一种用于单晶硅片加工后的储存装置的制作方法

文档序号:28183381发布日期:2021-12-25 01:17阅读:150来源:国知局
一种用于单晶硅片加工后的储存装置的制作方法

1.本实用新型涉及硅片加工技术领域,具体为一种用于单晶硅片加工后的储存装置。


背景技术:

2.单晶硅片是硅的单晶体,是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料,用于制造半导体器件、太阳能电池等。单晶硅片切割加工后呈圆形或方形,一般通过储存盒进行储存,在储存内壁设置有多个均匀分布的隔板,以此实现相邻硅片的分隔。
3.目前为了提高硅片储存盒的容量,内部隔板的间距小,导致相邻硅片的间距小,不方便手动拿取硅片,同时相邻隔板之间的间距小带来了清理不便的问题,维护操作复杂。


技术实现要素:

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种用于单晶硅片加工后的储存装置,具备使用方便,便于维护等优点,解决了目前为了提高硅片储存盒的容量,内部隔板的间距小,导致相邻硅片的间距小,不方便手动拿取硅片,同时相邻隔板之间的间距小带来了清理不便的问题,维护操作复杂的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于单晶硅片加工后的储存装置,包括盒体与盒盖,所述盒体侧壁开设有导向孔,所述盒体内壁设置有滑槽和隔板,所述盒体内部设有底板,所述底板边缘固定连接有滑块和清理刷,所述滑块与滑槽滑动连接,所述清理刷与隔板位置对应,所述底板表面开设有浅槽,所述浅槽内开设有条形孔,所述条形孔内设置有操作装置。
8.优选的,所述操作装置包括转轴,所述转轴两端均与条形孔内壁活动连接,所述转轴两端均贯穿底板边缘和导向孔并延伸至盒体外部,所述转轴两端均端固定连接有旋钮,所述转轴表面设置有限位槽,所述转轴上安装有抬升器。
9.优选的,所述抬升器包括一体化设置的圆环和条形板,所述条形板位于浅槽内,所述圆环与转轴套接,所述圆环内壁固定连接有限位块,所述限位块与限位槽滑动连接。
10.优选的,所述滑块底部固定连接有弹簧,所述弹簧底端与滑槽底端固定连接。
11.优选的,所述盒体底部固定连接有条形支座,所述条形支座侧面开设有连接槽。
12.优选的,所述盒盖顶部开设有凹槽,所述凹槽一侧设置有连接装置,所述连接装置包括连接销,所述连接销一端贯穿盒盖边缘并延伸至凹槽内,所述连接销上套接有拉簧,所述拉簧两端分别与连接销和盒盖固定连接。
13.与现有技术相比,本实用新型提供了一种用于单晶硅片加工后的储存装置,具备以下有益效果:
14.1、该用于单晶硅片加工后的储存装置,通过转动旋钮可以带动抬升器转动,进而可以将硅片向上顶出,方便了硅片的取出,滑动抬升器可以沿着转轴移动,进而将不同位置的硅片顶出,在需要清理隔板间隙时,手动移动底板可以带动清理刷沿着隔板滑动,进而将隔板间隙的灰尘清理,方便了维护。
15.2、该用于单晶硅片加工后的储存装置,通过在滑块与滑槽之间连接有弹簧,可以提高缓冲性能,更加安全,通过在盒体顶部设置条形支座,在盒盖上设置凹槽和连接装置,有利于在堆叠盒体时连接上下相邻的盒体,提高了稳定性,方便运输。
附图说明
16.图1为本实用新型的整体结构示意图;
17.图2为本实用新型底板的结构示意图;
18.图3为本实用新型图2的a部放大图;
19.图4为本实用新型导向孔的结构示意图;
20.图5为本实用新型图4的b部放大图。
21.其中:1、盒体;2、盒盖;3、导向孔;4、滑槽;5、隔板;6、底板;7、滑块;8、清理刷;9、浅槽;10、条形孔;11、转轴;12、旋钮;13、限位槽;14、抬升器;141、圆环;142、条形板;143、限位块;15、弹簧;16、条形支座;17、连接槽;18、凹槽;19、连接销;20、拉簧。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
23.请参阅图1

5,一种用于单晶硅片加工后的储存装置,包括盒体1与盒盖2,盒体1侧壁开设有导向孔3,导向孔3设置为竖直条形,方便旋钮12可转轴11上下移动,盒体1内壁设置有滑槽4和隔板5,滑槽4和隔板5设置在不同内壁上,滑槽4竖直设置,隔板5的数量设置为多个且均匀分布,隔板5与盒体1一体化成型,盒体1内部设有底板6,底板6边缘固定连接有滑块7和清理刷8,清理刷8的数量设置为两个且对称分布在底板6的两侧边缘上,两个清理刷8分别与两侧的隔板5对应,滑块7与滑槽4滑动连接,滑块7底部固定连接有弹簧15,弹簧15底端与滑槽4底端固定连接,通过设置弹簧15,可避免滑块7随意滑动后脱离滑槽4,同时提高了底板6的缓冲性能,使硅片运输更加安全,清理刷8与隔板5位置对应,底板6表面开设有浅槽9,浅槽9内开设有条形孔10,条形孔10内设置有操作装置。
24.操作装置包括转轴11,转轴11两端均与条形孔10内壁活动连接,转轴11两端均贯穿底板6边缘和导向孔3并延伸至盒体1外部,转轴11两端均端固定连接有旋钮12,转轴11表面设置有限位槽13,转轴11上安装有抬升器14,抬升器14包括一体化设置的圆环141和条形板142,条形板142位于浅槽9内,实际应用时条形板142的宽度略大于硅片的厚度,圆环141与转轴11套接,圆环141内壁固定连接有限位块143,限位块143与限位槽13滑动连接,通过拧动旋钮12可以带动条形板142转动,进而将硅片向上推动,以此方便拿取硅片,在使用时还可以手动移动圆环141和条形板142的位置,进而抬起指定位置的硅片。
25.盒体1底部固定连接有条形支座16,条形支座16侧面开设有连接槽17,盒盖2顶部开设有凹槽18,凹槽18的形状与条形支座16的形状匹配,相邻盒体1相互堆叠时可将顶部盒体1的条形支座16插入底部盒体1的连接槽17内,凹槽18一侧设置有连接装置,连接装置包括连接销19,连接销19一端贯穿盒盖2边缘并延伸至凹槽18内,连接销19上套接有拉簧20,拉簧20两端分别与连接销19和盒盖2固定连接,相邻盒体1相互堆叠时连接销19一端插入连接槽17内,以此实现上下两个盒体1之间的连接,拉动连接销19可以时连接销19脱离连接槽17,进而实现拆除。
26.在使用时,当需要拿取硅片时,拧动旋钮12,旋钮12转动可以带动转轴11转动,进而带动转轴11上的抬升器14转动,抬升器14上的条形板142转动时可以刚好将硅片抬起,硅片沿着隔板5向上移动一段距离,此时可将其取出,当盒体1闲置状态下需要对隔板5间隙进行清理时,手持两个旋钮12同时向上移动可以带动底板6向上移动,底板6上移时边缘的清理刷8沿着隔板5内部移动,可以将内部灰尘进行清理,此时弹簧15被拉长,松开旋钮12后在弹簧15作用下使底板6自动复位。
27.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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