单晶炉大套小水冷热屏的制作方法

1.本实用新型涉及单晶硅生产设备领域，具体是单晶炉大套小水冷热屏。


背景技术：

2.单晶硅通常指的是硅原子的一种排列形式形成的物质，硅是最常见应用最广的半导体材料，当熔融的单质硅凝固时，硅原子以金刚石晶格排列成晶核，其晶核长成晶面取向相同的晶粒，形成单晶硅。
3.单晶硅在生产时，需要使用单晶炉，在生产的过程后，生产的晶棒不便于快速冷却，导致拉速较慢，因此本实用新型提出了一种单晶炉大套小水冷热屏。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于：为了解决单晶炉生产的晶棒不便于快速冷却的问题，提供单晶炉大套小水冷热屏。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：单晶炉大套小水冷热屏，包括：
6.大锥桶，所述大锥桶的内部呈中空状态：
7.小锥桶，套接在所述大锥桶的内部，所述小锥桶的内部设置有水路循环槽，所述小锥桶与所述大锥桶可根据所拉晶棒的大小和不同规格的热场调整尺寸。
8.作为本实用新型再进一步的方案：所述大锥桶的顶端连接有第二进水管、第一出水管，所述第二进水管与所述第一出水管对称分布在所述大锥桶的顶端外部。
9.作为本实用新型再进一步的方案：所述小锥桶的顶端连接有延伸至所述大锥桶顶端外部的第一进水管、第二出水管，所述第一进水管位于所述第二出水管的一侧。
10.作为本实用新型再进一步的方案：所述第一进水管分为两节，通过水管连接头连接，一节所述第一进水管与所述小锥桶的顶端固定连接，另一节所述第一进水管底端通过连接管道与所述第二进水管固定连接。
11.作为本实用新型再进一步的方案：所述小锥桶的内部设置有水路循环槽，所述第二出水管的一端通过水管接头与所述第二进水管固定连接，所述第一进水管的一端连接有水泵。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.通过设置大锥桶、小锥桶、第一进水管、第一出水管、第二进水管、第二出水管，通过第一进水管从外部接入水进来，在水泵的作用下，使冷却水进入小锥桶内部的水路循环槽，对小锥桶进行热量吸收，冷却水再从第二出水管进入与大锥桶连接的第二进水管，从而进入大锥桶内部的水路循环槽，对大锥桶进行热量吸收，最后从第一出水管流出到外部水路，不断的如此循环带走热量使得结晶的生产速度更高，生产效率也会更高，能兼容单晶炉拉多种规格的晶棒，当需要拉大规格晶棒时，可把小锥桶拆掉，从而避免拉不同规格的晶棒，就得需配相应水冷热屏的困扰，也大大降低了成本。
附图说明
14.图1为本实用新型的结构示意图；
15.图2为本实用新型的大锥桶内部结构示意图。
16.图中：1、大锥桶；2、第一出水管；3、第二出水管；4、第二进水管；5、小锥桶；6、第一进水管。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.请参阅图1～2，本实用新型实施例中，单晶炉大套小水冷热屏，包括：
19.大锥桶1，所述大锥桶1的内部呈中空状态：
20.小锥桶5，套接在所述大锥桶1的内部，所述小锥桶5的内部设置有水路循环槽，所述小锥桶5与所述大锥桶1可根据所拉晶棒的大小和不同规格的热场调整尺寸。
21.在本实施例中：通过第二进水管4可将外部水流传输至大锥桶1内部，通过第一出水管2可将大锥桶1内部水流输出出去，从而实现大锥桶1内部水流的循环流动，从而实现大锥桶1的快速冷却功能，通过将小锥桶5置于大锥桶1的内部，可使装置能够适应不同规格的晶棒。
22.请着重参阅图2，大锥桶1的顶端连接有第二进水管4、第一出水管2，所述第二进水管4与所述第一出水管2对称分布在所述大锥桶1的顶端外部。
23.在本实施例中：通过第一进水管6从外部接入水进来，在水泵的作用下，使冷却水进入小锥桶5内部的水路循环槽，对小锥桶进行热量吸收，冷却水再从第二出水管3进入与大锥桶连接的第二进水管4，从而进入大锥桶1内部的水路循环槽，对大锥桶1进行热量吸收，最后从第一出水管2流出到外部水路，不断的如此循环带走热量使得结晶的生产速度更高，生产效率也会更高，能兼容单晶炉拉多种规格的晶棒，当需要拉大规格晶棒时，可把小锥桶拆掉，从而避免拉不同规格的晶棒，就得需配相应水冷热屏的困扰，也大大降低了成本。
24.请着重参阅图2，小锥桶5的顶端连接有延伸至所述大锥桶1顶端外部的第一进水管6、第二出水管3，所述第一进水管6位于所述第二出水管3的一侧。
25.在本实施例中：通过此结构可使冷却水通过第一进水管6进入小锥桶5的内部，在沿着小锥桶5内部的第二出水管3进入大锥桶1的内部，形成水路循环。
26.请着重参阅图2，第一进水管6分为两节，通过水管连接头连接，一节所述第一进水管6与所述小锥桶5的顶端固定连接，另一节所述第一进水管6底端通过连接管道与所述第二进水管4固定连接。
27.在本实施例中：通过此结构在将小锥桶5拆卸时，与小锥桶5相连接的一节第一进水管6以及第二出水管3会被同步取出，此时冷却水可直接通过未拆除的一节第一进水管6连接以及其连接的管道输送至第二进水管4内部，第二进水管4可将水输送至大锥桶1内部，再从第一出水管2流出，从而实现大锥桶1内部水路循环，通过此结构即可对穿过大锥桶1的
晶棒进行冷却，通过以上多个零件的配合即可避免拉不同规格的晶棒，就得需配相应水冷热屏的困扰，也大大降低了成本。
28.请着重参阅图1，第二出水管3的一端通过水管接头与所述第二进水管4固定连接，所述第一进水管6的一端连接有水泵
29.在本实施例中：通过此结构可使水泵将外部水源传输至第一进水管6内部，从而通过第一进水管6将冷却水传输至小锥桶5的内部。
30.以上所述的，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.单晶炉大套小水冷热屏，其特征在于，包括：大锥桶(1)，所述大锥桶(1)的内部呈中空状态：小锥桶(5)，套接在所述大锥桶(1)的内部，所述小锥桶(5)的内部设置有水路循环槽，所述小锥桶(5)与所述大锥桶(1)可根据所拉晶棒的大小和不同规格的热场调整尺寸。2.根据权利要求1所述的单晶炉大套小水冷热屏，其特征在于，所述大锥桶(1)的顶端连接有第二进水管(4)、第一出水管(2)，所述第二进水管(4)与所述第一出水管(2)对称分布在所述大锥桶(1)的顶端外部。3.根据权利要求2所述的单晶炉大套小水冷热屏，其特征在于，所述小锥桶(5)的顶端连接有延伸至所述大锥桶(1)顶端外部的第一进水管(6)、第二出水管(3)，所述第一进水管(6)位于所述第二出水管(3)的一侧。4.根据权利要求3所述的单晶炉大套小水冷热屏，其特征在于，所述第一进水管(6)分为两节，通过水管连接头连接，一节所述第一进水管(6)与所述小锥桶(5)的顶端固定连接，另一节所述第一进水管(6)底端通过连接管道与所述第二进水管(4)固定连接。5.根据权利要求3所述的单晶炉大套小水冷热屏，其特征在于，所述第二出水管(3)的一端通过水管接头与所述第二进水管(4)固定连接，所述第一进水管(6)的一端连接有水泵。

技术总结
本实用新型公开了单晶炉大套小水冷热屏，涉及单晶硅生产设备领域，包括：大锥桶，所述大锥桶的顶端连接有第二进水管、第一出水管。本实用新型通过设置大锥桶、小锥桶、第一进水管、第一出水管、第二进水管、第二出水管，通过第一进水管从外部接入水进来，在水泵的作用下，使冷却水进入小锥桶内部的水路循环槽，冷却水再从第二出水管进入与大锥桶连接的第二进水管，从而进入大锥桶内部的水路循环槽，最后从第一出水管流出到外部水路，不断的如此循环带走热量使得结晶的生产速度更高，能兼容单晶炉拉多种规格的晶棒，当需要拉大规格晶棒时，可把小锥桶拆掉，从而避免拉不同规格的晶棒，就得需配相应水冷热屏的困扰，大大降低了成本。大大降低了成本。大大降低了成本。


技术研发人员：侯景成
受保护的技术使用者：广州柏创机电设备有限公司
技术研发日：2021.12.28
技术公布日：2022/5/29