基板移送单元及具备基板移送单元的划线装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种移送基板的基板移送单元及具备基板移送单元的划线装置。


背景技术：

2.一般而言，在用于平板显示器的液晶显示面板、有机电致发光显示器面板、无机电致发光显示器面板、透射投影基板、反射投影基板等中使用从玻璃之类脆性母玻璃面板(以下，称为“基板”)切割成预定尺寸的单位玻璃面板(以下，称为“单位基板”)。
3.将基板切割为单位基板的工艺包括沿成为基板的切割基准的切割计划线使金刚石之类材质的划线轮加压于基板并移动而在基板形成划线的划线工艺。
4.在这种划线工艺中，在基板被带支承的状态下基板的后随端被夹具装置夹持后向划线单元移送。
5.夹具装置一般而言具备一对夹紧部件。在基板位于一对夹紧部件之间的状态下，随着一对夹紧部件以彼此相邻的方式移动，基板被一对夹紧部件夹持。
6.另一方面，划线装置有时需要执行切割具有多种厚度的多种基板的工艺。但是，在以往的夹具装置的情况下，存在每当基板的厚度变更时为了稳定地夹持基板而需要进行使夹具装置整体高度与基板的厚度相对应的变更的追加性作业的缺点。


技术实现要素：

7.本实用新型的目的在于提供一种即使在基板的厚度变更的情况下也无需进行使夹具装置整体高度与基板的厚度相对应的变更的追加性作业，并能够稳定地夹持基板的基板移送单元及具备基板移送单元的划线装置。
8.用于达到上述目的的本实用新型的实施例提供一种基板移送单元可以包括：支承台，构成为支承基板；框架，设置于支承台的上方，并构成为向移送基板的方向移动；以及夹具装置，安装于框架，并构成为夹持基板，夹具装置可以包括：第一夹紧部件，具有支承基板的第一面的基板支承面，并以能够转动的方式连接于转动轴；第二夹紧部件，具有支承基板的第二面的基板支承面；以及致动器，通过驱动力传递部件及驱动力传递杆连接于第一夹紧部件，并构成为使第一夹紧部件以转动轴为中心旋转。
9.可以是，第一夹紧部件的朝向基板的前端弯曲。
10.在框架可以安装有多个夹具装置，构成多个夹具装置的多个致动器内部的压力可以通过一个调节器来调节。
11.可以是，在第一夹紧部件的基板支承面或第二夹紧部件的基板支承面附着有支承垫，支承垫由与基板相比具有大弹力的材料形成。
12.可以是，支承在第一夹紧部件的基板支承面上的基板的第一面的支承面积与支承在第二夹紧部件的基板支承面上的基板的第二面的支承面积相比小。
13.另外，根据本实用新型的实施例提供一种基板移送单元可以包括：支承台，构成为支承基板；框架，设置于支承台的上方，并构成为向移送基板的方向移动；以及夹具装置，安
装于框架，并构成为夹持基板，夹具装置可以包括：第一夹紧部件，具有支承基板的第一面的基板支承面，并以能够转动的方式连接于第一转动轴；第二夹紧部件，具有支承基板的第二面的基板支承面；第一致动器，通过第一驱动力传递部件及第一驱动力传递杆连接于第一夹紧部件，并构成为使第一夹紧部件以第一转动轴为中心旋转；以及姿态保持单元，以使第一夹紧部件的基板支承面与第二夹紧部件的基板支承面平行的方式，保持第一夹紧部件的姿态。
14.第一驱动力传递杆可以通过第二转动轴连接于第一夹紧部件，姿态保持单元可以包括第二致动器，第二致动器通过第二驱动力传递部件及第二驱动力传递杆连接于第一夹紧部件，并构成为使第一夹紧部件以与第一转动轴及第二转动轴隔开的第三转动轴为中心旋转。
15.可以是，第一致动器内部的压力及第二致动器内部的压力通过相同的调节器来调节。
16.在框架可以安装有多个夹具装置，构成多个夹具装置的多个致动器内部的压力及多个第二致动器内部的压力可以通过一个调节器来调节。
17.另外，根据本实用新型的实施例提供一种划线装置可以包括上述的基板移送单元。
18.根据本实用新型的实施例的基板移送单元，对应于基板的厚度来调节第一致动器内部的压力，从而能够调节第一夹紧部件的第一基板支承面与第二夹紧部件的第二基板支承面之间的隔开距离。因此，即使在基板的厚度变更的情况下也无需进行使夹具装置整体高度与基板的厚度对应的变更的追加性作业，并能够稳定地夹持基板。因此，能够减少作业工艺数量，能够稳定地执行对基板的预定的处理工艺。另外，通过调节第二致动器内部的压力，能够将第一夹紧部件的第一基板支承面的姿态水平保持。因此，在调节了第一夹紧部件的第一基板支承面与第二夹紧部件的第二基板支承面之间的隔开距离的情况下，也能够将第一夹紧部件的第一基板支承面的姿态水平保持，由此能够增加支承在第一夹紧部件的第一基板支承面的基板的第一面的支承面积，由此，能够更稳定地夹持基板。
附图说明
19.图1是示出本实用新型的第一实施例的基板移送单元的俯视图。
20.图2是概略示出本实用新型的第一实施例的基板移送单元的侧视图。
21.图3是概略示出本实用新型的第一实施例的基板移送单元的其它例的侧视图。
22.图4是概略示出具备本实用新型的第一实施例的基板移送单元的划线装置的侧视图。
23.图5是概略示出本实用新型的第一实施例的基板移送单元所具备的夹具装置的图。
24.图6及图7是概略示出本实用新型的第一实施例的基板移送单元所具备的夹具装置的工作状态的图。
25.图8是概略示出本实用新型的第二实施例的基板移送单元所具备的夹具装置的图。
26.图9及图10是概略示出本实用新型的第三实施例的基板移送单元所具备的夹具装
置的图。
27.图11是概略示出本实用新型的第四实施例的基板移送单元所具备的夹具装置的图。
28.图12及图13是概略示出本实用新型的第四实施例的基板移送单元所具备的夹具装置的工作状态的图。
29.附图标记说明
30.10：基板移送单元；20：基板传送单元；30：划线单元；50：夹具装置；51：底座；52：夹紧单元；53：驱动单元；54：姿态保持单元。
具体实施方式
31.以下，参照附图，说明本实用新型的实施例的基板移送单元及具备基板移送单元的划线装置。
32.通过本实用新型的实施例的具备基板移送单元的划线装置进行切割的对象可以是第一基板和第二基板粘连而成的粘连基板。例如，第一基板可以具备薄膜晶体管，第二基板可以具备滤色器。与此相反，第一基板可以具备滤色器，第二基板可以具备薄膜晶体管。以下，将粘连基板简称为基板，将第一基板的向外部暴露的表面称为第一面，将第二基板的向外部暴露的表面称为第二面。
33.另外，将移送要执行切割基板的工艺的基板的方向定义为y轴方向，将与移送基板的方向(y轴方向)垂直的方向定义为x轴方向。而且，将与放置基板的x
‑
y平面垂直的方向定义为z轴方向。
34.如图1及图2所示，本实用新型的第一实施例的基板移送单元10可以包括：支承基板s(参见图5)的支承台11；夹持支承在支承台11上的基板s的后随端的夹具装置50；与夹具装置50连接并沿x轴方向延伸的框架13；与框架13连接并沿y轴方向延伸的第一导轨14；与划线单元30(参见图4)相邻布置，并将基板s悬浮或吸附来支承的第一平板15(参见图4)；以及将夹具装置50选择性连接于支承台11的连接组件16。
35.第一平板15可以构成为能够将基板s悬浮或吸附。例如，在第一平板15的表面可以形成与气体供给源及真空源连接的多个狭缝。在从气体供给源向第一平板15的多个狭缝供给气体的情况下，基板s能够从第一平板15悬浮。另外，在通过真空源形成的负压下经由第一平板15的多个狭缝抽吸气体的情况下，基板s能够吸附于第一平板15。
36.在基板s从第一平板15悬浮的状态下，基板s能够与第一平板15无摩擦地移动。而且，于在基板s的第一面及第二面形成划线的过程中，基板s能够吸附并固定于第一平板15。
37.支承台11能够沿y轴方向往复移动。随着支承台11沿y轴方向移动，支承在支承台11上的基板s能够沿y轴方向移动。支承台11可以由真空台、带等能够将基板s支承的同时水平移动的各种结构构成。
38.支承台11可以由具有基板s整体面积以上面积的一个带构成。在支承台11由带构成的情况下，支承台11被多个滑轮111支承。多个滑轮111中至少一个可以是提供使支承台11旋转的驱动力的驱动滑轮。
39.支承台11可以具有支承基板s的第一面或第二面的支承面。在支承台11的支承面可以形成有插入并容纳夹具装置50的容纳部112。可以是多个容纳部112对应于多个夹具装
置50沿x轴方向布置。容纳部112的数量可以与夹具装置50的数量相同。容纳部112可以以将支承台11沿z轴方向贯穿的贯穿孔的形态形成。只是，本实用新型不限定于此，在支承台11厚的情况下，容纳部112可以以不贯穿支承台11而以在支承台11凹陷形成的槽形态形成。在容纳部112以贯穿孔或凹陷槽的形态形成的情况下，能够防止容纳部112与基板s之间的干涉。
40.作为一例，夹具装置50可以选择性地容纳于容纳部112。即，夹具装置50可以沿z轴方向移动的同时容纳于容纳部112或者与容纳部112隔开。作为其它例，夹具装置50可以持续保持容纳于容纳部112的状态。
41.作为其它例，如图3所示，支承台11可以构成为气体台。在此情况下，在基板s被夹具装置50夹持并通过气体台悬浮的状态下，随着夹具装置50沿y轴方向移动，基板s能够沿y轴方向移动。
42.在框架13与第一导轨14之间可以设置有在气压或液压下工作的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆之类直线移动机构。因此，在夹具装置50夹持基板s的后随端的状态下，随着框架13通过直线移动机构沿y轴方向移动，能够沿y轴方向移送基板s。此时，支承台11能够在与夹具装置50的移动同步移动的同时稳定地支承基板s。
43.另一方面，如图4所示，具备本实用新型的第一实施例的基板移送单元10的划线装置可以包括：用于在基板s形成划线的划线单元30；将基板s向划线单元30移送的基板移送单元10；将基板s从划线单元30向后续工艺移送的基板传送单元20；以及控制划线装置的构成要件的工作的控制单元(未图示)。
44.划线单元30构成为在基板s的第一面及第二面沿x轴方向分别形成划线。
45.划线单元30可以包括：沿x轴方向延伸的第一支承架31；在第一支承架31以能够沿x轴方向移动的方式设置的第一划线头32；在第一支承架31的下方与第一支承架31平行地沿x轴方向延伸的第二支承架33；以及在第二支承架33以能够沿x轴方向移动的方式设置的第二划线头34。
46.在第一支承架31可以沿x轴方向安装有多个第一划线头32，在第二支承架33可以沿x轴方向安装有多个第二划线头34。在第一支承架31与第二支承架33之间可以形成供基板s穿过的空间。第一支承架31及第二支承架33可以制造成独立部件来组装，或者可以制造成一体。
47.第一划线头32和第二划线头34可以沿z轴方向彼此相对布置。在第一划线头32及第二划线头34可以设置保持划线轮351的轮架35。安装于第一划线头32的划线轮351和安装于第二划线头34的划线轮351可以沿z轴方向彼此相对布置。
48.一对划线轮351可以分别加压于基板s的第一面及第二面。在一对划线轮351分别加压于基板s的第一面及第二面的状态下，第一划线头32及第二划线头34对基板s沿x轴方向相对移动，由此能够在基板s的第一面及第二面沿x轴方向形成划线。
49.另一方面，第一划线头32及第二划线头34可以构成为分别相对于第一支承架31及第二支承架33能够沿z轴方向移动。为此，在第一划线头32及第二划线头34与第一支承架31及第二支承架33之间可以设置有在气压或液压下工作的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆之类直线移动机构。
50.随着第一划线头32及第二划线头34分别相对于第一支承架31及第二支承架33沿z
轴方向移动，一对划线轮351加压于基板s或者与基板s隔开。而且，通过调节第一划线头32及第二划线头34沿z轴方向的移动的程度，能够调节一对划线轮351施加于基板s的加压力。另外，通过第一划线头32及第二划线头34沿z轴方向的移动，能够调节一对划线轮351对基板s的切削深度。
51.多个夹具装置50可以沿着框架13沿x轴方向布置。夹具装置50可以设置成随着沿框架13的延伸的引导件18能够沿x轴方向移动。为此，在夹具装置50与引导件18之间可以设置有在气压或液压下工作的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆之类直线移动机构。因此，随着多个夹具装置50通过直线移动机构沿x轴方向移动，能够调节多个夹具装置50之间的隔开。因此，多个夹具装置50恰当地对应于基板s的宽度来布置，从而能够稳定地夹持基板s。随着多个夹具装置50通过直线移动机构沿x轴方向移动，多个夹具装置50能够分别对应于支承台11的多个容纳部112而占位。
52.在夹具装置50与框架13之间可以具备使夹具装置50沿z轴方向移动的移动组件19。移动组件19可以适用在气压或液压下工作的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆之类直线移动机构。在基板s向支承台11运进或从支承台11运出时，夹具装置50通过移动组件19以与支承台11隔开的方式移动，由此，能够防止夹具装置50与基板s之间的干涉。
53.夹具装置50能够在通过移动组件19沿z轴方向移动的同时，容纳于支承台11的容纳部112或从容纳部112脱离。
54.在夹具装置50以与支承台11隔开的方式移动的状态下，夹具装置50能够与支承台11的容纳部112隔开。因此，在基板s向支承台11的运进的过程中，能够防止基板s与夹具装置50之间的干涉。
55.夹具装置50通过移动组件19沿z轴方向移动而能够容纳于支承台11的容纳部112内。由此，能够通过夹具装置50在与支承台11的支承面相同的高度夹持基板s。
56.基板传送单元20可以包括：与划线单元30相邻布置，并将基板s悬浮或吸附来支承的第二平板25；与第二平板25相邻布置的移送带21；以及使第二平板25及移送带21沿y轴方向往复移动的移动装置26。移动装置26起到使第二平板25及移送带21跟随沿y轴方向延伸的第二导轨24沿y轴方向往复移动的作用。移动装置26可以适用在气压或液压下工作的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆之类直线移动机构。
57.第二平板25和移送带21可以构成为能够一起沿y轴方向移动。即，第二平板25和移送带21可以构成为能够沿与移送基板s的方向平行的方向(y轴方向)一起移动。
58.在通过划线单元30在基板s的第一面及第二面分别形成划线时，第二平板25朝向第一平板15移动，由此，第一划线头32及第二划线头34能够位于第一平板15与第二平板25之间。在通过划线单元30在基板s的第一面及第二面分别形成划线时，第二平板25朝向第一平板15移动，因此能够将基板s稳定地支承于所有第一平板15及第二平板25。
59.移送带21可以具备多个，多个移送带21可以在x轴方向上彼此隔开。各个移送带21被多个滑轮211支承，多个滑轮211中至少一个可以是提供使移送带21旋转的驱动力的驱动滑轮。
60.第二平板25可以构成为能够将基板s悬浮或吸附。例如，在第二平板25的表面可以形成与气体供给源及真空源连接的多个狭缝。在从气体供给源向第二平板25的多个狭缝供
给气体的情况下，基板s能够从第二平板25悬浮。另外，在通过真空源形成的负压下经由第二平板25的多个狭缝抽吸气体的情况下，基板s能够吸附于第二平板25。
61.在基板s向第二平板25移送的过程中，向第二平板25的狭缝供给气体，由此，基板s能够与第二平板25无摩擦地移动。
62.而且，于在基板s的第一面及第二面形成划线的过程中，基板s能够吸附并固定于第二平板25。
63.而且，在基板s的第一面及第二面分别形成划线之后，在基板s吸附于第一平板15及第二平板25的状态下，第二平板25以远离第一平板15的方式移动，由此能够将基板s以划线为基准分割。
64.另一方面，在基板s从第二平板25向后续工艺移动的过程中，向第二平板25的狭缝供给气体，由此，基板s能够与第二平板25无摩擦地移动。
65.如图5至图7所示，夹具装置50包括底座51、夹紧单元52及驱动单元53。
66.底座51在框架13以能够分离的方式固定，由此，夹具装置50能够支承于框架13。在底座51以能够工作的方式安装有夹紧单元52。驱动单元53构成为使夹紧单元52工作。
67.夹紧单元52包括第一夹紧部件521、第二夹紧部件522、连接部件523、第一转动轴524及第二转动轴525。
68.第一夹紧部件521与第一转动轴524以能够转动的方式连接。第二夹紧部件522安装于底座51而其位置被固定。
69.第一夹紧部件521具备支承基板s的第一面的第一基板支承面5211。第二夹紧部件522具备支承与基板s的第一面相反的基板s的第二面的第二基板支承面5221。
70.在基板s位于第一夹紧部件521与第二夹紧部件522之间的状态下，第一夹紧部件521以靠近第二夹紧部件522的方式移动，由此能够通过第一夹紧部件521的第一基板支承面5211及第二夹紧部件522的第二基板支承面5221支承(夹持)基板s。
71.在第一基板支承面5211附着有第一支承垫526。在第二基板支承面5221具备第二支承垫527。第一支承垫526及第二支承垫527由聚氨酯等合成树脂形成。第一支承垫526及第二支承垫527是与基板s接触的部分，起到吸收当第一支承垫526及第二支承垫527与基板s接触时产生的冲击的作用。第一支承垫526及第二支承垫527可以与基板s相比具有更大的弹力。因此，第一支承垫526及第二支承垫527能够更稳定地夹持基板s。
72.尤其，如图7所示，在第一夹紧部件521及第二夹紧部件522夹持相对厚的基板s的情况下，以第一夹紧部件521的第一基板支承面5211相对于基板s的第一面倾斜预定角度的状态夹持基板s。在此情况下，由于与第一夹紧部件521接触的基板s的第一面的面积小，从而可能没有恰当地支承基板s。根据本实用新型的实施例，在第一基板支承面5211具备与基板s相比具有更大弹力的第一支承垫526，因此，在以第一基板支承面5211相对于基板s的第一面倾斜预定角度的状态夹持基板s的情况下，第一支承垫526也在以与基板s的形状符合的方式弹性变形的同时紧贴于基板s。因此，能够不从第一支承垫526滑移或脱离而无损伤地稳定地保持基板s。
73.尤其，在基板s为薄膜玻璃板的情况下，通过第一支承垫526及第二支承垫527的缓冲力，能够防止基板s的损伤。
74.连接部件523构成为将第一夹紧部件521连接于驱动单元53。连接部件523连接于
第一转动轴524及第二转动轴525。第一夹紧部件521通过连接部件523连接于第一转动轴524及第二转动轴525。连接部件523及第一夹紧部件521可以制造成一体或单独制造后组装成一体。连接部件523可以与第一夹紧部件521一起以第一转动轴524为中心转动。
75.第一转动轴524是固定于底座51的固定轴。第二转动轴525是跟随连接部件523的移动而移动的活动轴。
76.在底座51可以安装有转动轴支架513，第一转动轴524可以在转动轴支架513以能够旋转的方式支承。
77.驱动单元53包括第一致动器531、第一驱动力传递部件532、第一驱动力传递杆533、流体供给源534、调节器535、第一线路536、第二线路537、第一阀门538及第二阀门539。
78.第一致动器531起到向第一夹紧部件521提供驱动力的作用。第一致动器531通过第一致动器转动轴5313连接于底座51。第一致动器转动轴5313通过第一致动器转动轴支架515能够固定于底座51。第一致动器531可以具备朝向第一致动器转动轴5313延伸的转动轴块5314，转动轴块5314可以以能够转动的方式连接于第一致动器转动轴5313。
79.因此，在第一驱动力传递杆533前进或后退的过程中，第一致动器531能够以第一致动器转动轴5313为中心转动。
80.在第一致动器531的内部以能够往复移动的方式布置有第一驱动力传递部件532。第一致动器531具备：与第一线路536连接的第一端口5311；以及与第二线路537连接的第二端口5312。
81.第一阀门538构成为开放或关闭从流体供给源534经由第一线路536向第一端口5311相连的流路。第二阀门539构成为开放或关闭从流体供给源534经由第二线路537向第二端口5312相连的流路。
82.根据这种结构，随着流体经由第一线路536及第一端口5311向第一致动器531的内部流入，第一驱动力传递部件532能够向朝向夹紧单元52的方向移动。而且，随着流体经由第二线路537及第二端口5312向第一致动器531的内部流入，第一驱动力传递部件532能够向远离夹紧单元52的方向移动。如此，根据第一致动器531内部的压力，第一驱动力传递部件532能够移动。
83.第一驱动力传递杆533的一端连接于第一驱动力传递部件532，第一驱动力传递杆533的另一端通过第一连接头5331及第二转动轴525连接于连接部件523。第一驱动力传递杆533通过第二转动轴525以能够转动的方式连接于第一夹紧部件521。由此，第一驱动力传递部件532通过第一驱动力传递杆533、第一连接头5331、第二转动轴525及连接部件523连接于第一夹紧部件521。由此，第一致动器531的驱动力通过第一驱动力传递部件532、第一驱动力传递杆533、第一连接头5331、第二转动轴525及连接部件523提供至第一夹紧部件521。
84.根据第一致动器531内部的压力，第一驱动力传递部件532能够在第一致动器531内移动，通过第一驱动力传递部件532的移动，第一驱动力传递杆533能够移动，通过第一驱动力传递杆533的移动，连接部件523及第一夹紧部件521能够以第一转动轴524为中心转动。
85.第一夹紧部件521能够在以第一转动轴524为中心转动的同时，以靠近第二夹紧部件522的方式移动或以远离第二夹紧部件522的方式移动。
86.另一方面，第一驱动力传递杆533能够在前进或后退的同时，向相对于底座51远离或靠近的方向移动。可以在底座51具备第一导向组件511，以引导第一驱动力传递杆533相对于底座51的移动。例如，第一导向组件511可以由与第一驱动力传递杆533连接的导轨构成。
87.通过流体供给源534供给的流体可以是液体或气体。驱动单元53可以以液压式或气压式工作。
88.调节器535构成为调节向第一致动器531的内部供给的流体压力。通过调节器535，能够调节第一致动器531内部的压力。通过调节器535，能够将第一致动器531的内压保持一定。另外，通过调节器535，能够调节第一致动器531的内压。第一致动器531的内压可以根据基板s的厚度来决定，根据第一致动器531的内压，可以决定第一夹紧部件521与第二夹紧部件522之间的角度及第一驱动力传递杆533的引出角度。
89.在基板s位于第一夹紧部件521与第二夹紧部件522之间时，通过调节器535调节第一致动器531内部的压力，由此基板s的第一面能够接触于第一夹紧部件521的第一基板支承面5211而被加压。
90.如图6及图7所示，随着通过调节器535调节第一致动器531内部的压力，能够调节第一驱动力传递部件532在第一致动器531内部的位置。随着调节第一驱动力传递部件532的位置，能够调节第一夹紧部件521的转动角度。随着调节第一夹紧部件521的转动角度，能够调节第一夹紧部件521的第一基板支承面5211与第二夹紧部件522的第二基板支承面5221之间的隔开距离。如此，随着通过调节器535调节第一致动器531内部的压力，能够将第一夹紧部件521的第一基板支承面5211与第二夹紧部件522的第二基板支承面5221之间的隔开距离调节成与基板s的厚度对应。
91.另一方面，如图7所示，随着基板s的厚度增加，支承在第一夹紧部件521的第一基板支承面5211上的基板s的第一面的支承面积与支承在第二夹紧部件522的第二基板支承面5221上的基板s的第二面的支承面积相比小。
92.另一方面，在基板移送单元10具备多个夹具装置50的情况下，构成多个夹具装置50的多个第一致动器531内部的压力可以通过一个调节器535调节。因此，由于多个第一致动器531能够通过一个调节器535同时控制，因此能够通过多个夹具装置50均匀地夹持基板s。
93.根据本实用新型的第一实施例的基板移送单元，对应于基板s的厚度来调节第一致动器531内部的压力，从而能够调节第一夹紧部件521的第一基板支承面5211与第二夹紧部件522的第二基板支承面5221之间的隔开距离。因此，即使在基板s的厚度变更的情况下也无需进行使夹具装置50整体高度与基板s的厚度对应的变更的追加性作业，并能够稳定地夹持基板s。因此，能够减少作业工艺数量。另外，能够稳定地执行对基板s的预定的处理工艺，或者能够将基板s向后续工艺稳定地移送。
94.以下，参照图8，说明本实用新型的第二实施例的基板移送单元。对与前述的本实用新型的第一实施例中说明的部分相同的部分，标注相同的附图标记，省略对其的详细说明。
95.如图8所示，根据本实用新型的第二实施例的基板移送单元，第一夹紧部件521的朝向基板s的前端可以弯曲。
96.第一夹紧部件521的前端可以向基板s进入第一夹紧部件521与第二夹紧部件522之间的方向弯曲。
97.根据本实用新型的第二实施例的基板移送单元，在基板s进入第一夹紧部件521与第二夹紧部件522之间的过程中，在基板s的端部碰撞于第一夹紧部件521的前端的情况下，基板s的端部被引导于第一夹紧部件521的前端的弯曲部，从而也能够向第一夹紧部件521与第二夹紧部件522之间稳定地进入。另外，能够防止基板s的翘曲或破损。
98.以下，参照图9及图10，说明本实用新型的第三实施例的基板移送单元。对与前述的本实用新型的第一及第二实施例中说明的部分相同的部分，标注相同的附图标记，省略对其的详细说明。
99.如图9所示，第一驱动力传递杆533的延伸线el可以经过第一致动器转动轴5313的中心c5。作为其它例，第一驱动力传递杆533的延伸线el可以至少位于底座51与第一致动器转动轴5313的中心c5之间。
100.另外，如图10所示，在第一夹紧部件521的第一基板支承面5211与第二夹紧部件522的第二基板支承面5221彼此接触的状态下，第二转动轴525的中心c2与第一转动轴524的中心c1相比位于更靠近第一夹紧部件521及第二夹紧部件522的位置。
101.根据本实用新型的第三实施例的基板移送单元，能够防止脆性材料基板s的裂开、刮痕、戳印、破碎、破损、损伤等，第一夹紧部件521及第二夹紧部件522能够防止基板滑移或脱离而能够更稳定地夹持基板s。
102.另外，在第一夹紧部件521及第二夹紧部件522释放基板s时，能够防止基板s以附着于第一夹紧部件521的状态跟随第一夹紧部件521的移动抬起。
103.以下，参照图11至图13，说明本实用新型的第四实施例的基板移送单元。对与前述的本实用新型的第一至第三实施例中说明的部分相同的部分，标注相同的附图标记，省略对其的详细说明。
104.如图11至图13所示，根据本实用新型的第四实施例的基板移送单元，夹具装置50还包括将第一夹紧部件521以与第二夹紧部件522平行的状态保持的姿态保持单元54。
105.夹紧单元52还包括第三转动轴528及第四转动轴529。
106.第一夹紧部件521通过第三转动轴528以能够转动的方式连接于连接部件523。因此，在连接部件523以第一转动轴524为中心旋转的状态下，第一夹紧部件521能够通过姿态保持单元54相对于连接部件523以第三转动轴528为中心旋转。由此，能够将第一夹紧部件521的姿态水平保持。
107.第一夹紧部件521通过第四转动轴529连接于姿态保持单元54。
108.第三转动轴528及第四转动轴529是跟随第一夹紧部件521的移动而移动的活动轴。
109.姿态保持单元54包括第二致动器541、第二驱动力传递部件542及第二驱动力传递杆543。
110.第二致动器541起到向第一夹紧部件521提供驱动力的作用。第二致动器541通过第二致动器转动轴5413连接于底座51。第二致动器转动轴5413可以通过第二致动器转动轴支架516固定于底座51。第二致动器541可以具备朝向第二致动器转动轴5413延伸的转动轴块5414，转动轴块5414可以以能够转动的方式连接于第二致动器转动轴5413。
111.因此，在第二驱动力传递杆543前进或后退的过程中，第二致动器541能够以第二致动器转动轴5413为中心转动。
112.在第二致动器541的内部以能够往复移动的方式布置有第二驱动力传递部件542。第二致动器541具备：与第一线路536连接的第一端口5411；以及与第二线路537连接的第二端口5412。
113.第一阀门538构成为开放或关闭从流体供给源534经由第一线路536向第一端口5411相连的流路。第二阀门539构成为开放或关闭从流体供给源534经由第二线路537向第二端口5412相连的流路。
114.根据这种结构，随着流体经由第一线路536及第一端口5411向第二致动器541的内部流入，第二驱动力传递部件542能够向朝向夹紧单元52的方向移动。而且，随着流体经由第二线路537及第二端口5412向第二致动器541的内部流入，第二驱动力传递部件542能够向远离夹紧单元52的方向移动。如此，基于第二致动器541内部的压力，第二驱动力传递部件542能够移动。
115.第二驱动力传递杆543的一端连接于第二驱动力传递部件542，第二驱动力传递杆543的另一端通过第二连接头5431及第四转动轴529连接于第一夹紧部件521。第二驱动力传递杆543通过第四转动轴529以能够转动的方式连接于第一夹紧部件521。由此，第二驱动力传递部件542通过第二驱动力传递杆543、第二连接头5431及第四转动轴529连接于第一夹紧部件521。由此，第二致动器541的驱动力通过第二驱动力传递部件542、第二驱动力传递杆543、第二连接头5431及第四转动轴529提供至第一夹紧部件521。
116.根据第二致动器541内部的压力，第二驱动力传递部件542能够在第二致动器541内移动。通过第二驱动力传递部件542的移动，第二驱动力传递杆543能够移动。通过第二驱动力传递杆543的移动，第一夹紧部件521能够以第四转动轴529为中心转动的同时，相对于连接部件523以第三转动轴528为中心转动。第一夹紧部件521以第四转动轴529为中心转动的同时，相对于连接部件523以第三转动轴528为中心转动，由此第一夹紧部件521的姿态水平保持，由此，第一夹紧部件521的第一基板支承面5211与第二夹紧部件522的第二基板支承面5221能够彼此平行。
117.另一方面，第二驱动力传递杆543能够在前进或后退的同时，向相对于底座51远离或靠近的方向移动。可以在底座51具备第二导向组件512，以引导第二驱动力传递杆543相对于底座51的移动。例如，第二导向组件512可以由与第二驱动力传递杆543连接的导轨构成。
118.流体供给源534及调节器535可以连接于第一致动器531及第二致动器541。在此情况下，第一线路536连接于第一致动器531的第一端口5311及第二致动器541的第一端口5411。而且，第二线路537连接于第一致动器531的第二端口5312及第二致动器541的第二端口5412。
119.因此，调节器535构成为调节向第一致动器531内部供给的流体的压力及向第二致动器541内部供给的流体的压力。通过调节器535，能够调节第一致动器531内部的压力及第二致动器541内部的压力。通过调节器535，能够将第一致动器531及第二致动器541的内压保持一定。另外，通过调节器535，能够调节第一致动器531及第二致动器541的内压。第一致动器531及第二致动器541的内压可以根据基板s的厚度来决定。
120.在基板s位于第一夹紧部件521与第二夹紧部件522之间时，通过调节器535调节第一致动器531内部的压力及第二致动器541内部的压力，由此能够以第一夹紧部件521的第一基板支承面5211的姿态水平保持的状态，基板s的第一面接触于第一夹紧部件521的第一基板支承面5211而被加压。
121.如图12及图13所示，随着通过调节器535调节第一致动器531内部的压力，能够调节第一驱动力传递部件532在第一致动器531内部的位置。随着调节第一驱动力传递部件532的位置，能够调节连接部件523的转动角度。随着调节连接部件523的转动角度，能够调节第一夹紧部件521的第一基板支承面5211与第二夹紧部件522的第二基板支承面5221之间的隔开距离。如此，随着通过调节器535调节第一致动器531内部的压力，能够将第一夹紧部件521的第一基板支承面5211与第二夹紧部件522的第二基板支承面5221之间的隔开距离调节成与基板s的厚度对应。
122.另外，随着通过调节器535调节第二致动器541内部的压力，能够调节第二驱动力传递部件542在第二致动器541内部的位置。随着调节第二驱动力传递部件542的位置，能够调节第一夹紧部件521的转动角度。随着调节第一夹紧部件521的转动角度，能够将第一夹紧部件521的第一基板支承面5211的姿态水平保持，由此，能够保持第一夹紧部件521的第一基板支承面5211与第二夹紧部件522的第二基板支承面5221彼此平行的状态。如此，随着通过调节器535调节第二致动器541内部的压力，形成第一夹紧部件521的第一基板支承面5211与第二夹紧部件522的第二基板支承面5221彼此平行的状态，能够形成能够更稳定地夹持基板s的第一面及第二面的状态。
123.在调节第一致动器531内部的压力时，能够同时调节第二致动器541内部的压力。此时，第二致动器541内部的压力调节联动于第一致动器531内部的压力调节来执行。能够以使得在第一夹紧部件521相对于第二夹紧部件522位移的同时满足第一夹紧部件521平行于第二夹紧部件522的条件的方式，执行第一致动器531内部的压力调节及第二致动器541的内部的压力调节。为了满足这种条件，可以设计第一致动器531的规格(内径、长度、第一端口5311的位置、第二端口5312的位置、对第一夹紧部件521的设置角度等)、第一驱动力传递部件532的规格(外径、厚度等)、第一驱动力传递杆533的规格(直径、长度、对第一夹紧部件521的设置角度等)、第二致动器541的规格(内径、长度、第一端口5411的位置、第二端口5412的位置、对第一夹紧部件521的设置角度等)、第二驱动力传递部件542的规格(外径、厚度等)、第二驱动力传递杆543的规格(直径、长度、对第一夹紧部件521的设置角度等)。
124.另一方面，如图13所示，随着基板s的厚度增加，支承在第一夹紧部件521的第一基板支承面5211上的基板s的第一面的支承面积与支承在第二夹紧部件522的第二基板支承面5221上的基板s的第二面的支承面积相比更小。
125.另一方面，在基板移送单元10具备多个夹具装置50的情况下，构成多个夹具装置50的多个第一致动器531内部的压力及多个第二致动器541内部的压力可以通过一个调节器535调节。因此，由于多个第一致动器531能够通过一个调节器535同时控制，能够通过多个夹具装置50均匀地夹持基板s。
126.根据本实用新型的第四实施例的基板移送单元，对应于基板s的厚度来调节第一致动器531内部的压力，从而能够调节第一夹紧部件521的第一基板支承面5211与第二夹紧部件522的第二基板支承面5221之间的隔开距离。因此，即使在基板s的厚度变更的情况下
也无需进行使夹具装置50整体高度与基板s的厚度对应的变更的追加性作业，并能够稳定地夹持基板s。因此，能够减少作业工艺数量。另外，通过调节第二致动器541内部的压力，能够将第一夹紧部件521的第一基板支承面5211的姿态水平保持。因此，在调节了第一夹紧部件521的第一基板支承面5211与第二夹紧部件522的第二基板支承面5221之间的隔开距离的情况下，也能够将第一夹紧部件521的第一基板支承面5211的姿态水平保持，由此能够增加支承在第一夹紧部件521的第一基板支承面5211上的基板s的第一面的支承面积，由此，能够更稳定地夹持基板s。
127.例示性说明了本实用新型的优选实施例，在本实用新型的范围并不限定于这种特定实施例，可以在权利要求书中所记载的范畴内进行适当变更。