用于区熔炉的单晶夹持机构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属单晶硅生产技术领域，具体涉及一种用于区熔炉的单晶夹持机构。
【背景技术】
[0002]单晶硅作为一种半导体材料，不仅能用做太阳能电池片，而且可以用于集成电路和电子元器件的生产。近年来，国内外对节能环保型能源重视度提高以及电子技术的空前发展，使得区熔单晶硅片的需求量越来越大，其品质的要求也不断提高并且对尺寸的要求多样化，针对市场需求，生产企业需要生产出高品质和各种尺寸的区熔单晶棒。目前，用于生产单晶棒区熔炉的二级支撑系统，是通过频繁更换各种型号的支撑触头来满足不同直径区熔单晶棒的支撑需求，因此厂家需要储备大量各种型号的支撑触头，生产不同直径的区熔单晶棒都需要拆卸二级支撑系统，从而增加了生产周期。另外，现使用的支撑触头与固定螺钉之间接触为点接触，其稳定性差，使用过程中易出现固定困难和晃动现象。因此有必要提出改进。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型解决的技术问题:提供一种用于区熔炉的单晶夹持机构，将支撑固定模块和支撑触头通过通孔连接，并通过固定螺钉和卡槽的卡合调节支撑触头伸出长度，满足不同直径区熔单晶生产需求，缩短生产周期，节省了因生产不同直径单晶棒而制作各种型号支撑触头的成本，提高支持触头及生产过程的稳定性，保证产品质量。
[0004]本实用新型采用的技术方案:用于区熔炉的单晶夹持机构，具有均匀排布于区熔炉内支持器本体一周的支撑触头和支撑固定模块，所述支撑固定模块内部两侧均设有通孔和定位孔，所述支撑触头上均匀设有多个卡槽，所述支撑触头通过与通孔适配对支撑固定模块进行支撑，固定螺钉一端穿过定位孔后与支撑触头上的卡槽卡合。
[0005]其中，所述支撑固定模块上的定位孔与通孔垂直连通。
[0006]进一步地，所述支撑触头上的卡槽为U型槽，所述U型槽底部为平面。
[0007]本实用新型与现有技术相比的优点:
[0008]1、在支撑触头上设多个卡槽，使固定螺钉与任意一个卡槽卡合，实现对同一支撑触头长度进行调节而满足不同直径区熔单晶生产需求，缩短因生产不同直径单晶棒进行部件更换的时间，解决了针对不同直径单晶棒而储备大量各种型号支撑触头的问题，降低支撑触头生产成本；
[0009]2、支撑触头上卡槽底部为平面，使支撑触头与固定螺钉之间为面接触，提高了支撑触头的稳定性，继而使生产过程更加稳定，保证产品质量；
[0010]3、本实用新型结构简单，操作方便，利用度高，生产成本低。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型结构示意图；
[0012]图2为图1的A-A剖视图。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图1-2描述本实用新型的实施例。
[0014]用于区熔炉的单晶夹持机构，如图1所示，具有均匀排布于区熔炉内支持器本体I一周的支撑触头2和支撑固定模块3，如图2所示，所述支撑固定模块3内部两侧均设有通孔31和定位孔32，具体的，所述定位孔32与通孔31垂直连通；所述支撑触头2上均匀设有多个卡槽21。所述支撑触头2通过与通孔31适配对支撑固定模块3进行支撑，固定螺钉4 一端穿过定位孔32后与支撑触头2上的卡槽21卡合并对支撑触头2进行定位。在支撑触头2上设多个卡槽21，实现对同一个支撑触头2的长度进行调节，满足不同直径区熔单晶生产需求，有效缩短因生产不同直径单晶棒进行部件更换的时间，解决了现有技术中针对不同直径单晶棒而储备大量各种型号支撑触头2的问题，大大降低支撑触头2的生产成本，具有结构简单，利用性能好，并减少了工作人员的工作量。
[0015]其中，卡槽21为U型槽，所述U型槽底部为平面，从而使固定螺钉4端部与卡槽21之间的接触为面接触，有效避免支撑触头2使用过程中固定困难和晃动现象，提高支撑触头2的稳定性，从而提高整个支撑系统的稳定性，满足不同直径区熔单晶在生长过程中的稳定要求，保证单晶棒产品质量。
[0016]上述实施例，只是本实用新型的较佳实施例，并非用来限制本实用新型实施范围，故凡以本实用新型权利要求所述内容所做的等效变化，均应包括在本实用新型权利要求范围之内。
【主权项】
1.用于区熔炉的单晶夹持机构，具有均匀排布于区熔炉内支持器本体(I)一周的支撑触头(2)和支撑固定模块(3)，其特征在于:所述支撑固定模块(3)内部两侧均设有通孔(31)和定位孔(32)，所述支撑触头(2)上均匀设有多个卡槽(21)，所述支撑触头(2)通过与通孔(31)适配对支撑固定模块(3)进行支撑，固定螺钉(4) 一端穿过定位孔(32)后与支撑触头(2)上的卡槽(21)卡合。2.根据权利要求1所述的用于区熔炉的单晶夹持机构，其特征在于:所述支撑固定模块⑶上的定位孔(32)与通孔(31)垂直连通。3.根据权利要求1或2所述的用于区熔炉的单晶夹持机构，其特征在于:所述支撑触头(2)上的卡槽(21)为U型槽，所述U型槽底部为平面。
【专利摘要】提供一种用于区熔炉的单晶夹持机构，具有均匀排布于区熔炉内支持器本体一周的支撑触头和支撑固定模块，支撑固定模块内部两侧均设有通孔和定位孔,支撑触头上均匀设有多个卡槽，支撑触头通过与通孔适配对支撑固定模块进行支撑，固定螺钉一端穿过定位孔后与支撑触头上的卡槽卡合。本实用新型能够对支撑触头的长度进行调节，满足不同直径区熔单晶生产需求，缩短生产周期，降低支撑触头的制造成本，提高单晶生长过程的稳定性，保证产品质量。
【IPC分类】C30B13/00
【公开号】CN204874812
【申请号】CN201520683730
【发明人】王晓婧, 路伟, 石春梅, 王真, 甘小莎, 马钰清, 解坤
【申请人】陕西天宏硅材料有限责任公司
【公开日】2015年12月16日
【申请日】2015年9月6日