一种基板传送装置的制作方法

本实用新型涉及显示设备制造技术领域，特别涉及一种基板传送装置。

背景技术：

在生产AMOLED(Active-matrix organic light emitting diode，有源矩阵有机发光二极管)显示设备的过程中，AMOLED显示设备的基板需要采用传送装置传送到多个蒸镀腔中进行蒸镀。

现有一种传送装置，主要包括支架以及设置在支架上的多个限位件。在传送基板时，基板放置在支架上，多个限位件围绕基板设置，以限制基板在支架上发生移动。传送装置在将基板传送到蒸镀设备处时，基板会被机械手从支架上取走，在完成一次蒸镀后又会被机械手重新放置到支架上。由于限位件围成的区域的大小与基板的大小几乎相同，在基板被重新放置到支架上时，很容易出现基板没有完全对准限位件围成的区域的情况，导致基板压在限位件上，在下一次机械手取走基板时，机械手可能会压坏基板。

为了避免出现这种情况，限位件所围成的区域会比基板略大，从而使限位件与基板的边缘之间留有一定的间隙。但是留有间隙后，支架在移动时，基板有可能会相对支架滑动，滑动过程中可能会形成静电，导致基板与散热片粘黏等不良后果，影响AMOLED显示设备的生产。同时设置间隙后，基板滑动范围增大，也增大了后续生产过程中基板破损的可能，对AMOLED显示设备的生产造成影响。

技术实现要素：

为了解决现有的基板传送装置在传送基板时基板会发生相对滑动的问题，本实用新型实施例提供了一种基板传送装置。所述技术方案如下：

本实用新型实施例提供了一种基板传送装置，所述基板传送装置包括支架和多个限位件，所述支架上设有基板承载区域，所述多个限位件中至少一个为活动限位件，所述活动限位件可移动地设置在所述支架上，使得所述多个限位件能够限定出不同的区域，且所述多个限位件限定出的最小区域位于所述基板承载区域中或者与所述基板承载区域重合，所述基板承载区域位于所述多个限位件限定出的最大区域中。

优选地，所述多个限位件包括第一组限位件和第二组限位件，每组限位件包括至少一个所述活动限位件，所述基板承载区域位于所述第一组限位件和第二组限位件之间。

优选地，所述多个限位件包括第一组限位件、第二组限位件、第三组限位件和第四组限位件，每组限位件包括至少一个所述活动限位件，在第一方向上，所述基板承载区域位于所述第一组限位件和所述第二组限位件之间，在第二方向上，所述基板承载区域位于所述第三组限位件和所述第四组限位件之间，所述第一方向与所述第二方向垂直。

进一步地，所述基板承载区域呈多边形，所述活动限位件安装在所述基板承载区域的角处，所述活动限位件具有与对应的角的两条邻边一一对应设置的第一限位部和第二限位部。

优选地，所述多个限位件中至少一个为固定限位件，所述固定限位件位于所述基板承载区域外，并且所述固定限位件位于所述多个限位件限定出的最大区域内或者位于所述多个限位件限定出的最大区域的边界处。

优选地，所述传送装置还包括用于驱动所述活动限位件移动的驱动机构，所述驱动机构与所述活动限位件一一对应设置。

可选地，所述驱动机构包括用于驱动所述活动限位件移动的第一磁性件和第二磁性件，所述第一磁性件设置在所述活动限位件上，所述第二磁性件设置在所述支架上，所述第一磁性件和所述第二磁性件中的至少一个为电磁铁。

优选地，所述传送装置还包括至少一对止挡件，每个所述活动限位件的移动轨迹上设置有一对所述止挡件。

进一步地，每对所述止挡件在对应的所述活动限位件的移动轨迹上的间距可调。

可选地，所述支架上还设置有导轨，所述活动限位件通过所述导轨安装在所述支架上。

本实用新型实施例提供的技术方案带来的有益效果是：通过将多个限位件设置成包括至少一个活动限位件的形式，活动限位件可移动地设置在支架上，使得多个限位件在支架上限定出不同的区域，通过调节活动限位件的位置可以改变限位件限定出的区域的大小，在基板被放置到基板承载区域前，通过移动限位件，增大限位件与基板承载区域的边缘的间距，使限位件限定出的区域增大，方便基板放置到支架上，在基板被放置到基板承载区域后，通过移动限位件，减小限位件与基板承载区域的边缘的间距，使限位件限定的区域减小，使限位件与基板更近，以对基板进行限位，避免基板被放置到支架上时压住限位件，同时在传送过程中，限制基板朝该限位件所在的方向滑动。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的一种基板传送装置的结构图；

图2是图1所示的基板传送装置的另一种状态示意图；

图3是本实用新型实施例提供的另一种基板传送装置的结构示意图；

图4是本实用新型实施例提供的另一种基板传送装置的结构示意图；

图5是本实用新型实施例提供的另一种基板传送装置的结构示意图；

图6是本实用新型实施例提供的另一种基板传送装置的结构示意图；

图7是本实用新型实施例提供的另一种基板传送装置的结构示意图；

图8是图6中沿C-C的截面图；

图9是本实用新型实施例提供的另一种驱动机构的结构示意图；

图10是图9中沿D-D的截面图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地详细描述。

图1是本实用新型实施例提供的一种基板传送装置的结构图，如图1所示，该基板传送装置包括支架20和多个限位件30，支架20上设有基板承载区域20a，多个限位件30中至少一个为活动限位件31。活动限位件31可移动地设置在支架20上，使得多个限位件30能够限定出不同的区域。

图2是图1所示的基板传送装置的另一种状态示意图，如图2所示，活动限位件31相对于图1移动到支架20上的另一位置，多个限位件30限定出区域30b，区域30b比区域30a小。

在本实施例中，多个限位件30限定出的最小区域(如图2所示中的区域30b)与基板承载区域20a重合。基板承载区域20a位于多个限位件30限定出的最大区域(如图1所示中的区域30a)中。

由于基板传送装置所传送的基板的面积小于或等于基板承载区域20a，因此在其他实施例中，多个限位件30限定出的最小区域也可以位于基板承载区域20a中，即活动限位件31可以移动到基板承载区域20a内，从而由多个限位件30限定出一个比基板承载区域20a更小的区域。

本实用新型实施例提供的技术方案带来的有益效果是：通过将多个限位件设置成包括至少一个活动限位件的形式，活动限位件可移动地设置在支架上，使得多个限位件在支架上限定出不同的区域，通过调节活动限位件的位置可以改变限位件限定出的区域的大小，在基板被放置到基板承载区域前，通过移动限位件，增大限位件与基板承载区域的边缘的间距，使限位件限定出的区域增大，方便基板放置到支架上，在基板被放置到基板承载区域后，通过移动限位件，减小限位件与基板承载区域的边缘的间距，使限位件限定的区域减小，使限位件与基板更近，以对基板进行限位，避免基板被放置到支架上时压住限位件，同时在传送过程中，限制基板朝该限位件所在的方向滑动。

示例性地，基板承载区域20a可以呈多边形。基板通常呈矩形，矩形的基板更容易加工，为了便于传送矩形的基板，本实用新型实施例中的基板承载区域20a呈矩形。

示例性地，支架20上对应基板承载区域20a的每条边都可以设置1～3个限位件30，以对基板进行限位，对应同一条边设置的限位件30可以沿该条边等间距设置。

容易想到的是，基板承载区域20a的形状可以根据实际所要传送的基板的形状设置，例如还可以是圆形、椭圆形等。

如图1所示，多个限位件中至少一个为固定限位件32，即多个限位件中有部分为固定限位件32，还有部分为活动限位件31，固定限位件32位于基板承载区域20a外，并且固定限位件32位于多个限位件30限定出的最大区域内30a或者位于多个限位件30限定出的最大区域30a的边界处。固定限位件32也可以对基板进行限位，固定限位件32相比于活动限位件31更容易制作，这样只将多个限位件30中的一部分设置为活动限位件31，可以减少制作成本。

容易想到的是，在其他实施例中，限位件30可以都为活动限位件。

示例性地，如图3所示，多个限位件30可以包括第一组限位件301和第二组限位件302。其中，每组限位件均包括至少一个活动限位件31，基板承载区域位20a于第一组限位件301和第二组限位件302之间。由于基板传送装置在移动基板时至少要沿着一个方向移动，在开始移动和停止移动时基板都有可能由于惯性而在支架20上滑动，通过设置两组限位件，且基板承载区域位于两组限位件之间，从而可以移动该两组限位件中的活动限位件31，通过两个活动限位件31共同对基板进行限位，可以避免基板滑动。在本实施例中，每组限位件包括两个活动限位件31，在其他实施例中，每组限位件也可以包括更多的活动限位件31，此外，每组限位件中的活动限位件31的数量可以相等也可以不相等。

图4是本实用新型实施例提供的另一种基板传送装置的结构示意图，如图4所示，多个限位件30还可以包括第三组限位件303和第四组限位件304，每组限位件均包括至少一个活动限位件31，在第一方向(如图4中的A向)上，基板承载区域20a位于第一组限位件301和第二组限位件302之间，在第二方向(如图4中的B向)上，基板承载区域20a位于第三组限位件303和第四组限位件304之间，第一方向与第二方向垂直。由于在第一方向上，基板承载区域20a位于第一组限位件301和第二组限位件302之间，在第二方向上，基板承载区域位于第三组限位件303和第四组限位件304之间，且每组限位件中至少包括一个活动限位件31，从而在基板放置到支架20上，四个活动限位件31都向基板移动后，通过四个活动限位件31从四个方向对基板进行限位，可以进一步避免基板在支架20上移动。在本实施例中，第三组限位件303和第四组限位件304均包括1个活动限位件31，在其他实施例中，第三组限位件303和第四组限位件304也可以包括更多的活动限位件31，此外，第三组限位件303和第四组限位件304中的活动限位件31的数量可以相等也可以不相等。

示例性地，图5是本实用新型实施例提供的另一种基板传送装置的结构示意图(图中虚线结构表示的活动限位件31为活动限位件31处于另一位置时的状态)，如图5所示，活动限位件31安装在基板承载区域20a的角处，活动限位件31具有与对应的角的两条邻边一一对应设置的第一限位部31a和第二限位部31b。第一限位部31a和第二限位部31b可以分别对基板的两条邻边进行限位，这样可以减少活动限位件31的数量，简化结构，便于制作。设置在角处的活动限位件31的移动轨迹可以沿基板承载区域20a的角的角平分线方向。

如图5所示，在矩形的基板承载区域20a的四个角处分别设置有一个活动限位件31，且该活动限位件31具有与矩形的基板承载区域20a的两条邻边一一对应设置的第一限位部31a和第二限位部31b。在本实施例中，第一限位部31a和第二限位部31b为相连的两块挡板，第一限位部31a和第二限位部31b在支架20上的正投影呈L形，且第一限位部31a和第二限位部31b相互垂直，这样可以对基板的角处进行限位，通过一个活动限位件31就可以限制基板在两个方向上的移动。

容易理解的是，当基板承载区域20a呈正五边形时，第一限位部31a和第二限位部31b之间所成的夹角为108°，当基板承载区域20a呈正六边形时，第一限位部31a和第二限位部31b之间所成的夹角为120°，当基板承载区域20a呈多边形，但内角不都相等时，第一限位部31a和第二限位部31b所成的夹角与该活动限位件31所对应的角的大小相等。

此外，也可以只在基板承载区域20a的部分角处设置活动限位件31，本实用新型并不以此为限。此外，还可以同时在基板承载区域20a的边和角处设置活动限位件31。

图1～图5所示的基板传送装置的支架可以为平板结构，图6和图7均为本实用新型实施例提供的另一种基板传送装置的结构示意图，如图6或图7所示，支架20也可以是多根条形板21连接而成的平面框架结构，这样可以减小支架20的重量。活动限位件31可以设置在条形板21上。

图6所示的基板传送装置包括8个活动限位件31，在其他实施例中也可以设置其他数量的活动限位件，例如图1中的基板传送装置包括4个活动限位件31，图4中的基板传送装置包括6个，活动限位件31的数量可以根据具体需要进行设置，本实用新型并不以此为限。

示例性地，限位件30可以采用Peek(polyetheretherketone，聚醚醚酮)制成。

基板传送装置还可以包括用于驱动活动限位件移动的驱动机构，驱动机构与活动限位件31一一对应设置。通过设置驱动机构以驱动活动限位件31移动，可以方便进行基板的传送。

以图6所示的基板传送装置为例，图8是图6中沿C-C的截面图，如图8所示，驱动机构可以包括用于驱动活动限位件31移动的第一磁性件41和第二磁性件42，第一磁性件41设置在活动限位件31上，第二磁性件42设置在支架20上，第一磁性件41和第二磁性件42中的至少一个为电磁铁。通过第一磁性件41和第二磁性件42之间的排斥或吸引驱动活动限位件31移动，易于控制，动作灵敏，结构简单，同时电磁铁的磁极易于改变，且磁力大小也易于改变，可以便于控制活动限位件31移动。

如图8所示，支架20上可以设置有凹槽20b，驱动机构设置在凹槽20内，可以避免驱动机构影响基板的取放，结构更加紧凑，有利于减小基板传送装置的体积。

具体地，活动限位件31可以包括位于凹槽20b内的滑块311和位于凹槽20b外的挡块312，挡块312设置在滑块311上。第一磁性件41设置在滑块311上，第二磁性件42固定在支架20上，且位于凹槽20b的内部，第一磁性件41和第二磁性件42沿活动限位件31的移动轨迹排列。第一磁性件41和第二磁性件42中的至少一个可以为电磁铁，这样就可以利用同名磁极相互排斥，异名磁极相互吸引的性质使第一磁性件41相对于第二磁性件42发生移动，从而带动滑块311移动。

在传送基板时，挡块312与基板10的边缘的最小间距d可以为0～0.5mm。

图9是本实用新型实施例提供的另一种驱动机构的结构示意图，如图9所示，该驱动机构可以包括铁块47、电磁铁48和复位弹簧46，铁块47可以设置在滑块311上，电磁铁48固定在支架20上，且位于凹槽20b的内部，铁块47和电磁铁48沿活动限位件31的移动轨迹排列。复位弹簧46的一端连接在滑块311上，另一端固定在凹槽20b的内壁上，复位弹簧46对滑块311的拉力与电磁铁448对铁块47的吸引力方向相反，这样在对电磁铁48通电时，电磁铁48吸引铁块47，铁块47与电磁铁48的间距缩小，从而带动活动限位件31移动，当电磁铁48断电时，复位弹簧46拉动滑块311，铁块47与电磁铁48的间距增大，活动限位件31在复位弹簧46的作用下移动复位。

需要说明的是，图8和图9所示的两种驱动机构均可以适用于图1～图7所示的任一种基板传送装置，且这两种驱动机构的结构仅为举例，在实现本实用新型时还可以采用其它结构的驱动机构以驱动活动限位件。

容易想到的是，铁块46也可以采用钴或镍等其他可以被磁铁吸引的物质替代，此处仅为举例。

示例性地，电磁铁的铁芯可以是软铁或是硅钢。软铁和硅钢会在电磁铁的线圈通电时被磁化而具有磁性，而在线圈断电后会立刻退磁，磁性消失。若采用硬铁作为铁芯，则在线圈断电后铁芯仍会带有磁性，从而影响对活动限位件的控制。易于理解的，电磁铁的磁性大小可以通过改变线圈中电流的大小或线圈的匝数进行调节，以便于准确对活动限位件31进行控制。

进一步地，支架20上还可以设置有导轨45，活动限位件31通过导轨45安装在支架20上。通过设置导轨45可以使活动限位件31的移动更加平稳，同时可以对活动限位件31的移动轨迹进行限制。

导轨45可以设置在凹槽20b内，使导轨45不高出支架20的表面，这样可以使支架20的表面更加平整，便于基板的放置。

示例性地，图10是图9中沿D-D的截面图，如图10所示，导轨45可以包括平行间隔设置的两根杆件451，活动限位件31夹设在两根杆件451之间，活动限位件31上对应两根杆件451的位置可以分别设置一个凹槽311a，这样可以防止活动限位件31与导轨45分离。

当基板传送装置的支架为平面框架结构时(例如图6或图7中的支架)，导轨45可以沿条形板21的延伸方向设置。

需要说明的是，图10所示的杆件451的截面形状仅为举例，在其他实施例中，杆件451的截面也可以是圆形、半圆形等，本实用新型并不以此为限。

进一步地，传送装置还可以包括至少一对止挡件(如图8中的止挡件43和止挡件44)，每个活动限位件31的移动轨迹上设置有一对止挡件，通过设置止挡件以对活动限位件31的移动范围做出限制，便于基板的传送。

在本实施例中，止挡件设置在凹槽20b的内壁上，在其他实施例中，止挡件也可以设置在导轨45上。容易想到的是，当止挡件设置在导轨45上时，止挡件位于凹槽内，以使止挡件不高出支架20的表面。

可选地，每对止挡件在对应的活动限位件的移动轨迹上的间距可调。从而可以通过调节止挡件43和止挡件44的间距，改变活动限位件31的移动范围，以适应不同的需要。

示例性地，每个止挡件均可以包括调距螺栓，调距螺栓与凹槽20b的内壁螺纹连接，这样可以通过拧动调距螺栓，改变调距螺栓露出凹槽20b的内壁的长度，从而可以对活动限位件31的移动范围进行调节。调距螺栓可以是金属螺栓或是塑料螺栓。

容易想到的是，活动限位件31上可以设置有与止挡件相互配合的结构，具体可以在滑块311上设置凸块313和凸块314，在活动限位件31移动时，凸块313和凸块314分别与止挡件43和止挡件44配合，以起到限制活动限位件31的移动范围的作用。

第一磁性件41也可以设置在凸块313上，复位弹簧46可以与凸块313连接，这样可以简化活动限位件31的结构，易于制作。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。