一种新型炉底盘结构的制作方法

1.本实用新型属于单晶体生产设备领域，具体涉及一种新型炉底盘结构。


背景技术：

2.单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。炉底盘作为单晶炉设备中的一个重要部件，起着承重、通气、冷却等作用。其结构内需包含冷却水道，传统加工方法一般采用底板铣槽的方式，材料及加工成本高
3.综上所述，为解决现有的技术问题，本实用新型设计了一种结构简单、节省成本、简化生产过程的新型炉底盘结构。


技术实现要素：

4.本实用新型为解决现有的技术问题，设计了一种结构简单、节省成本、简化生产过程的新型炉底盘结构。
5.本实用新型的目的可通过以下技术方案来实现：
6.一种新型炉底盘结构，包括：
7.炉底盘底板，所述炉底盘底板中部设有坩埚轴法兰；
8.炉底盘挡水条，所述炉底盘挡水条连接在炉底盘底板下表面，所述炉底盘挡水条与炉底盘底板下表面之间围合成冷却水路；
9.所述炉底盘底板下方设有数个环形炉底盘挡水条，所述对应坩埚轴法兰下方对应的炉底盘挡水条为第一挡水条，所述对应炉底盘底板边缘的炉底盘挡水条为第二挡水条，所述第一挡水条与第二挡水条之间连通有竖直挡水条，所述炉底盘挡水条均与竖直挡水条连通，所述竖直挡水条靠炉底盘底板边缘的一端为进水口。
10.进一步的，所述炉底盘底板于坩埚法兰外侧设有电极法兰与真空管道法兰，所述电极法兰对应设有第一环绕挡水条，所述真空管道法兰对应设有第二环绕挡水条，所述第一环绕挡水条与第二环绕挡水条之间串联有第三挡水条。
11.进一步的，所述第三挡水条与第一挡水条之间设有第四挡水条。
12.进一步的，所述第三挡水条与第二挡水条之间设有第五挡水条。
13.进一步的，所述炉底盘挡水条下方设有炉底盘盖板。
14.相比现有技术，本实用新型结构设置合理：本新型炉底盘结构采用分层连接的方式设置冷却用的水路，相较传统铣槽的方式，在满足所有功能的前提下，极大降低了材料成本，同时也减少了加工成本。
附图说明
15.图1为本新型炉底盘结构整体结构示意图；
16.图2为本新型炉底盘结构侧视示意图；
17.参见图1至图2，其中：1、炉底盘底板；11、坩埚轴法兰；12、电极法兰； 13、真空管道法兰；2、炉底盘挡水条；21、第一挡水条；22、第二挡水条；23、第三挡水条；231、第一环绕挡水条；232、第二环绕挡水条；24、第四挡水条； 25、第五挡水条；26、竖直挡水条；261、进水口；3、炉底盘盖板。
具体实施方式
18.下面结合实施例，对本实用新型的技术方案作进一步的阐述。在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
19.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
20.实施例一：
21.一种新型炉底盘结构，包括：
22.炉底盘底板1，所述炉底盘底板1中部设有坩埚轴法兰11；
23.炉底盘挡水条2，所述炉底盘挡水条2连接在炉底盘底板1下表面，所述炉底盘挡水条2与炉底盘底板1下表面之间围合成冷却水路；
24.所述炉底盘底板1下方设有数个环形炉底盘挡水条2，所述对应坩埚轴法兰 11下方对应的炉底盘挡水条2为第一挡水条21，所述对应炉底盘底板1边缘的炉底盘挡水条2为第二挡水条22，所述第一挡水条21与第二挡水条22之间连通有竖直挡水条26，所述炉底盘挡水条2均与竖直挡水条26连通，所述竖直挡水条26靠炉底盘底板1边缘的一端为进水口261。
25.具体的，炉底盘挡水条2与炉底盘底板1之间围合形成的冷却水路可以通入冷却水，对炉底盘底板1和设置在其上的设备进行冷却，防止温度过高而烧坏，相较于一般在底板上铣槽的方式，将炉底盘挡水条2通过焊接等方式连接到炉底盘底板1下方，加工更加方便快速，且节省材料，加工成本低；在使用时，通过进水口261向竖直挡水条26内注入冷却水，竖直挡水条26会将冷却水导向分布在炉底盘底板1下方的各个炉底盘挡水条2内，对炉底盘底板1进行有效的冷却，如第一挡水条21导入冷却水可以对与坩埚轴法兰11连接的坩埚轴进行冷却。
26.实施例二：
27.实施例二与实施例一的区别在于，所述炉底盘底板1于坩埚法兰11外侧设有电极法兰12与真空管道法兰13，所述电极法兰12对应设有第一环绕挡水条 231，所述真空管道法兰13对应设有第二环绕挡水条232，所述第一环绕挡水条 231与第二环绕挡水条232之间
串联有第三挡水条23。
28.具体的，电极法兰12用于连接加热电极，真空管法兰13用于连接抽真空管，第一环绕挡水条231导入冷却水可以对加热电极进行冷却，第二环绕挡水条232导入冷却水可以对抽真空管进行冷却，第三挡水条23导入冷却水可以将冷却水导入第一环绕挡水条231与第二环绕挡水条232内，第三挡水条23导入冷却水也可以对炉底盘底板进行冷却。
29.实施例三：
30.实施例三与实施例二的区别在于，所述第三挡水条23与第一挡水条21之间设有第四挡水条24。
31.所述第三挡水条23与第二挡水条22之间设有第五挡水条25。
32.具体的，所述第四挡水条24与第五挡水条25可以导入冷却水对炉底盘底板进行大面积冷却。
33.实施例四：
34.实施例四与实施例一的区别在于，所述炉底盘挡水条2下方设有炉底盘盖板3。
35.具体的，炉底盘盖板3可以从下方覆盖住炉底板挡水条2，保护炉底盘挡水条2，避免发生破损漏水情况。
36.本文中所描述的仅为本实用新型的优选实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此。本实用新型所属领域的技术人员对所描述的具体实施例进行的修改或补充或采用类似的方式替换，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种新型炉底盘结构，其特征在于，包括：炉底盘底板，所述炉底盘底板中部设有坩埚轴法兰；炉底盘挡水条，所述炉底盘挡水条连接在炉底盘底板下表面，所述炉底盘挡水条与炉底盘底板下表面之间围合成冷却水路；所述炉底盘底板下方设有数个环形炉底盘挡水条，所述对应坩埚轴法兰下方对应的炉底盘挡水条为第一挡水条，所述对应炉底盘底板边缘的炉底盘挡水条为第二挡水条，所述第一挡水条与第二挡水条之间连通有竖直挡水条，所述炉底盘挡水条均与竖直挡水条连通，所述竖直挡水条靠炉底盘底板边缘的一端为进水口。2.根据权利要求1所述的一种新型炉底盘结构，其特征在于，所述炉底盘底板于坩埚法兰外侧设有电极法兰与真空管道法兰，所述电极法兰对应设有第一环绕挡水条，所述真空管道法兰对应设有第二环绕挡水条，所述第一环绕挡水条与第二环绕挡水条之间串联有第三挡水条。3.根据权利要求2所述的一种新型炉底盘结构，其特征在于，所述第三挡水条与第一挡水条之间设有第四挡水条。4.根据权利要求2所述的一种新型炉底盘结构，其特征在于，所述第三挡水条与第二挡水条之间设有第五挡水条。5.根据权利要求1所述的一种新型炉底盘结构，其特征在于，所述炉底盘挡水条下方设有炉底盘盖板。

技术总结
本实用新型公开了一种新型炉底盘结构，包括：炉底盘底板，所述炉底盘底板中部设有坩埚轴法兰；炉底盘挡水条，所述炉底盘挡水条连接在炉底盘底板下表面，所述炉底盘挡水条与炉底盘底板下表面之间围合成冷却水路。本实用新型的有益效果为：本新型炉底盘结构采用分层连接的方式设置冷却用的水路，相较传统铣槽的方式，在满足所有功能的前提下，极大降低了材料成本，同时也减少了加工成本。同时也减少了加工成本。同时也减少了加工成本。


技术研发人员：杨金海 赵培林
受保护的技术使用者：浙江晶阳机电股份有限公司
技术研发日：2021.06.02
技术公布日：2022/2/18