一种光刻机的不间断放料设备的制作方法

1.本实用新型是一种光刻机的不间断放料设备，属于光刻机配件技术领域。


背景技术：

2.光刻机又称：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序，一般采用输送机构向光刻机内输送物料，并且利用放料设备向输送机构上进行放料操作，现有技术中光刻机的放料设备一般采用容器对物料进行储存，而容器的开口一般与物料尺寸差别不大，致使向容器内补料时，物料会与容器开口发生错位现象，需要调整物料下方位置，会使补料较为困难，影响工作效率，因此需要设计一种光刻机的不间断放料设备来解决上述问题。


技术实现要素：

3.针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种光刻机的不间断放料设备，以解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型达到向矩形盒内便捷的补充物料的目的，提升工作效率。
4.为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种光刻机的不间断放料设备，包括带式输送机构，所述带式输送机构上端左侧边缘位置固定连接用于储存物料的矩形盒，所述矩形盒上端后侧边缘位置固定连接u型定位板，所述矩形盒前端上侧边缘位置转动连接平板且平板上端面与矩形盒上端面重合，所述平板左右两端中部位置均固定连接阻板，所述矩形盒前端固定连接u型支撑架且u型支撑架处在平板下端，所述矩形盒内部底端固定连接锥形底板且锥形底板的斜面朝上布置，所述锥形底板的斜面上端左侧边缘位置滑动连接推板，所述矩形盒左端下侧固定连接左高右低倾斜布置的伸缩设备的固定部，所述伸缩设备的活动部穿过矩形盒并与推板固定连接。
5.进一步地，所述矩形盒右端下侧边缘位置开设出口且出口内部底端与锥形底板的斜面重合。
6.进一步地，所述矩形盒右端下侧边缘位置固定连接三角型导向板且三角型导向板处在带式输送机构上端，所述三角型导向板的斜面与出口内部底端重合。
7.进一步地，所述u型定位板的两个纵向部前端均固定连接导板，且两个导板呈v形布置。
8.进一步地，所述矩形盒内部左侧固定连接倒l型隔板，所述倒l型隔板的横向部安装在u型定位板下端左部且倒l型隔板的横向部贴合在矩形盒内部左壁，所述倒l型隔板设置在推板下侧。
9.进一步地，所述推板上端右侧开设左高右低倾斜布置的倾斜面。
10.进一步地，所述推板上端左侧边缘位置开设缺口槽且缺口槽延伸至推板左端，所述缺口槽内部底端镶嵌多个滚动构件。
11.进一步地，所述推板右端设置保护件。
12.本实用新型的有益效果：本实用新型的一种光刻机的不间断放料设备。
13.1、利用u型定位板对物料进行定位，使物料整体结构均处在矩形盒开口上端，使物料可直接进入矩形盒内，达到向矩形盒内便捷的补充物料的目的，提升工作效率。
14.2、对平板向内转动，从而使平板转动到矩形盒上端，利用两个阻板，将平板限制安装在矩形盒上端，可对矩形盒的开口进行覆盖，有效避免外界杂物进入矩形盒内，便于后续矩形盒的正常作业，适用性好，对平板向外转动，使平板贴合到u型支撑架上端，能将矩形盒的开口进行暴露，用于进行补充物料，此时平板呈水平状态设置在矩形盒前端，用于对物料进行临时放置，功能性好。
15.3、利用电动推杆，从而驱动推板沿着锥形底板的斜面向右移动，并将贴合在锥形底板斜面上端的物料向右移动，从而将物料从出口推出，再使推板返回原位，此时矩形盒内最下方的物料在本身重量作用下落到锥形底板斜面上，并持续进行上述步骤，达到向带式输送机构进行机械式不间断放料的目的，工作效率好。
附图说明
16.通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
17.图1为本实用新型一种光刻机的不间断放料设备的结构示意图；
18.图2为本实用新型一种光刻机的不间断放料设备中u型支撑架的示意图；
19.图3为本实用新型一种光刻机的不间断放料设备中矩形盒的剖视图；
20.图4为图3中a部放大图。
21.图中：1-带式输送机构、2-矩形盒、3-电动推杆、4-阻板、5-平板、6-u型定位板、7-u型支撑架、8-锥形底板、9-推板、21-倒l型隔板、22-出口、23-三角型导向板、61-导板、91-橡胶垫、92-倾斜面、93-牛眼球、94-缺口槽。
具体实施方式
22.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
23.请参阅图1-图2，本实用新型提供一种技术方案：一种光刻机的不间断放料设备，包括带式输送机构1，通过带式输送机构1，能向光刻机的工作位置输送物料，带式输送机构1可采用现有技术，带式输送机构1上端左侧边缘位置固定连接用于储存物料的矩形盒2，通过矩形盒2，能对物料进行储存，矩形盒2上端后侧边缘位置固定连接u型定位板6，通过u型定位板6，能对物料进行定位，便于物料进入矩形盒2内部，u型定位板6的两个纵向部前端均固定连接导板61，且两个导板61呈v形布置，通过导板61，方便物料进入u型定位板6内。
24.具体地，能将物料放置到平板5上端，然后沿着平板5向后推动物料，从而使物料进入u型定位板6内，并利用u型定位板6对物料进行定位，此时物料整体结构均处在矩形盒2开口上端，然后物料可直接进入矩形盒2内，达到向矩形盒2内便捷的补充物料的目的，提升工作效率。
25.矩形盒2前端上侧边缘位置转动连接平板5且平板5上端面与矩形盒2上端面重合，
通过平板5，一方面可对物料进行临时放置，另一方面可对矩形盒2的开口进行覆盖，平板5左右两端中部位置均固定连接阻板4，通过阻板4，能将平板5限制在矩形盒2上端，矩形盒2前端固定连接u型支撑架7且u型支撑架7处在平板5下端，通过u型支撑架7，能对平板5进行托举支撑。
26.具体地，当工作完成后，能对平板5进行转动，从而使平板5转动到矩形盒2上端，此时两个阻板4分别贴合在矩形盒2右部上端以及倒l型隔板21上端，从而将平板5限制安装在矩形盒2上端，并利用平板5，对矩形盒2的开口进行覆盖，有效避免外界杂物进入矩形盒2内，便于后续矩形盒2的正常作业，适用性好，当需要进行工作时，能对平板5进行转动，使平板5贴合到u型支撑架7上端，能将矩形盒2的开口进行暴露，用于进行补充物料，此时平板5呈水平状态设置在矩形盒2前端，用于对物料进行临时放置，功能性好。
27.如图3-图4所示，矩形盒2内部底端固定连接锥形底板8且锥形底板8的斜面朝上布置，通过锥形底板8，能对物料进行托举支撑，锥形底板8的斜面上端左侧边缘位置滑动连接推板9，通过推板9，能对物料进行推动，矩形盒2左端下侧固定连接左高右低倾斜布置的伸缩设备的固定部，通过伸缩设备，可驱动推板9进行移动，伸缩设备可采用电动推杆3，伸缩设备的活动部穿过矩形盒2并与推板9固定连接，矩形盒2右端下侧边缘位置开设出口22且出口22内部底端与锥形底板8的斜面重合，通过出口22，能将矩形盒2内物料排出，矩形盒2右端下侧边缘位置固定连接三角型导向板23且三角型导向板23处在带式输送机构1上端，通过三角型导向板23，将从出口22排出的物料引导到带式输送机构1上，三角型导向板23的斜面与出口22内部底端重合。
28.具体地，先向矩形盒2内投放多个物料，并在锥形底板8作用下，使物料在矩形盒2内进行堆叠，并呈倾斜状态，此时最下方物料贴合在锥形底板8斜面上端，然后接通电动推杆3的电路，并启动电动推杆3，从而驱动推板9沿着锥形底板8的斜面向右移动，并将贴合在锥形底板8斜面上端的物料向右移动，从而将物料从出口22推出，并在三角型导向板23作用下，进入到带式输送机构1上，然后利用带式输送机构1向光刻机内进行上料，然后利用电动推杆3，使推板9返回原位，此时矩形盒2内最下方的物料在本身重量作用下落到锥形底板8斜面上，并持续进行上述步骤，达到向带式输送机构1进行机械式不间断放料的目的，工作效率好。
29.推板9上端右侧开设左高右低倾斜布置的倾斜面92，通过倾斜面92，方便推板9进入倒数第二的物料下端，推板9右端设置保护件，通过保护件，对物料进行保护，保护件可采用橡胶垫91，推板9上端左侧边缘位置开设缺口槽94且缺口槽94延伸至推板9左端，通过缺口槽94，为滚动构件提供安装空间，缺口槽94内部底端镶嵌多个滚动构件，通过滚动构件，方便推板9在倒数第二的物料下端进行移动，滚动构件可采用牛眼球93。
30.具体地，在推板9移动过程中，推板9对最下方物料进行推动，并且在倾斜面92作用下，使推板9进入倒数第二的物料下端，从而将倒数第二的物料进行托举，此外牛眼球93会在倒数第二的物料下端进行滑动，用于辅助推板9与倒数第二的物料进行相对运动，适用性好。
31.矩形盒2内部左侧固定连接倒l型隔板21，通过倒l型隔板21，能将矩形盒2分隔成两个腔体，右侧腔体用于放置物料，左侧腔体用于储存推板9，倒l型隔板21的横向部安装在u型定位板6下端左部且倒l型隔板21的横向部贴合在矩形盒2内部左壁，倒l型隔板21设置
在推板9下侧，具体地，进行放料时，先利用电动推杆3，使推板9从而左侧腔体内移出，并进入右侧腔体内，并对物料进行推动，完成后，再将推板9从右侧腔体返回左侧腔体内，达到解除对物料托举的目的，使物料重新落地到锥形底板8的斜面上，便于后续放料作业。
32.本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。