一种用于芯片制造的光刻机光刻版取料装置的制作方法

1.本实用新型涉及取料装置技术领域，具体为一种用于芯片制造的光刻机光刻版取料装置。


背景技术：

2.光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上；
3.当用户在使用光刻机刻制完成时，需要用户将防护门打开才可将内部刻制好的硅片取下，用户经常开启防护门后，用户手和部分身子进入光刻机内部再将硅片取下，从而容易使得室内空气中和用户身上的灰尘进入光刻机的内部，对光刻机造成污染，且有的部分硅片底端具有粘性，使得用户在取下时容易损坏硅片，进而的导致硅片无法正常使用。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种用于芯片制造的光刻机光刻版取料装置，以解决上述背景技术中提出的当用户在使用光刻机刻制完成时，需要用户将防护门打开才可将内部刻制好的硅片取下，用户经常开启防护门后，用户手和部分身子进入光刻机内部再将硅片取下，从而容易使得室内空气中和用户身上的灰尘进入光刻机的内部，对光刻机造成污染，且有的部分硅片底端具有粘性，使得用户在取下时容易损坏硅片，进而的导致硅片无法正常使用的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于芯片制造的光刻机光刻版取料装置，包括光刻机主体，所述光刻机主体的一端滑动连接有闭合门，所述闭合门的内部开设有滑道，所述滑道的内部滑动连接有两组料门，所述光刻机主体的内部固定连接有底座，所述底座的顶端固定连接有固定座，所述底座顶端的两侧皆开设有滑轨，所述滑轨的内部滑动连接有料架，所述料架的一端固定连接有刻制座，且刻制座的位于固定座的顶端，所述料架的一端固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有齿轮，所述底座的一端固定连接有齿板，所述刻制座的内部设置有夹持机构。
6.优选的，所述齿板与齿轮相互啮合，所述伺服电机的控制端通过外接开关与外界电源电性连接，方便用户通过开关控制伺服电机工作。
7.优选的，所述底座的内部开设有固定槽，所述固定槽的内部滑动连接有加固板，且加固板的两端皆与料架固定连接，可对料架进行支撑，提高料架移动的稳定性。
8.优选的，所述夹持机构包括滑仓、移动槽、连接槽、三角滑块、滑杆、第一弹簧、连接杆、放置移动板、放置固定板、弹槽、推槽、第二弹簧和推杆，所述刻制座内部开设有滑仓，所述滑仓的内部滑动连接有三角滑块，所述滑仓一端的内壁开设有两组移动槽，所述滑仓另一端的内壁开设有弹槽，所述弹槽一端的内壁贯穿开设有推槽，所述移动槽顶端的内壁贯穿开设有连接槽，所述移动槽的内部皆滑动连接有滑杆，所述滑杆的另一端皆固定连接有第一弹簧，且第一弹簧的一端皆与移动槽的内壁固定连接，所述连接槽的内部皆滑动连接
有连接杆，所述连接杆的顶端皆固定连接有放置移动板，所述底座的顶端固定连接有两组放置固定板，所述弹槽的内部设置有第二弹簧，所述推槽的内部滑动连接有推杆，且推杆的一端穿过第二弹簧与三角滑块的一端固定连接，方便用户对硅片进行安装，防止硅片粘附在刻制座的顶端，保证了硅片的正常使用。
9.优选的，所述放置移动板皆呈圆弧状，所述放置固定板皆呈圆弧状，圆弧状的放置移动板和放置固定板可以更好的夹住硅片。
10.优选的，所述第二弹簧的两端皆分别与三角滑块的一端和弹槽一端的内壁固定连接，所述推槽的内径与推杆的外径相适配，相适配的尺寸可提高推杆移动的稳定性。
11.优选的，所述滑杆的一端皆呈斜面状，所述滑杆斜面的一端皆与三角滑块的一端相贴合，方便三角滑块对滑杆进行移动。
12.优选的，所述连接槽的尺寸皆与连接杆的尺寸相适配，所述滑杆的尺寸皆与移动槽的尺寸相适配，相适配的尺寸可提高滑杆和连接杆移动的稳定性。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
14.用户想要取下硅片时，用户推动料门，使得料门打开，通过伺服电机、齿轮和齿板可使得料架移动，可将刻制座推至光刻机主体的外侧，从而有效的减少用户打开闭合门的次数，减少光刻机主体受到的污染，用户推动推杆，通过三角滑块、滑杆将放置移动板移动，使得放置移动板不在对硅片抵触，用户便可将硅片取下，用户将新的硅片放在放置固定板和放置移动板之间后，松开推杆，通过第一弹簧和放置移动板可将硅片固定，放置移动板和放置固定板可避免硅片的底端与刻制座相贴合，从而保证了硅片的正常使用，减少了用户的成本。
附图说明
15.图1为本实用新型的立体示意图；
16.图2为本实用新型中闭合门和滑道的剖面立体示意图；
17.图3为本实用新型中滑轨和固定槽的剖面立体示意图；
18.图4为本实用新型中滑仓和移动槽的剖面立体示意图；
19.图5为本实用新型中夹持机构的爆炸立体示意图。
20.图中：1、光刻机主体；2、闭合门；3、滑道；4、料门；5、底座；6、固定座；7、滑轨；8、料架；9、刻制座；10、伺服电机；11、齿轮；12、齿板；13、固定槽；14、加固板；15、滑仓；16、移动槽；17、连接槽；18、三角滑块；19、滑杆；20、第一弹簧；21、连接杆；22、放置移动板；23、放置固定板；24、弹槽；25、推槽；26、第二弹簧；27、推杆。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1
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5，本实用新型提供的一种实施例：
23.一种用于芯片制造的光刻机光刻版取料装置，包括光刻机主体1，光刻机主体1的
一端滑动连接有闭合门2，闭合门2的内部开设有滑道3，滑道3的内部滑动连接有两组料门4，光刻机主体1的内部固定连接有底座5，底座5的顶端固定连接有固定座6，底座5顶端的两侧皆开设有滑轨7，滑轨7的内部滑动连接有料架8，料架8的一端固定连接有刻制座9，且刻制座9的位于固定座6的顶端，料架8的一端固定连接有伺服电机10，伺服电机10的输出端固定连接有齿轮11，底座5的一端固定连接有齿板12，刻制座9的内部设置有夹持机构；
24.进一步的，夹持机构包括滑仓15、移动槽16、连接槽17、三角滑块18、滑杆19、第一弹簧20、连接杆21、放置移动板22、放置固定板23、弹槽24、推槽25、第二弹簧26和推杆27，刻制座9内部开设有滑仓15，滑仓15的内部滑动连接有三角滑块18，滑仓15一端的内壁开设有两组移动槽16，滑仓15另一端的内壁开设有弹槽24，弹槽24一端的内壁贯穿开设有推槽25，移动槽16顶端的内壁贯穿开设有连接槽17，移动槽16的内部皆滑动连接有滑杆19，滑杆19的另一端皆固定连接有第一弹簧20，且第一弹簧20的一端皆与移动槽16的内壁固定连接，连接槽17的内部皆滑动连接有连接杆21，连接杆21的顶端皆固定连接有放置移动板22，底座5的顶端固定连接有两组放置固定板23，弹槽24的内部设置有第二弹簧26，推槽25的内部滑动连接有推杆27，且推杆27的一端穿过第二弹簧26与三角滑块18的一端固定连接，用户推动推杆27，推杆27在推槽25的内部滑动，移动的推杆27带动三角滑块18移动，移动的三角滑块18可对移动槽16进行拉伸，通过三角滑块18使得滑杆19在移动槽16的内部滑动，移动的滑杆19可对第一弹簧20进行压缩，第一弹簧20带动连接杆21和放置移动板22移动，用户将硅片放置在放置固定板23和放置移动板22之间，然后松开推杆27后，三角滑块18和推杆27在第二弹簧26自身回弹力的作用下，使得三角滑块18和推杆27进行复位，三角滑块18复位后，三角滑块18不在与滑杆19抵触，此时放置移动板22、连接杆21和滑杆19在第一弹簧20自身回弹力的作用下进行复位，放置移动板22对硅片进行固定，滑杆19的一端皆呈斜面状，滑杆19斜面的一端皆与三角滑块18的一端相贴合，当三角滑块18的斜面与滑杆19的斜面抵触后，使得滑杆19在移动槽16的内部滑动，方便三角滑块18对滑杆19进行移动，连接槽17的尺寸皆与连接杆21的尺寸相适配，滑杆19的尺寸皆与移动槽16的尺寸相适配，相适配的尺寸可提高滑杆19和连接杆21移动的稳定性，放置移动板22皆呈圆弧状，放置固定板23皆呈圆弧状，圆弧状的放置移动板22和放置固定板23可以更好的夹住硅片，齿板12与齿轮11相互啮合，伺服电机10的控制端通过外接开关与外界电源电性连接，方便用户通过开关控制伺服电机10工作，第二弹簧26的两端皆分别与三角滑块18的一端和弹槽24一端的内壁固定连接，推槽25的内径与推杆27的外径相适配，相适配的尺寸可提高推杆27移动的稳定性，底座5的内部开设有固定槽13，固定槽13的内部滑动连接有加固板14，且加固板14的两端皆与料架8固定连接，移动的料架8带动加固板14在固定槽13的内部移动，可对料架8进行支撑，提高料架8移动的稳定性。
25.工作原理：用户向两侧拉动料门4，料门4在滑道3的内部滑动，打开后，用户启动伺服电机10，伺服电机10的输出端转动并带动齿轮11转动，转动的齿轮11在齿板12的作用下可使得伺服电机10移动，移动的伺服电机10带动料架8和刻制座9移动，移动的料架8在滑轨7的内部滑动，移动的料架8带动加固板14在固定槽13的内部移动，可对料架8进行支撑，提高料架8移动的稳定性，当刻制座9穿过闭合门2，使得刻制座9位于光刻机主体1的外侧，然后用户推动推杆27，推杆27在推槽25的内部滑动，移动的推杆27带动三角滑块18移动，移动的三角滑块18可对移动槽16进行拉伸，当三角滑块18的斜面与滑杆19的斜面抵触后，使得
滑杆19在移动槽16的内部滑动，移动的滑杆19可对第一弹簧20进行压缩，移动的第一弹簧20带动连接杆21和放置移动板22移动，此时用户便可将硅片放置在放置固定板23和放置移动板22之间，然后用户松开推杆27后，三角滑块18和推杆27在第二弹簧26自身回弹力的作用下，可使得三角滑块18和推杆27进行复位，三角滑块18复位后，三角滑块18不在与滑杆19抵触，此时放置移动板22、连接杆21和滑杆19在第一弹簧20自身回弹力的作用下进行复位，放置移动板22对硅片进行固定，此时硅片固定在放置移动板22和放置固定板23上，防止硅片粘附在刻制座9的顶端，保证了硅片的正常使用，用户安装完毕后，用户再次启动伺服电机10，使得伺服电机10的输出端反向转动，此时便可将料架8和刻制座9复位，用户在将料门4关闭即可，当硅片刻制完成后，重复上述操作即可，有效的减少闭合门2打开的次数，避免光刻机主体1的内部被污染。
26.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。