本发明涉及一种氮化铝陶瓷基板表面覆铜方法,尤其涉及一种温和条件下可控制备表面al2o3为氮化铝表面覆铜方法。
背景技术:
随着电子器件的日益小型化和多功能化,大规模、超大规模集成电路的集成度越来越高,器件结构越来越复杂,功率密度也越来越高,因此散热是电子封装中的关键步骤之一。覆铜陶瓷基板是功率模块封装中连接芯片和散热衬底的关键材料,已广泛用于混合动力模块、激光二极管和聚焦型光伏封装,在高频应用方面也体现出巨大的应用价值。al2o3作为性价比最高的陶瓷基板,主要用于中低功率范围;而氮化铝电子封装基板具有高导热性,广泛应用于大功率电力电子器件。
氮化铝陶瓷基板表面覆铜是基于al2o3表面直接覆铜(dcb)方法。在于铜封接之前,一般需要将氮化铝陶瓷基板在高温下(>1200℃)的空气气氛中氧化,以期在表面形成结构均匀且附着牢固的al2o3层,高温氧化工艺本身比较简单,但是能耗高、周期长。
技术实现要素:
发明目的:本发明旨在提供一种氮化铝陶瓷基板表面覆铜方法,解决现有高温氧化工艺能耗高、周期长的问题。
技术方案:本发明所述的氮化铝陶瓷基板表面覆铜方法,包括以下步骤:
步骤一:将氮化铝陶瓷片放置在水溶液中进行水解,然后通过热处理,使得氮化铝表面水解产物分解成为al2o3陶瓷层;步骤二:将预氧化的cu与预处理的氮化铝表面相对贴合,在低于cu熔点温度下烧结,生成表面覆铜的氮化铝陶瓷基板。
进一步的,所述步骤一中,氮化铝陶瓷片为块体材料,相对密度大于97%,热导率大于150w/m·k。
进一步的,水解条件为:水溶液ph值范围为3-13,温度范围为20-200℃,水解时间为0.5-24小时。
进一步的,所述步骤一中,热处理温度为300-1200℃,热处理时间为0.5-24小时。
进一步的,所述所述步骤一中,水解产物分解生成的al2o3陶瓷为γ、θ或α晶型,厚度为0.1-10μm。
进一步的,所述步骤二中,烧结温度1000-1100℃,气氛为ar或n2保护气氛,时间1-120分钟。
进一步的,所述步骤一中,水溶液为酸性或碱性水溶液;所述酸性水溶液为去离子水与酸的混合溶液,所述酸包括盐酸和/或硫酸和/或硝酸和/或醋酸;所述碱性水溶液为去离子水和碱性试剂的混合溶液,所述碱性试剂包括氢氧化钠和/或氢氧化钾和/或氨水。
进一步的,所述步骤一中,水解处理方法为:将氮化铝陶瓷基片经过超声清洗,放入装填上述水溶液的水热反应釜中,将密封的反应釜放置在恒温烘箱中,设定温度和时间,待反应结束后冷却至室温,完成水解处理,在氮化铝表面得到alooh或al(oh)3薄膜产物。
有益效果:与现有技术相比,本发明具有如下显著优点:1、通过水解和热处理手段在氮化铝表面形成al2o3陶瓷层;2、水解产物分解形成的al2o3陶瓷层晶型、厚度可控,有利于后续覆铜烧结。
附图说明
图1为本发明流程图;
图2为本发明优选实施例的图1;
图3为本发明优选实施例的图2。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的技术方案作进一步说明。
如图1所示,本实施例所述的氮化铝陶瓷基板表面覆铜方法,包括以下步骤:步骤一:将氮化铝陶瓷片置于水溶液中,调节水溶液ph值、温度和水解时间,得到不同程度的水解产物;步骤二:将上述水解后的氮化铝进行热处理,得到表面覆盖al2o3陶瓷层的氮化铝;步骤三:将上述覆盖al2o3陶瓷层的氮化铝表面与预氧化处理的cu表面相对贴合,在一定的烧结条件下,得到表面覆铜氮化铝陶瓷基板。
其原理是利用氮化铝水解特性和热处理方法,在氮化铝表面形成厚度、形貌可控的al2o3陶瓷层,然后与表面预氧化的无氧铜(cu)在高温下烧结,实现氮化铝陶瓷表面金属化目的。具体地,将氮化铝陶瓷片放置在水溶液中进行水解,通过调节溶液温度、ph值和时间,调控氮化铝表面水解产物和水解深度;然后通过热处理,使得表面水解产物分解生成al2o3陶瓷层;将预氧化的cu与预处理的氮化铝表面相对贴合,在低于cu熔点温度下烧结,生成表面覆铜的氮化铝陶瓷基板。本方法的优势:氮化铝水解条件温和,随后的热处理温度较传统的氮化铝高温氧化显著降低,可以大幅度降低氮化铝表面覆铜能量消耗和生产成本,该方法可以广泛应用于电子电路、igbt、5g等需要高导热氮化铝陶瓷基板表面覆铜的领域。
实施例1
如图2所示,本实施方案是通过以下步骤完成的:
步骤一:将氮化铝陶瓷片置于水溶液中水解,水溶液ph值为5、温度120℃和水解时间12小时。
步骤二:水解后的氮化铝进行热处理,温度为800℃,热处理时间为4小时得到表面覆盖γ-al2o3陶瓷层的氮化铝。
步骤三:覆盖al2o3陶瓷层的氮化铝表面与预氧化处理的cu表面相对贴合,在1020℃、ar保护气氛中烧结120分钟,得到表面覆铜氮化铝陶瓷基板。
实施例2
如图3所示,本实施方案是通过以下步骤完成的:
步骤一:将氮化铝陶瓷片置于水溶液中水解,水溶液ph值为13、温度200℃和水解时间8小时。
步骤二:水解后的氮化铝进行热处理,温度为1200℃,热处理时间为2小时得到表面覆盖θ-al2o3陶瓷层的氮化铝。
步骤三:覆盖al2o3陶瓷层的氮化铝表面与预氧化处理的cu表面相对贴合,在1050℃、n2保护气氛中烧结30分钟,得到表面覆铜氮化铝陶瓷基板,本实施例得到的成品品质略高于实施例1。
实施例3
如图1所示,本实施方案是通过以下步骤完成的:
步骤一:将氮化铝陶瓷片置于水溶液中水解,水溶液ph值为3、温度20℃和水解时间24小时。
步骤二:水解后的氮化铝进行热处理,温度为300℃,热处理时间为0.5小时得到表面覆盖α-al2o3陶瓷层的氮化铝。
步骤三:覆盖al2o3陶瓷层的氮化铝表面与预氧化处理的cu表面相对贴合,在1075℃、n2保护气氛中烧结1分钟,得到表面覆铜氮化铝陶瓷基板,本实施例得到的成品品质略低于实施例2。
实施例4
如图1所示,本实施所述的氮化铝陶瓷表面快速覆铜方法通过以下步骤完成:
步骤一:将aln陶瓷片置于水溶液中水解,水溶液ph值为4、温度200℃和水解时间36小时,在aln表面覆盖的alooh层发生大面积剥落,可能是水解时间过长,水解产物薄膜太厚所致,无法进行后续覆铜实验。
1.一种氮化铝陶瓷基板表面覆铜方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤一:将氮化铝陶瓷片放置在水溶液中进行水解,然后通过热处理,使得氮化铝表面水解产物分解成为al2o3陶瓷层;
步骤二:将预氧化的cu与预处理的氮化铝表面相对贴合,在低于cu熔点温度下烧结,生成表面覆铜的氮化铝陶瓷基板。
2.根据权利要求1所述,其特征在于:所述步骤一中,氮化铝陶瓷片为块体材料,相对密度大于97%,热导率大于150w/m·k。
3.根据权利要求1所述氮化铝陶瓷表面快速覆铜方法,其特征在于:所述步骤一中,水溶液为酸性或碱性水溶液;所述酸性水溶液为去离子水与酸的混合溶液,所述酸包括盐酸和/或硫酸和/或硝酸和/或醋酸;所述碱性水溶液为去离子水和碱性试剂的混合溶液,所述碱性试剂包括氢氧化钠和/或氢氧化钾和/或氨水。
4.根据权利要求1所述,其特征在于:所述步骤一中:水解条件为:水溶液ph值范围为3-13,温度范围为20-200℃,水解时间为0.5-24小时。
5.根据权利要求1所述氮化铝陶瓷表面快速覆铜方法,其特征在于:所述步骤一中,水解处理方法为:将氮化铝陶瓷基片经过超声清洗,放入装填上述水溶液的水热反应釜中,将密封的反应釜放置在恒温烘箱中,设定温度和时间,待反应结束后冷却至室温,完成水解处理,在氮化铝表面得到alooh或al(oh)3薄膜产物。
6.根据权利要求1所述氮化铝陶瓷基板表面覆铜方法,其特征在于:所述步骤一中,热处理温度为300-1200℃,热处理时间为0.5-24小时。
7.根据权利要求1所述氮化铝陶瓷基板表面覆铜方法,其特征在于:所述所述步骤一中,氮化铝表面水解产物热分解生成的al2o3陶瓷薄膜为γ、θ或α晶型,厚度为0.1-10μm。
8.根据权利要求1所述氮化铝陶瓷基板表面覆铜方法,其特征在于:所述步骤二中,烧结温度1000-1100℃,气氛为ar或n2保护气氛,时间1-120分钟。