一种石墨旋转靶材的吊装装置的制作方法

1.本实用新型涉及靶材吊装技术领域，具体为一种石墨旋转靶材的吊装装置。


背景技术：

2.在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场，在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为ar气)，永久磁铁在靶材料表面形成250～350高斯的磁场，同高压电场组成正交电磁场，在电场的作用下，ar气电离成正离子和电子，靶上加有一定的负高压，从靶极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大，在阴极附近形成高密度的等离子体，ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面，以很高的速度轰击靶面，使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜，磁控溅射一般分为二种：其中直流溅射设备原理简单，在溅射金属时，其速率也快，而射频溅射的使用范围更为广泛，除可溅射导电材料外，也可溅射非导电的材料，同时还可进行反应溅射制备氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料，镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，旋转靶材是磁控的靶材，靶材做成圆筒型的，里面装有静止不动的磁体，以慢速转动。
3.然而现有的石墨旋转靶材在吊装时采用人工搬运的方式，人工搬运石墨旋转靶材的移动，增加了工作人员的工作量，人工搬运的方式还会减缓石墨旋转靶材上下料的进度，导致石墨旋转靶材搬运效率的降低；并且，人工搬运时，因石墨旋转靶材其自身长度的限制，使得石墨旋转靶材在搬运中会与墙角发生碰撞，甚至与工作人员的擦碰，发生碰撞后石墨旋转靶材会造成其的凹陷，导致石墨旋转靶材的质量的下降，增加了石墨旋转靶材在搬运时损坏的成本。


技术实现要素：

4.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种石墨旋转靶材的吊装装置，具备机械搬运替代人工移动的方式、减轻工作人员的工作量、提高石墨旋转靶材的吊装的效率和加固石墨旋转靶材吊装是的稳定性的优点，解决了上述背景技术中所提出的问题。
5.本实用新型提供如下技术方案：一种石墨旋转靶材的吊装装置，包括石墨旋转靶材本体，所述石墨旋转靶材本体下端的外壁活动安装有支撑板，所述支撑板左右两侧的内壁均设置有夹持装置，所述夹持装置的一端安装有一号电机，且一号电机的输出轴上设置有一号减速器，所述一号电机的下端面固定连接有固定板，且固定板的一侧与支撑板的一端固定连接，所述支撑板的背面固定安装有连接块，所述连接块远离支撑板的一端设置有升降装置，所述支撑板左右两侧的前后两端固定连接有加固块，所述加固块的内壁活动套接有工形杆，所述工形杆的下端固定安装有位于石墨旋转靶材本体下方的吊装装置本体。
6.优选的，所述夹持装置包括有与支撑板内壁活动套接的一号螺纹杆，且一号螺纹杆远离支撑板的一端与一号电机的输出轴固定连接，所述一号螺纹杆的外壁螺纹套接有活动块，所述活动块的上端面固定连接有夹板，所述活动块的前后两侧均固定安装有限位块。
7.优选的，所述升降装置包括有与连接块的背面固定连接的升降块，所述升降块的左右两侧固定均固定安装有滑块，所述升降块的内壁螺纹套接有二号螺纹杆。
8.优选的，所述二号螺纹杆的下端固定连接有二号电机，且二号电机的输出轴上设置有二号减速器，所述二号电机的外部安装有立柱，且立柱的下端与吊装装置本体的上端面固定连接。
9.优选的，所述吊装装置本体的下端面固定安装有底板，所述底板的左侧固定连接有一号支架，所述底板远离吊装装置本体的一侧安装有二号支架，所述二号支架中部的外壁活动套接有滚轮。
10.优选的，所述一号支架中部的外壁固定套接有手推杆，所述手推杆远离一号支架的一端安装有控制器。
11.与现有技术对比，本实用新型具备以下有益效果：
12.1、本实用新型通过石墨旋转靶材本体、吊装装置本体、升降装置和支撑板之间的配合，利用升降装置中的二号螺纹杆的圆周转动，结合滑块的限制，实现了升降杆在二号螺纹杆外壁的竖直方向的升降运动的作用，达到了石墨旋转靶材本体的吊装效果，有效地解决了人工吊装的方式，采用机械举升替代人工吊装的方式，减轻了工作人员的工作量，加快了石墨旋转靶材本体吊装的进度，从而提高了石墨旋转靶材本体吊装的效率。
13.2、本实用新型通过石墨旋转靶材本体、吊装装置本体、夹持装置和支撑板之间的配合，利用夹持装置中二号螺纹杆的圆周转动，实现了夹板的水平方向移动的作用，达到了夹板对石墨旋转靶材本体的夹持效果，有效地解决了石墨旋转靶材本体在吊装时的晃动问题，采用夹板对石墨旋转靶材本体的限位方式，加固了石墨旋转靶材本体在吊装时的稳定性，避免了石墨旋转靶材本体因晃动从高处的掉落造成的损坏，延长了石墨旋转靶材本体的使用寿命，并且还避免了工作人员被掉落的石墨旋转靶材本体砸伤的风险。
附图说明
14.图1为本实用新型结构示意图；
15.图2为本实用新型石墨旋转靶材本体的俯视图；
16.图3为本实用新型升降装置的后视图；
17.图4为本实用新型夹持装置的侧视图；
18.图5为本实用新型支撑板的俯视图。
19.图中：1、石墨旋转靶材本体；2、支撑板；3、夹持装置；31、一号螺纹杆；32、活动块；33、夹板；34、限位块；4、连接块；5、升降装置；51、升降块；52、滑块；53、二号螺纹杆；6、加固块；7、工形杆；8、吊装装置本体；9、一号电机；10、固定板；11、二号电机；12、底板；13、一号支架；14、二号支架；15、滚轮；16、手推杆；17、控制器；18、立柱。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1与图4，一种石墨旋转靶材的吊装装置，包括石墨旋转靶材本体1，石墨旋转靶材本体1下端的外壁活动安装有支撑板2，支撑板2左右两侧的内壁均设置有夹持装置3，夹持装置3的活动起到对石墨旋转靶材本体1的夹持装置，加固了石墨旋转靶材本体1在移动时和吊装时的稳定性，避免了石墨旋转靶材本体1在吊装时从高处的掉落造成的损坏，还能避免工作人员被砸伤，夹持装置3的一端安装有一号电机9，且一号电机9的输出轴上设置有一号减速器，一号减速器的设置起到对一号电机9的输出轴上的转速的调节作用，夹持装置3包括有与支撑板2内壁活动套接的一号螺纹杆31，且一号螺纹杆31远离支撑板2的一端与一号电机9的输出轴固定连接，一号螺纹杆31的圆周转动为活动块32的水平运动提供动力，一号螺纹杆31的外壁螺纹套接有活动块32，活动块32的上端面固定连接有夹板33，夹板33起到对石墨旋转靶材本体1的限位作用，活动块32的前后两侧均固定安装有限位块34，限位块34的安装限制了活动块32的运动轨迹，一号电机9的下端面固定连接有固定板10，且固定板10的一侧与支撑板2的一端固定连接，固定板10的安装为一号电机9的安装提供支撑和平台，支撑板2的背面固定安装有连接块4，连接块4远离支撑板2的一端设置有升降装置5，升降装置5为石墨旋转靶材本体1的竖直方向的运动提供动力，支撑板2左右两侧的前后两端固定连接有加固块6，加固块6的内壁活动套接有工形杆7，加固块6在工形杆7外壁的运动加固了石墨旋转靶材本体1在升降运动时的稳定性，工形杆7的下端固定安装有位于石墨旋转靶材本体1下方的吊装装置本体8。
22.请参阅图3与图5，升降装置5包括有与连接块4的背面固定连接的升降块51，升降块51的左右两侧固定均固定安装有滑块52，升降块51的内壁螺纹套接有二号螺纹杆53，二号螺纹杆53的圆周转动为升降块51的竖直方向的运动提供动力，二号螺纹杆53的下端固定连接有二号电机11，且二号电机11的输出轴上设置有二号减速器，二号减速器的设置起到对二号电机11的输出轴转速的调节作用，二号电机11的外部安装有立柱18，且立柱18的下端与吊装装置本体8的上端面固定连接。
23.请参阅图2与图1，吊装装置本体8的下端面固定安装有底板12，底板12的左侧固定连接有一号支架13，底板12远离吊装装置本体8的一侧安装有二号支架14，二号支架14中部的外壁活动套接有滚轮15，滚轮15的滚动为石墨旋转靶材本体1的移动提供动力，实现了石墨旋转靶材本体1的机械搬运的方式，减轻了人工搬运的工作量，提高了石墨旋转靶材本体1在搬运时的效率，一号支架13中部的外壁固定套接有手推杆16，手推杆16远离一号支架13的一端安装有控制器17。
24.工作原理：使用时，首先，将石墨旋转靶材本体1放置在支撑板2的内部，通过控制器17处开启左右两侧的一号电机9，一号电机9开启后带动一号螺纹杆31的转动，一号螺纹杆31圆周转动的同时受到限位块34的限制，使得活动块32在一号螺纹杆31的外壁做水平方向的运动，活动块32运动的同时带动夹板33的同方向的运动，直至夹板33的一侧与石墨旋转靶材本体1的外壁接触，使得夹板33起到对石墨旋转靶材本体1的搬运和吊装时稳定性的加固作用，然后，利用滚轮15的滚动，起到对石墨旋转靶材本体1的移动，直至将石墨旋转靶材本体1移动至需要吊装的位置即可，随后，根据对石墨旋转靶材本体1吊装的高度，开启二号电机11，二号电机11开启后带动二号螺纹杆53的转动，二号螺纹杆53圆周转动的同时受到滑块52的限制，使得升降块51在二号螺纹杆53的外壁做竖直方向的升降运动，升降块51运动的同时通过连接块4的连接，使得支撑板2做升降运动，支撑板2运动的同时带动石墨旋
转靶材本体1的同步运动，直至将石墨旋转靶材本体1升降至需要的高度时，即可关闭二号电机11，最后，对石墨旋转靶材本体1进行吊装即可。
25.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。同时在本实用新型的附图中，填充图案只是为了区别图层，不做其他任何限定。
26.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。