一种带有隔热圈的单晶生长用石英管的制作方法

文档序号:29679606发布日期:2022-04-14 21:53阅读:183来源:国知局
一种带有隔热圈的单晶生长用石英管的制作方法
o型圈位于储存槽内侧、并超出储存槽与石英管侧壁紧密贴合。
14.作为其中一种具体的实现方案,上述防护筒外侧与支撑圈外环之间留有间隔。这样可起到更好的火焰阻隔效果。
15.为了便于安装,隔热圈的支撑圈螺纹连接在石英管敞口一端外侧。这样可通过旋转的方式安装,方便快捷。
16.为了确保隔热效果,上述支撑圈的厚度不小于2cm。
17.上述支撑圈和防护筒为一体结构。这样可提高装置的稳定性,
18.本实用新型未提及的技术均参照现有技术。
19.本实用新型带有隔热圈的单晶生长用石英管,在石英管和石英帽熔合过程中,可以很好的隔绝热量,保护o型密封圈,有效避免了o型密封圈的烧损;大大降低了工人操作中的危险,提高了安全性;隔热圈可以反复使用,节省了成本;操作简便、装置结构简单、价格低廉,提高了工作效率。
附图说明
20.图1为本实用新型带有隔热圈的单晶生长用石英管的结构示意图;
21.图2为本实用新型隔热圈的安装结构示意图;
22.图中,1为隔热圈,11为支撑圈,12为防护筒,2为石英管本体,3为石英帽,4为抽气接口,5为o型圈,6为抽真空的方向,7为高温火焰。
具体实施方式
23.为了更好地理解本实用新型,下面结合实施例进一步阐明本实用新型的内容,但本实用新型的内容不仅仅局限于下面的实施例。
24.实施例1
25.如图1所示,一种带有隔热圈的单晶生长用石英管,包括隔热圈、石英管本体、石英帽、抽气接口和o型圈;
26.隔热圈包括支撑圈和防护筒;支撑圈为圆环结构,防护筒为圆筒结构;防护筒设在支撑圈一侧,支撑圈和防护筒同轴线设置,支撑圈上内环到防护筒内侧之间留有间隔,支撑圈和防护筒均由陶瓷纤维材料制备;
27.石英管一端为敞口结构,石英帽位于石英管敞口一端内侧;隔热圈的支撑圈活动套在石英管敞口一端外侧,防护筒指向石英管敞口一端;抽气接口包括连接盖和设在连接盖上的抽气管,连接盖活动盖设在石英管敞口一端端部,o型圈密封在连接盖的侧壁与石英管侧壁之间,连接盖的侧壁位于隔热圈的防护筒与石英管侧壁之间。
28.上述在o型圈于和火焰之间,安装了隔热圈,可以很好的隔绝高温火焰,保护密封圈,不会被烧坏。上述隔热圈由陶瓷纤维材料制备,陶瓷纤维材料耐高温、不燃烧、隔热效果非常好,导热系数只有0.25-0.3w/m.k,可以确保隔热效果,避免密封圈被烧坏;支撑圈上内环到防护筒内侧之间留有间隔,也即防护筒的内径是大于支撑圈内环的直径的,这样可以将抽气接口的侧壁包在防护筒和支撑圈之间,以更好地保护密封圈。
29.使用时,抽气管与真空管路连通,将装料的石英管抽真空后,采用氢氧焊枪将石英管和石英帽熔合达到密封的目的,隔热圈可以有效阻挡火焰和热量达到o型圈,进而对o 型
圈起到了有效的保护作用,焊缝结束后,依次将抽气接口和隔热圈拆下即可。
30.实施例2
31.在实施例1的基础上,作了如下改进:为了提高o型圈的密封稳定性,抽气接口上连接盖内侧设有沿周向设置的储存槽,o型圈位于储存槽内侧、并超出储存槽与石英管侧壁紧密贴合。
32.实施例3
33.在实施例2的基础上,作了如下改进:如图2所示,上述防护筒外侧与支撑圈外环之间留有间隔。这样可起到更好的火焰阻隔效果。
34.实施例4
35.在实施例3的基础上,作了如下改进:为了便于安装,隔热圈的支撑圈螺纹连接在石英管敞口一端外侧。这样可通过旋转的方式安装,方便快捷。为了确保隔热效果,上述支撑圈的厚度不小于2cm。上述支撑圈和防护筒为一体结构。这样可提高装置的稳定性,
36.上述各例带有隔热圈的单晶生长用石英管,在石英管和石英帽熔合过程中,可以很好的隔绝热量,保护o型密封圈,有效避免了o型密封圈的烧损;大大降低了工人操作中的危险,提高了安全性;隔热圈可以反复使用,节省了成本;操作简便、装置结构简单、价格低廉,提高了工作效率。


技术特征:
1.一种带有隔热圈(1)的单晶生长用石英管,其特征在于:包括隔热圈(1)、石英管本体(2)、石英帽(3)、抽气接口(4)和o型圈(5);隔热圈(1)包括支撑圈(11)和防护筒(12);支撑圈(11)为圆环结构,防护筒(12)为圆筒结构;防护筒(12)设在支撑圈(11)一侧,支撑圈(11)和防护筒(12)同轴线设置,支撑圈(11)上内环到防护筒(12)内侧之间留有间隔,支撑圈(11)和防护筒(12)均由陶瓷纤维材料制备;石英管一端为敞口结构,石英帽(3)位于石英管敞口一端内侧;隔热圈(1)的支撑圈(11)活动套在石英管敞口一端外侧,防护筒(12)指向石英管敞口一端;抽气接口(4)包括连接盖和设在连接盖上的抽气管,连接盖活动盖设在石英管敞口一端端部,o型圈(5)密封在连接盖的侧壁与石英管侧壁之间,连接盖的侧壁位于隔热圈(1)的防护筒(12)与石英管侧壁之间。2.如权利要求1所述的带有隔热圈(1)的单晶生长用石英管,其特征在于:抽气接口(4)上连接盖内侧设有沿周向设置的储存槽,o型圈(5)位于储存槽内侧、并超出储存槽与石英管侧壁紧密贴合。3.如权利要求1或2所述的带有隔热圈(1)的单晶生长用石英管,其特征在于:防护筒(12)外侧与支撑圈(11)外环之间留有间隔。4.如权利要求1或2所述的带有隔热圈(1)的单晶生长用石英管,其特征在于:隔热圈(1)的支撑圈(11)螺纹连接在石英管敞口一端外侧。5.如权利要求1或2所述的带有隔热圈(1)的单晶生长用石英管,其特征在于:支撑圈(11)的厚度不小于2cm。6.如权利要求1或2所述的带有隔热圈(1)的单晶生长用石英管,其特征在于:支撑圈(11)和防护筒(12)为一体结构。

技术总结
本实用新型公开了一种带有隔热圈的单晶生长用石英管,包括隔热圈、石英管本体、石英帽、抽气接口和O型圈;隔热圈包括支撑圈和防护筒;防护筒设在支撑圈一侧,支撑圈上内环到防护筒内侧之间留有间隔,支撑圈和防护筒均由陶瓷纤维材料制备;石英管一端为敞口结构,石英帽位于石英管敞口一端内侧;隔热圈的支撑圈活动套在石英管敞口一端外侧,防护筒指向石英管敞口一端;抽气接口包括连接盖和设在连接盖上的抽气管,连接盖活动盖设在石英管敞口一端端部,O型圈密封在连接盖的侧壁与石英管侧壁之间,连接盖的侧壁位于隔热圈的防护筒与石英管侧壁之间。上述装置有效避免了O型密封圈的烧损;提高了安全性;隔热圈可以反复使用,节省了成本。成本。成本。


技术研发人员:乔印彬 柯尊斌 王卿伟
受保护的技术使用者:中锗科技有限公司
技术研发日:2021.11.29
技术公布日:2022/4/13
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