，一级炉棍5和二级炉棍7之间会通过定位齿轮8和连接齿链9进行联动旋转，节省动力，然后燃气控制系统4通过加热烧嘴3对燃气控制系统4内的空气进行加温，以对零件进行退火处理，测温系统6会对固溶退火炉主体2内的温度进行监测，固溶退火炉主体2内产生的烟气通过排烟系统1被排出，从而完成一系列工作。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种节能固溶退火炉，包括固溶退火炉主体，其特征在于：所述固溶退火炉主体顶端两侧分别连接有排烟系统和燃气控制系统，所述固溶退火炉主体内部上下两侧分别安装有一级炉棍和二级炉棍，所述一级炉棍和二级炉棍的端面均伸出至固溶退火炉主体外侧，且一级炉棍和二级炉棍的端面外部均安装有定位齿轮，并且定位齿轮之间连接有连接齿链，所述固溶退火炉主体内部安装有加热烧嘴。

2.根据权利要求1所述的一种节能固溶退火炉，其特征在于：所述固溶退火炉主体内部安装有测温系统，且测温系统位于一级炉棍和二级炉棍之间。

3.根据权利要求1所述的一种节能固溶退火炉，其特征在于：所述加热烧嘴设有3层，且3层加热烧嘴分别位于一级炉棍上方、一级炉棍和二级炉棍二者之间和二级炉棍下方。

4.根据权利要求1所述的一种节能固溶退火炉，其特征在于：所述燃气控制系统设有至少3个，且燃气控制系统均匀分布在固溶退火炉主体顶面。

5.根据权利要求1所述的一种节能固溶退火炉，其特征在于：所述一级炉棍和二级炉棍相互平行，且一级炉棍和二级炉棍的长度相等。

6.根据权利要求2所述的一种节能固溶退火炉，其特征在于：所述测温系统设有至少3个，且测温系统等距分布在固溶退火炉主体内部。

技术总结
本实用新型公开了一种节能固溶退火炉，包括固溶退火炉主体，所述固溶退火炉主体顶端两侧分别连接有排烟系统和燃气控制系统，所述固溶退火炉主体内部上下两侧分别安装有一级炉棍和二级炉棍，所述一级炉棍和二级炉棍的端面均伸出至固溶退火炉主体外侧，且一级炉棍和二级炉棍的端面外部均安装有定位齿轮，并且定位齿轮之间连接有连接齿链，所述固溶退火炉主体内部安装有加热烧嘴。该节能固溶退火炉的内部设有两层炉棍，令退火炉内不会出现过多的多余空间，提高退火炉内部的热量消耗。本节能固溶退火炉内部设有一级炉棍和二级炉棍，能够均匀占用固溶退火炉主体内部的空间，提高与空气中的热量接触的面积，增大利用率，减少浪费，更加节能。

技术研发人员：陈深;李新略;伍素云;林日朴
受保护的技术使用者：浙江国邦钢业有限公司
技术研发日：2019.10.30
技术公布日：2020.06.02