吐出宽度可调装置和涂敷装置的制作方法

文档序号:3750431阅读:103来源:国知局
专利名称:吐出宽度可调装置和涂敷装置的制作方法
技术领域
本发明涉及能够改变涂敷液的吐出宽度的吐出宽度可调装置以及具备该吐出宽度可调装置的涂敷装置。
背景技术
目前提供有下述专利文献I所公开的狭缝式涂敷法(slit coating method)、以及专利文献2所公开的涂敷装置、专利文献3所公开的涂敷宽度变更装置等。在下述专利文献I的狭缝式涂敷法中,一边使形成被涂敷的液体涂膜的膜厚所需要的涂敷液的供给量、吐出口宽度、以及涂敷头相对于基板进行相对移动的速度同步,一边对涂敷区域均匀地涂敷涂敷液。该狭缝式涂敷法中所使用的涂敷头,通过使相互呈相对称配置关系的后唇部件和前唇部件在裂宽方向上相对移动从而能够使裂宽的尺寸伸缩或变化。另外,下述专利文献2所公开的涂敷装置具备:与作为涂敷对象物的基体材料接触并涂敷涂敷剂的涂敷部,和通过调节涂敷部与基体材料的接触面积从而使涂敷剂相对于基体材料的涂敷宽度能够变动的调节部。在下述专利文献3所公开的涂敷宽度变更装置中,利用被插入涂敷头的狭缝的两端部中的隔片(spacer)和被插入歧管的两端部中的袖珍栓(pocket plug),来变更对作为涂敷对象物的片料(web)涂敷涂敷液时的涂敷宽度。在该涂敷宽度变更装置中,由上侧隔片和下侧隔片这两块板体构成隔片,并且构成为通过至少使上侧隔片滑动而能够调整涂敷览度。现有技术文献专利文献
专利文献1:日本、特开2004-358311号公报专利文献2:日本、特开平5-7809号公报专利文献3:日本、特开平11-179260号公报

发明内容
但是,上述的现有技术中所公开的涂敷头、涂敷装置、涂敷宽度变更装置等,均构成为存储涂敷用流体(涂敷液)的部分的容积伴随着吐出宽度的变更而发生变化的结构。因此,在现有技术下的涂敷头、涂敷装置、涂敷宽度变更装置等中存在下述问题:即,即使以相同的条件从外部对涂敷头等供给涂敷液,涂敷液被朝向涂敷对象物吐出时的吐出压力也会发生变动这一问题。当涂敷液的吐出压力不稳定时,会发生无法以稳定的品质涂敷涂敷液这样的问题。因此,本发明的目的在于提供一种即使在吐出宽度发生变化的情况下吐出压力也几乎不会发生变动的吐出宽度可调装置、以及具备该吐出宽度可调装置的涂敷装置。为了解决上述课题而提供的本发明的吐出宽度可调装置具有:空心的外筒部和空心的内筒部,所述外筒部具备形成有吐出口的吐出口形成部,并且经由所述吐出口使所述外筒部的内外部连通,所述内筒部在所述外筒部的内部能够沿着所述外筒部的周壁转动。在所述内筒部的周壁上形成有使所述内筒部的内外部连通的周部开口,其中,所述周部开口以使轴线方向上的开口宽度和/或轴线方向上的开口位置沿着所述内筒部的圆周方向变化的方式形成,并且,所述吐出宽度可调装置能够向所述内筒部的内部导入流体。本发明的吐出宽度可调装置的特征在于,能够从连通区域吐出被导入所述内筒部的内部的流体,其中,所述连通区域是通过使所述周部开口与所述吐出口重叠而形成。本发明的吐出宽度可调装置能够从连通区域吐出流体,其中,连通区域是通过使设置在内筒部的周壁上的周部开口与设置在外筒部的吐出口形成部上的吐出口重叠而形成。另外,在本发明的吐出宽度可调装置中,由于周部开口的开口宽度和/或位置沿着内筒部的圆周方向变化,因此,通过使内筒部转动,能够调整连通区域的宽度和/或连通区域的位置。因此,根据本发明的吐出宽度可调装置,仅通过使内筒部转动而调整连通区域的宽度和/或位置,便能够将吐出宽度调整为所希望的大小,以及/或者,将吐出流体的位置调整为所希望的位置,从而能够消除由吐出宽度和/或吐出位置的变更所引起的工作效率降低等的问题。另外,在本发明的吐出宽度可调装置中,由于通过使内筒部转动而使吐出宽度等改变,因此,几乎不会发生如现有技术下的吐出宽度可调装置那样伴随着吐出宽度等的变更引起内部容积发生变化的情况。由此,能够将从吐出宽度可调装置吐出流体时的吐出压力的变动抑制在最小限度内。本发明的吐出宽度可调装置,优选在所述内筒部的比所述周部开口更靠所述内筒部的一端侧和另一端侧的位置上,所述内筒部的外周壁与所述外筒部的内周壁之间被形成为液密状态。根据该构成,能够防止流体啮入内筒部与外筒部之间从而导致流体从吐出口的预料之外的部位漏泄的情况。本发明的吐出宽 度可调装置,优选用于将从外部供给的流体导入的导入口在外筒部的周壁上被设置于与所述周部开口面对的位置上。根据该构成,能够将被从导入口导入的流体大致直接地导入内筒部内。由此,能够防止从外部供给的流体啮入内筒部与外筒部之间等的不良情况。在本发明的吐出宽度可调装置中,优选所述吐出口的开口宽度为所述周部开口的轴线方向上的开口宽度以上。根据该构成,能够确实地防止流体进入内筒部与外筒部之间。本发明的吐出宽度可调装置,优选设有能够根据流体的吐出宽度对所述内筒部相对于所述外筒部的转动量进行调整的控制装置。根据该构成,能够容易地且准确地将内筒部的转动量调整为使流体的吐出宽度变为所希望的宽度所需的最适当的状态。另外,为了解决上述课题而提供的本发明的涂敷装置具有:从外部供给流体的流体供给装置,和将由所述流体供给装置供给的流体以规定的吐出宽度吐出的吐出宽度可调装置。在本发明的涂敷装置中,所述流体供给装置由单轴偏心螺杆泵构成。另外,所述吐出宽度可调装置具有空心的外筒部和内筒部,所述外筒部具备形成有吐出口的吐出口形成部,并且经由所述吐出口使所述外筒部的内外部连通,所述内筒部在所述外筒部的内部能够沿着所述外筒部的周壁转动,并且,所述吐出宽度可调装置能够向所述内筒部的内部导入流体;在所述内筒部的周壁上形成有使所述内筒部的内外部连通的周部开口,其中,所述周部开口以使轴线方向上的开口宽度和/或轴线方向上的开口位置沿着所述内筒部的圆周方向变化的方式形成;所述吐出宽度可调装置能够从连通区域吐出被导入所述内筒部内部的流体,其中,所述连通区域是通过使所述周部开口与所述吐出口重叠而形成。在本发明的涂敷装置中所采用的吐出宽度可调装置中,通过使内筒部转动,能够调整连通区域的宽度和/或连通区域的位置,从而将流体的吐出宽度调整为所希望的大小,以及/或者,将吐出流体的位置调整为所希望的位置,其中,连通区域是通过使设置在内筒部的周壁上的周部开口与设置在外筒部的吐出口形成部上的吐出口重叠而形成。因此,根据本发明的涂敷装置,能够容易地且高精度地调整流体的吐出宽度和/或吐出位置,从而能够防止伴随着吐出宽度的变更所引起的工作效率的降低等。在本发明的涂敷装置中,由于作为流体供给装置采用单轴偏心螺杆泵,因此能够以大致固定的供给量和供给压力对吐出宽度可调装置供给流体。另外,在本发明的吐出宽度可调装置中,由于通过使内筒部转动而使吐出宽度等改变,因此几乎不会发生如现有技术下的吐出宽度可调装置那样伴随着吐出宽度等变更引起内部容积发生变化的情况。因此,根据本发明的涂敷装置,能够将流体的吐出压力和吐出量的变动抑制在最小限度内。本发明的涂敷装置,优选具备能够以同步的状态实施吐出宽度控制和供给量控制的控制装置,其中,所述吐出宽度控制是通过对所述内筒部相对于所述外筒部的转动量进行调整而控制流体的吐出宽度,所述供给量控制是通过控制所述单轴偏心螺杆泵的动作而控制对所述吐出宽度可调装置供给的流体的供给量。根据该构成,能够使作为涂敷用而被吐出的流体的吐出宽度和吐出量的平衡实现
最佳化。 本发明的涂敷装置,优选具备能够使涂敷对象物与所述流体供给装置的相对位置改变的移动装置,并且,具备能够以同步的状态实施吐出宽度控制和位置控制的控制装置,其中,所述吐出宽度控制是通过对所述内筒部相对于所述外筒部的转动量进行调整而控制流体的吐出宽度,所述位置控制是通过对所述移动装置的动作进行控制而对所述流体供给装置相对于所述涂敷对象物的相对位置进行控制。根据该构成,能够根据涂敷对象物与吐出宽度可调装置的位置关系将作为涂敷用而被吐出的流体的吐出宽度和吐出位置调整为适当的状态。由此,能够根据涂敷对象物的部位以不同的宽度涂敷流体,除此之外,还能够以对涂敷对象物描绘所希望图形的图案等各种形态涂敷流体。(发明效果)根据本发明,能够提供即使在吐出宽度和/或吐出位置发生变化的情况下吐出压力也几乎不会发生变动的吐出宽度可调装置、以及具备这种吐出宽度可调装置的涂敷装置。


图1是表示本发明一实施方式涉及的涂敷装置的示意图。
图2是表示图1所示涂敷装置中所采用的泵和吐出宽度可调装置的剖视图。图3是表示将吐出宽度可调装置局部切断后的状态的立体图。图4中(a)是图3所示的吐出宽度可调装置的剖视图,(b)是仰视图。图5是对图3所示吐出宽度可调装置中的内筒部的周壁与形成于外筒部的吐出口之间的关系进行表示的说明图。图6是表示控制装置的构成的框图。图7是对利用图1所示涂敷装置进行的涂敷动作的流程进行表示的流程图。图8中(a) (d)分别是对利用图1所示涂敷装置形成的涂敷图形的例子进行表示的图形示意图(pattern figure)。图9中(a) (I)分别是对利用图1所示涂敷装置形成的涂敷图形的例子进行表示的图形示意图。图10中(a) (g)分别是对通过改变形成于内筒部的周部开口的形状而能够进行涂敷的涂敷图形的例子进行表示的图形示意图。图11是对变形例所涉及的吐出宽度可调装置中的内筒部的周壁与形成于外筒部的吐出口之间的关系进行表示的说明图。(符号说明)10…涂敷装 置20…工业机械手(移动装置)50…单轴偏心螺杆泵(流体供给装置)100…吐出宽度可调装置112…外筒部116 …吐出口118 …导入口122…吐出口形成部124…导入口形成部126…外筒内部空间128…内周壁130…内筒部136…周壁138…周部开口142…内筒内部空间148…连通区域170…控制装置
具体实施例方式参照附图对本发明一实施方式涉及的涂敷装置10和吐出宽度可调装置100详细地进行说明。如图1所示,涂敷装置10具备工业机械手20 (移动装置)、单轴偏心螺杆泵50 (以下也简称为“泵50”)、吐出宽度可调装置100、以及控制装置170。工业机械手20由机器人手臂等构成。工业机械手20的手臂22的前端上安装有泵50,通过使工业机械手20工作,能够使泵50相对于作为涂敷液(流体)的涂敷对象的涂敷对象物W进行移动。泵50是为了从外部加压输送涂敷液而设置的装置(流体供给装置)。泵50是所谓的旋转容积式泵,如图2所示,泵50形成为在壳体52的内部收容有定子66、转子72、以及动力传递机构78等的结构。壳体52为金属制的筒状部件,在壳体52的长度方向一端侧上设置有第一开口部54。在壳体52的设置有第一开口部54侧的端部上,安装有之后详细叙述的吐出宽度可调装置100。另外,在壳体52的外周部分上设置有第二开口部64。第二开口部64在位于壳体52长度方向中间部分的中间部60上与壳体52的内部空间连通。第一开口部54和第二开口部64是分别作为泵50的吸入口和吐出口发挥作用的部分。关于泵50,通过使转子72向正向旋转,能够以使第一开口部54作为吐出口发挥作用、第二开口部64作为吸入口发挥作用的方式加压输送流体。另外,通过使转子72向逆向旋转,能够以使第一开口部54作为吸入口发挥作用、第二开口部64作为吐出口发挥作用的方式加压输送流体。在本实施方式中,转子72以使第一开口部54作为吐出口发挥作用、第二开口部64作为吸入口发挥作用的方式进行工作。定子66是由橡胶等弹性体、或树脂等形成且具有大致圆筒形外观形状的部件。定子66收容在定子安装部56内,该定子安装部56在壳体52中位于与第一开口部54邻接的位置处。定子66的外径与定子安装部56的内径大致相同。因此,定子66以其外周壁与定子安装部56的内周壁大致紧贴的状态被安装。另外,定子66的一端侧在壳体52的端部位置处被之后详细叙述的吐出宽度可调装置100夹持。定子66的内周壁70形成为η条单级或多级的阴螺纹形状。在本实施方式中,定子66形成为两条多级阴螺纹形状。更具体而言,在定子66的内部设置有沿着定子66的长度方向延伸且以上述的螺距扭曲的贯通孔68。贯通孔68形成为在从定子66的长度方向任意位置处剖视时其剖面形状(开口形状)均为大致长圆形。

转子72是金属制的轴体,并形成为η-1条的单级或多级阳螺纹形状。在本实施方式中,转子72形成为I条偏心的阳螺纹形状。转子72形成为在从其长度方向任意位置处剖视时其剖面形状均为大致正圆形。转子72被插通于上述的形成在定子66上的贯通孔68中,并形成为在贯通孔68的内部能够自如地偏心旋转。当相对于定子66插通转子72时,成为转子72的外周壁74与定子66的内周壁70以双方的切线紧密接触的状态,并且,在定子66的内周壁70与转子72的外周壁之间形成流体输送路76。流体输送路76沿着定子66或转子72的长度方向呈螺旋状地延伸。当使转子72在定子66的贯通孔68内旋转时,流体输送路76在定子66内旋转的同时沿定子66的长度方向前进。因此,当使转子72旋转时,能够从定子66的一端侧向流体输送路76内吸入流体,并且,能够将该流体以封闭于流体输送路76内的状态向定子66的另一端侧输送并在定子66的另一端侧吐出。本实施方式的泵50通过使转子72向正向旋转,能够将从第二开口部64吸入的流体进行加压输送,并从第一开口部54向之后详细叙述的吐出宽度可调装置100吐出。动力传递机构78是用于从设置在壳体52外部的泵驱动器96对上述的转子72传递动力的机构。动力传递机构78具有动力传递部80和偏心旋转部82。动力传递部80设置在壳体52长度方向的一端侧上。
另外,偏心旋转部82设置在形成于动力传递部80与定子安装部56之间的中间部60上。偏心旋转部82是将动力传递部80与转子72以能够进行动力传递的方式进行连接的部分。偏心旋转部82具有由现有周知的连杆或螺杆等构成的连结轴88、和由现有周知的万向接头等构成的连结体94、98。因此,偏心旋转部82能够将通过使泵驱动器96工作所产生的旋转动力传递到转子72,从而使转子72进行偏心旋转。吐出宽度可调装置100是能够以规定的吐出宽度吐出被泵50加压输送来的涂敷液的装置。如图2所示,吐出宽度可调装置100连接在上述泵50的第一开口部54侧的端部上。如图3和图4所示,吐出宽度可调装置100具有壳体110、内筒部130、以及驱动机构部150 (驱 动装置)。壳体110具有呈空心且筒状的外筒部112、和驱动机构设置部114。外筒部112是内装有内筒部130的筒状的部分,并且具有吐出口 116和导入口 118。驱动机构设置部114如之后详细叙述,是收容形成驱动机构部150的部件的部分。设置在外筒部112上的吐出口 116,被设置在形成外筒部112的周壁120的一部分的吐出口形成部122上。吐出口 116由呈狭缝状且直线延伸的开口构成,并将外筒部112的内外部连通。导入口 118是用于与上述的泵50的第一开口部54连接的部分,并形成于导入口形成部124上,该导入口形成部124被设置在外筒部112的周壁120上。导入口 118以面对(adapt)之后详细叙述的设置在内筒部130上的周部开口 138的方式而设置。内筒部130收容在被形成于外筒部112内侧的外筒内部空间126中,且是外径具有与外筒部112的内径大致相同大小的空心筒体。内筒部130在一端侧(基端130a侧)和另一端侧(连接端130b侧)被轴承132、134轴支承从而能够进行转动。内筒部130的连接端130b朝向形成于壳体110 —端侧的驱动机构设置部114侧突出,并与驱动机构部150连接。在内筒部130的周壁136上形成有周部开口 138,该周部开口 138将内筒部130的内外部连通。周部开口 138被设置在与外筒部112上所设置的导入口 118面对(相对)的位置上,从而能够将被泵50加压输送来的涂敷液导入内筒部130内的内筒内部空间142内。如图5所示,周部开口 138形成为其开口宽度d(沿内筒部130的母线方向的长度)沿着内筒部130的圆周方向连续地变化。具体而言,周部开口 138具有在将内筒部130展开的状态下呈大致等腰三角形的开口形状。另外,在内筒部130的圆周方向上相对于周部开口 138偏尚的位置处,设置有非开口部140。另外,如图5所示,周部开口 138的开口宽度d在任意的部位上均比设置在外筒部112上的吐出口 116的开口宽度s小。如图3、图4及图5所示,在相对于周部开口 138为基端130a侧的位置和连接端130b侧的位置处,沿着内筒部130的整个圆周设置有O形密封圈144、146。O形密封圈144、146是用于将内筒部130的周壁136与外筒部112的周壁120之间形成液密状态的部件。因此,被导入内筒部130的内筒内部空间142内的涂敷液,至少不会从设置有O形密封圈144、146的位置漏出至内筒部130的基端130a侧和连接端130b侧的区域中。如图3和图4所示,驱动机构部150具有由电动机构成的驱动器152、与驱动器152的旋转轴连接的第一锥齿轮154、以及与内筒部130的连接端130b侧连接的第二锥齿轮156。驱动器152被设置为其旋转轴朝向壳体110的驱动机构设置部114内突出。另外,第一锥齿轮154和第二锥齿轮156被收容在驱动机构设置部114内,且两者啮合。因此,通过使驱动器152工作,能够使内筒部130在外筒部112内转动。另外,通过控制驱动器152的转速(rotation speed)和旋转方向,能够进行内筒部130的转动量的调整、以及旋转方向的变更。吐出宽度可调装置100如在图5中标以影线所示,在设置于外筒部112的吐出口 116与设置于内筒部130的周部开口 138重叠的部分上,形成有使两者连通的连通区域148。另外,通过对驱动器152的转速和旋转方向进行调整,从而使吐出口 116与周部开口138的相对位置改变,由此能够使连通区域148的宽度D(以下,也称为“吐出宽度D”)改变。在本实施方式中,当使内筒部130向图3和图5中的箭头A方向旋转时,连通区域148的吐出宽度D逐渐扩大,当使内筒部130向与箭头A方向相反的箭头B方向旋转时,吐出宽度D逐渐缩小。另外,当内筒部130转动至非开口部140与吐出口 116重叠的位置时,成为吐出口 116被非开口 部140封闭的状态、即吐出宽度D变为零从而无法吐出涂敷液的状态。控制装置170能够单独地或复合地实施以下控制:即,对泵50相对于涂敷对象物W的相对位置进行控制的位置控制、对泵50相对于涂敷对象物W的移动速度进行控制的速度控制、将对吐出宽度可调装置100供给的涂敷液的供给量进行控制的供给量控制、对从吐出宽度可调装置100吐出的涂敷液的吐出宽度进行控制的吐出宽度控制等。具体而言,如图6所示,控制装置170具有吐出宽度控制部171、位置控制部172、速度控制部173、供给量控制部174、以及同步部175。控制装置170通过利用位置控制部172对工业机械手20的位置、手臂22的角度及伸缩量等进行调整,从而能够对安装于手臂22前端的泵50的位置进行控制(位置控制)。另外,控制装置170通过利用速度控制部173对工业机械手20和手臂22的移动速度进行调整,从而能够对泵50相对于涂敷对象物W的移动速度进行控制(速度控制)。另外,控制装置170通过利用供给量控制部174对泵驱动器96的转速进行控制,从而能够实施对吐出宽度可调装置100供给的涂敷液供给量的控制(供给量控制)。进而,控制装置170通过利用吐出宽度控制部171对吐出宽度可调装置100的驱动器152的转速和旋转方向进行调整,从而使设置于外筒部112的吐出口 116与设置于内筒部130的周部开口 138的相对位置改变,由此能够增减吐出宽度D。因此,控制装置170通过对驱动器152的动作进行控制,能够对涂敷液的吐出宽度进行控制(吐出宽度控制)。另外,控制装置170能够利用同步部175而使上述的位置控制、速度控制、供给量控制、以及吐出宽度控制分别同步。通过这样,能够对涂敷对象物W实现如下操作:S卩,对所希望的位置处以所希望的涂敷宽度涂敷涂敷液、以所希望的速度涂敷涂敷液、在涂敷作业的中途使涂敷宽度逐渐变化、以及以所希望的形状涂敷涂敷液等。以下,对于在通过涂敷装置10对涂敷对象物W涂敷涂敷液时利用控制装置170实施的动作控制,例举出根据图8(a)所示的涂敷图形(coating pattern)进行涂敷的情况,并参照图7的流程图详细地进行说明。在根据图8 (a)所示的涂敷图形进行涂敷的情况下,在设置于起点S至终点E之间的中间位置P1、P2处进行吐出宽度D的调整(变更),并且涂敷涂敷液。具体而言,在从起点S起至中间位置Pl为止的区间内,将吐出宽度D调整为Dl并进行供给量控制,同时,通过进行位置控制使泵50和吐出宽度可调装置100移动,由此涂敷涂敷液。然后,在对中间位置Pl为止的涂敷结束的时点上,将吐出宽度D变更为D2,并根据供给量控制和位置控制继续进行涂敷直至到达中间位置P2。当涂敷进行至中间位置P2时,再次将吐出宽度D变更为Dl,并根据供给量控制和位置控制继续进行涂敷直至到达终点E。根据图7的流程图对上述一系列的动作说明如下。在对涂敷对象物W涂敷涂敷液的情况下,首先,在步骤I中,控制装置170根据表示开始涂敷位置(起点S)的位置信息使工业机械手20和手臂22移动,从而使安装于泵50的前端的吐出宽度可调装置100移动至起点S的位置。然后,当控制流程进入步骤2时,控制装置170对驱动器152的转速和旋转方向进行调整,并使内筒部130转动,以形成吐出宽度D与涂敷宽度一致的状态。在根据图8 (a)的涂敷图形进行涂敷的情况下,当吐出宽度可调装置100处于起点S时,吐出宽度D被调整为Dl。另外,在涂敷液的涂敷继续进行并到达中间位置Pl或中间位置P2时,吐出宽度D被调整为D2或Dl。在此,当在步骤2中进行了吐出宽度D的调整时,涂敷液的吐出量发生变化,因此也需要调整对吐出宽度可调装置100供给的涂敷液的供给量。具体而言,当扩宽了吐出宽度D时,由于涂敷液的吐出量增加,因此需要使泵50的转子72的转速上升,以使对吐出宽度可调装置100供给的涂敷液的供给量增加。与此相反地,当缩小了吐出宽度D时,由于涂敷液的吐出量减少,因此需要使转子72的转速下降从而使涂敷液的吐出量减少。因此,当在步骤2中进行了吐出宽度D的调整时,在之后的步骤3中根据供给量控制将对吐出宽度可调装置100供给的涂敷液的供给量进行调整。当控制流程继续进行至步骤4时,通过使工业机械手20和手臂22移动,从而使安装于泵50前端的吐出宽度可调装置100按照涂敷图形进行移动。通过这样,根据在步骤2中设定的吐出宽度D吐 出涂敷液,并对涂敷对象物W进行涂敷。在步骤4中吐出宽度可调装置100的移动开始之后,当确认到吐出宽度可调装置100到达了应该变更吐出宽度D的位置、具体而言是中间位置Pl或中间位置P2时(步骤5),控制流程返回步骤2。当控制流程返回步骤2时,在改变吐出宽度D后按照上述的步骤2 步骤4的流程进行涂敷动作。另一方面,当在步骤5中判断为吐出宽度可调装置100的位置不是吐出宽度变更位置(中间位置P1、P2)时,控制流程进入步骤6。在步骤6中,确认吐出宽度可调装置100是否已到达终点E。在确认为未到达终点E的情况下,由于是涂敷动作的中途,因此控制流程返回步骤4,并接着继续进行涂敷动作。另一方面,当在步骤6中确认为已到达终点E的情况下,控制流程进入步骤7,涂敷动作变为停止状态。具体而言,吐出宽度可调装置100等的移动、以及利用泵50进行的涂敷液的供给被停止,并且,吐出宽度D被切换为零。由此,对涂敷对象物W进行的涂敷液的涂敷完成,从而一系列的控制流程结束。如上所述,在本实施方式的涂敷装置10中所采用的吐出宽度可调装置100能够从连通区域148吐出涂敷液,其中,该连通区域148是通过使设置在内筒部130的周部开口138与设置在外筒部112的吐出口 116重叠而形成。另外,在吐出宽度可调装置100中,周部开口 138的开口宽度d沿着内筒部130的圆周方向连续地变化,由此通过使内筒部130转动而能够调整吐出宽度D。因此,根据吐出宽度可调装置100,仅通过调整内筒部130的转动量便能够将吐出宽度D调整为所希望的大小,从而能够消除由吐出宽度D的变更所引起的工作效率降低等的问题。另外,在本实施方式中,例示了以开口宽度d沿着内筒部130的圆周方向连续地变化的方式形成周部开口 138这一结构,但本发明并不限于此,也可以以开口宽度d断续地变化的方式形成。在吐出宽度可调装置100中,通过使内筒部130转动而使吐出宽度D改变,因此几乎不会发生伴随着吐出宽度D的变更引起内部容积发生变化的情况。由此,能够将伴随着吐出宽度D的变更所引起的吐出压力的变动抑制在最小限度内。另外,在本实施方式的涂敷装置10中,由于作为涂敷液供给装置而采用泵50,因此能够以大致固定的供给量及供给压力对吐出宽度可调装置100供给涂敷液。因此,根据涂敷装置10,即使在使涂敷宽度(吐出宽度D)连续地或断续地变化等情况下,被涂敷于涂敷对象物W的涂敷液的厚度(膜厚)、以及涂敷液的粘着性等涂敷特性也几乎不会发生变动,从而能够以稳定的品质涂敷涂敷液。

在吐出宽度可调装置100中,利用设置在比周部开口 138更靠基端130a侧和连接端130b侧位置的O形密封圈144、146,将内筒部130的周壁136与外筒部112的内周壁128之间形成为液密状态。另外,在吐出宽度可调装置100中,用于导入被泵50供给的涂敷液的导入口 118在外筒部112的周壁136上被设置在与周部开口 138面对的位置处。进而,周部开口 138的开口宽度d在任意部位处均比设置在外筒部112上的吐出口 116的开口宽度s小。因此,能够将被从周部开口 138导入内筒内部空间142内的涂敷液大致直接地导入内筒部130内,并且,能够防止吐出液啮入内筒部130与外筒部112之间。因此,根据吐出宽度可调装置100,能够防止吐出液从吐出口 116的预料之外的部位漏泄,从而能够以稳定的品质涂敷涂敷液。另外,在本实施方式中例示了在内筒部130上设置有O形密封圈144、146的结构,但本发明并不限定于此,也可以构成为在外筒部112侧设置有O形密封圈等密封部件。另外,在吐出宽度可调装置100中,是为了将内筒部130与外筒部112之间形成为液密状态而设置有O形密封圈144、146,但是,也可以取代O形密封圈144、146而设置泛塞封(Variseal)、带唇密封(lip seal)等其他的密封部件,或者,在设置O形密封圈144、146的基础上进一步设置泛塞封、带唇密封等其他的密封部件。另外,在本实施方式中例示了将周部开口 138的开口宽度d形成为比设置在外筒部112上的吐出口 116的开口宽度s小的例子,但是也可以使开口宽度d、s相同。根据本实施方式的涂敷装置10,能够以同步的状态实施位置控制、速度控制、供给量控制、以及吐出宽度控制,并且,能够根据吐出宽度可调装置100与涂敷对象物W的位置关系、吐出宽度可调装置100的移动速度,将作为涂敷用而被吐出的涂敷液的吐出宽度D的大小、吐出宽度D的变化速度、从泵50向吐出宽度可调装置100供给的涂敷液的供给量(供给速度)调整为适当的状态。由此,例如能够如图8(a)所示根据涂敷对象物W的部位以不同的宽度涂敷涂敷液。另外,在本实施方式中例示了根据图8(a)所示的涂敷图形涂敷涂敷液时的动作,但是,涂敷装置10通过根据吐出宽度可调装置100的位置、移动速度等进行吐出宽度D等的调整,由此除了根据图8(a)的涂敷图形之外,也能够根据图8(b) (d)所示的涂敷图形、图9 (a) (I)所示的涂敷图形(图案)等多种多样的涂敷图形对涂敷对象物W涂敷涂敷液。在本实施方式的吐出宽度可调装置100中,形成在外筒部112上的吐出口 116由在外筒部112的宽度方向上呈直线地延伸的狭缝形成,但是本发明并不限定于此。具体而言,也可以取代吐出口 116,而形成为设有在外筒部112的宽度方向上呈断续地设置的狭缝、倾斜地形成的狭缝、具有弯曲部分的狭缝、开口形状为圆形、椭圆形、矩形或多角形的开口等的结构。通过形成上述结构,能够以更多样的形态吐出涂敷液,从而能够根据各种涂敷图形涂敷涂敷液。另外,在吐出宽度可调装置100中,对于形成在内筒部130上的周部开口 138的开口形状也与吐出口 116同样地并不限定于前述形状,而是能够根据涂敷图形等变更为各种形状。即,对于周部开口 138,只要形成为使轴线方向上的开口宽度D和轴线方向上的开口位置沿着内筒部130的圆周方向变化即可,对于开口形状或大小可以为任意的形状或大小。具体而言,在将周部开口 138的形状形成为在将内筒部130的周壁136展开的状态下呈所希望的涂敷图形的形状时,通过使吐出宽度可调装置100的移动和内筒部130的转动同步,从而能够根据例如图10(a) (g)所示的涂敷图形(图案)对涂敷对象物涂敷涂敷液。更详细而言,在周壁136上设置有图11所示形状的周部开口 138时,通过使内筒部130与涂敷速度同步地旋转而使连通区域148的宽度和位置依次变化,从而能够以图10(g)所示的涂敷图形涂敷涂敷·液。
权利要求
1.一种吐出宽度可调装置,其特征在于, 具有:空心的外筒部和空心的内筒部, 所述外筒部具备形成有吐出口的吐出口形成部,并且经由所述吐出口使所述外筒部的内外部连通, 所述内筒部在所述外筒部的内部能够沿着所述外筒部的周壁转动; 在所述内筒部的周壁上形成有使所述内筒部的内外部连通的周部开口,其中,所述周部开口以使轴线方向上的开口宽度和/或轴线方向上的开口位置沿着所述内筒部的圆周方向变化的方式形成; 并且,所述吐出宽度可调装置能够向所述内筒部的内部导入流体,并能够从连通区域吐出被导入所述内筒部的内部的流体,其中,所述连通区域是通过使所述周部开口与所述吐出口重叠而形成。
2.如权利要求1所述的吐出宽度可调装置,其特征在于, 在所述内筒部的比所述周部开口更靠所述内筒部的一端侧和另一端侧的位置上,所述内筒部的外周壁与所述外筒部的内周壁之间被形成为液密状态。
3.如权利要求1或2所述的吐出宽度可调装置,其特征在于, 用于将从外部供给的流体导入的导入口在所述外筒部的周壁上被设置于与所述周部开口面对的位置上。
4.如权利要求1 3中任意一项所述的吐出宽度可调装置,其特征在于,所述吐出口的开口宽度为所述周部开口的轴线方向上的开口宽度以上。
5.如权利要求1 4中任意一项所述的吐出宽度可调装置,其特征在于,设有能够根据流体的吐出宽度对所述内筒部相对于所述外筒部的转动量进行调整的控制装置。
6.一种涂敷装置,其特征在于, 具有:从外部供给流体的流体供给装置,和将由所述流体供给装置供给的流体以规定的吐出宽度吐出的吐出宽度可调装置; 所述流体供给装置由单轴偏心螺杆泵构成; 所述吐出宽度可调装置具有空心的外筒部和内筒部,所述外筒部具备形成有吐出口的吐出口形成部,并且经由所述吐出口使所述外筒部的内外部连通,所述内筒部在所述外筒部的内部能够沿着所述外筒部的周壁转动; 并且,所述吐出宽度可调装置能够向所述内筒部的内部导入流体; 在所述内筒部的周壁上形成有使所述内筒部的内外部连通的周部开口,其中,所述周部开口以使轴线方向上的开口宽度和/或轴线方向上的开口位置沿着所述内筒部的圆周方向变化的方式形成; 所述吐出宽度可调装置能够从连通区域吐出被导入所述内筒部的内部的流体,其中,所述连通区域是通过使所述周部开口与所述吐出口重叠而形成。
7.如权利要求6所述的涂敷装置,其特征在于, 所述涂敷装置具备能够以同步的状态实施吐出宽度控制和供给量控制的控制装置,其中,所述吐出宽度控制是通过对所述内筒部相对于所述外筒部的转动量进行调整而控制流体的吐出宽度, 所述供给量控制是通过控制所述单轴偏心螺杆泵的动作而控制对所述吐出宽度可调装置供给的流体的供给量。
8.如权利要求6或7所述的涂敷装置,其特征在于, 所述涂敷装置具备能够使涂敷对象物与所述流体供给装置的相对位置改变的移动装置,并且,具备能够以同步的状态实施吐出宽度控制和位置控制的控制装置, 其中,所述吐出宽度控制是通过对所述内筒部相对于所述外筒部的转动量进行调整而控制流体的吐出宽度, 所述位置控制是通过对所述移动装置的动 作进行控制而对所述流体供给装置相对于所述涂敷对象物的相对位置进行控制。
全文摘要
本发明的目的在于提供一种即使在使吐出宽度发生变化的情况下吐出压力也几乎不会发生变动的吐出宽度可调装置以及具备该吐出宽度可调装置的涂敷装置;吐出宽度可调装置(100)具有内外部经由吐出口(116)连通的空心的外筒部(112)、和在外筒部(112)的内部能够沿着外筒部的周壁转动的内筒部(130);内筒部(130)的内部能够导入流体,并且,内筒部(130)在周壁(136)上设有使内筒部(130)的内外部连通的周部开口(138);周部开口(138)形成为其开口宽度沿着内筒部的圆周方向变化;吐出宽度可调装置(100)能够从连通区域(148)吐出被导入内筒部(130)内部的流体,其中,连通区域(148)是通过使周部开口(138)与吐出口(116)重叠而形成。
文档编号B05C5/00GK103237605SQ20118005862
公开日2013年8月7日 申请日期2011年12月5日 优先权日2010年12月6日
发明者须原伸久 申请人:兵神装备株式会社
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