荧光金刚石及其制造方法

文档序号:26306969发布日期:2021-08-17 13:48阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种荧光金刚石,其以1×1014/cm3以上的浓度包含mv中心(m为金属或半金属,v表示空位)。

2.根据权利要求1所述的荧光金刚石,其满足下述(i)~(iii)中的至少1者:

(i)导入的空位数与金属或半金属的原子数之比(v数/m数)为0.1~10000;

(ii)含有0.0001~1原子%的金属或半金属(m);

(iii)nv中心的浓度为1×1017/cm3以下。

3.根据权利要求1或2所述的荧光金刚石,其中,

金属或半金属元素为si、ge或sn。

4.根据权利要求1或2所述的荧光金刚石,其中,

半金属元素为si。

5.根据权利要求1~4中任一项所述的荧光金刚石,其含有构成mv中心的金属或半金属元素以外的金属或半金属元素。

6.根据权利要求5所述的光金刚石,其中,

所述构成mv中心的金属或半金属元素以外的金属或半金属元素为fe、co或ni。

7.权利要求1~6中任一项所述的荧光金刚石的制造方法,该方法包括下述的第1阶段及第2阶段:

第1阶段,在金刚石的合成过程中导入浓度适当的金属或半金属(m),提供含有金属或半金属(m)的金刚石;

第2阶段,对含有金属或半金属(m)的金刚石照射高能量射线,形成空位,接着进行退火,形成发出荧光的mv中心。

8.根据权利要求7所述的荧光金刚石的制造方法,其中,

所述高能量射线为he或h的离子束或电子束。

9.根据权利要求7所述的荧光金刚石的制造方法,其中,

在所述第1阶段中,存在构成mv中心的金属或半金属元素以外的金属或半金属。

10.根据权利要求9所述的荧光金刚石的制造方法,其中,

所述构成mv中心的金属或半金属元素以外的金属或半金属为fe、co或ni。

11.根据权利要求7~10中任一项所述的荧光金刚石的制造方法,其中,

第1阶段的金刚石合成的方法为化学气相合成法(cvd法)。

12.根据权利要求7~10中任一项所述的荧光金刚石的制造方法,其中,

第1阶段的金刚石合成的方法为爆轰法。

13.根据权利要求7~10中任一项所述的荧光金刚石的制造方法,其中,

第1阶段的金刚石合成的方法为内爆法。


技术总结
本发明提供以1×1014/cm3以上的浓度包含发出荧光的MV中心(M为金属或半金属,V表示空位)的荧光金刚石。

技术研发人员:中尾基;长町信治;西川正浩;刘明
受保护的技术使用者:株式会社大赛璐;国立大学法人九州工业大学
技术研发日:2019.10.29
技术公布日:2021.08.17
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