一种自动校正装置的制作方法

文档序号:25807423发布日期:2021-07-09 13:08阅读:94来源:国知局
一种自动校正装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种校正装置,特别是涉及一种自动硅片校正装置。


背景技术:

2.现有的硅片校正机构,多采用气缸推动,如图1所示,当输送机将硅片到达校正位置时停止运行,夹紧气缸缩回,带动两侧的校正轮向内收缩校正夹紧硅片,夹紧气缸打开,输送机把硅片输送走。但是,其每次只能校正一片硅片,且效率低下;若采用多道输送线输送,会导致气缸过多,采购成本增加,气缸行程一定,导致硅片校正只有一种,且安装空间受限。


技术实现要素:

3.实用新型目的:本实用新型的目的是提供一种自动校正装置,校正效率高,使用效果好。
4.技术方案:本实用新型的自动校正装置,包括同步带传动机构,同步带的两侧均固定连接有连接件,位于两侧的连接件均固定连接有校正组件。同步带正转,带动位于两侧的校正组件向中间移动;同步带反转,带动位于两侧的校正组件向外侧移动;进而实现硅片的校正夹紧和校正打开。
5.优选地,校正组件包括平行设置的第一校正组件和第二校正组件。
6.优选地,校正组件的下方设有滑轨,位于两侧的连接件均固定连接有滑块,滑块在滑轨上滑动,滑块和滑轨适配。
7.其中,滑轨和校正组件相平行,滑轨位于两侧同步带之间,因此无需占用太大的安装空间。
8.优选地,每个校正组件上均设有校正柱,有利于硅片的校正。
9.其中,校正柱固定安装于校正组件上方,并呈竖向设置,提高校正的精度。
10.其中,位于两侧校正组件上的校正柱交错设置于校正组件的上方。
11.其中,该自动校正装置还包括驱动电机,驱动电机驱动同步带运动;也可采用现有技术中其它驱动装置。
12.优选地,校正组件上设有若干组相配合的校正柱,每组校正柱之间的距离可调。
13.实用新型原理:本实用新型采用驱动装置和同步带传动机构,在驱动装置的驱动下,同步带进行正转和反转,连接件与同步带、校正组件固定连接,同步带运动的同时带动两侧的校正组件向内侧和外侧移动,校正组件上设有相配合的校正柱,实现硅片的夹紧校正和校正后松开。
14.有益效果:本实用新型的自动校正装置,可以一次性校正多道输送机硅片,大大提高了校正效率;且无需气缸,减少了气源提供,无气路管线,安装空间不受限;校正的硅片大小可变,无需更换校正设备。
附图说明
15.图1是现有的校正装置示意图;
16.图2是本实用新型的校正装置示意图;
17.图3是本实用新型的校正装置底部示意图;
18.图4是校正装置的俯视图;
19.图5是校正装置的主视图;
20.图6是图5的a

a剖视图;
21.图7是图5的b

b剖视图。
具体实施方式
22.下面结合实施例对本实用新型进一步地详细描述。
23.如图2~7所示,图2为本实用新型的校正装置示意图,包括底座1、同步带传动机构和校正组件,同步带传动机构包括步进电机2、与步进电机输出轴连接的主动轮、从动轮以及张紧于两轮之间的同步带3。步进电机2位于底座1下方且与plc相连,底座2上设有供步进电机输出轴通过的通孔。
24.同步带3的两侧均固定连接有连接件,记为第一连接件4和第二连接件5;校正组件位于同步带传动机构的上方,包括相互平行的第一校正组件6和第二校正组件7,第一连接件4与第一校正组件6固定连接,第二连接件5与第二校正组件7固定连接,可采用螺栓连接。底座1上还固定设有直线型滑轨8,滑轨8位于两侧的同步带3之间,滑轨8上设有适配的滑块,包括第一滑块9和第二滑块10,滑块沿滑轨滑动,且滑块与连接件通过螺栓固定连接,即:第一滑块9和第一连接件4相连,第二滑块10和第二连接件5相连。其中,滑轨8与校正组件、两侧的同步带3相平行。启动步进电机2,带动同步带3正转,位于两侧的校正组件向中间移动;同步带3反转,位于两侧的校正组件向外侧移动。
25.每个校正组件的上方均固定设有四排校正柱,校正柱均呈竖向设置。第一校正组件6上固定设有第一校正柱11、第三校正柱13、第五校正柱15、第七校正柱17,第二校正组件7上固定设有第二校正柱12、第四校正柱14、第六校正柱16、第八校正柱18;安装时按照从左至右为第一校正柱11、第二校正柱12、第三校正柱13、第四校正柱14、第五校正柱15、第六校正柱16、第七校正柱17、第八校正柱18的顺序进行安装,即:使得位于两侧校正组件上的校正柱交错设置于校正组件的上方。其中,分别位于两个校正组件上且相邻的校正柱构成一组校正柱,即:第一校正柱11和第二校正柱12构成一组,第三校正柱13和第四校正柱14构成一组,以此类推,共构成四组校正柱。同步带3正转,第一校正组件和6第二校正组件7向内侧滑动,每组校正柱之间的距离缩小,实现硅片夹紧;同步带3反转,第一校正组件6和第二组件组件7向外侧滑动,每组校正柱之间的距离增大,实现硅片松开。且每组校正柱之间的距离可根据实际生产需要进行调节,从而实现不同规格硅片的校正工序。
26.本实用新型的校正流程为:当输送机硅片流入到校正区域时,此时步进电机正转,带动同步带旋转,此时滑块上锁附的连接件与同步带固定,同步带两侧通过连接件,各锁附到两个滑块上,连接件带动校正柱往中间移动,通过plc调节步进电机,恰好达到夹紧硅片位置,起到校正结果;校正结束后,电机反转,校正打开,硅片通过。
27.相较于现有的校正装置,如图1所示采用气缸推动,当输送机将硅片到达校正位置
时停止运行,夹紧气缸19缩回,带动两侧的校正轮20向内收缩校正夹紧硅片;夹紧气缸19打开,输送机把硅片输送走。本实用新型的自动校正装置,可以一次性校正多道输送机硅片,大大提高了校正效率;无需气缸,减少了气源提供,无气路管线,安装空间不受限;校正的硅片大小可变,无需更换校正设备。
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