一种定位环粘接治具的制作方法

文档序号:15904197发布日期:2018-11-09 22:16阅读:295来源:国知局

本实用新型属于金属表面处理加工领域,特别是涉及一种定位环粘接工件。适用于IC装备制造业的一种用于芯片加工定位环粘接治具。



背景技术:

目前IC装备制造行业Retaining Ring工件属于芯片加工制造的重要工件,由PPS塑料件与不锈钢件通过特殊环氧胶固定在一起,再经过精加工得到要求工件,其对粘接过程中均匀性、牢固性,要求较高。



技术实现要素:

针对上述存在的技术问题,本实用新型的目的是提供一种定位环粘接治具。它既可以有效保证粘接过程中均匀性、牢固性;此外,本实用新型还可以组合叠最多可10套叠加在一起同时粘接固化,提高生产效率。

本实用新型的目的是通过如下技术方案实现的:

一种定位环粘接治具,包括铝合金上夹治具,塑料下夹治具及不锈钢压板组成;

铝合金上夹治具为碟状,采用铝合金制成,直径与不锈钢工件外圆一致,铝合金上夹治具中心处两侧设有圆形凸起,便于配合塑料下夹治具及不锈钢压板定位连接;

塑料下夹治具为台阶圆盘状,采用硬质塑料制成,凸台部分与塑料工件内圆配合连接,塑料下夹治具外圆直径大于塑料工件直径;塑料下夹治具中心处设有通孔,该通孔与铝合金上夹治具的圆形凸起配合连接;

不锈钢压板采用不锈钢制成,中心处具有圆孔与铝合金上夹治具的圆形凸起定位连接;

铝合金上夹治具为台阶碟状,下台阶部分圆直径与不锈钢工件一致,上方台阶是用于叠放时候取拿方便。

不锈钢压板上设有对称的圆孔。

本实用新型的有益效果是:

本实用新型可以它既可以有效保证定位环工件粘接过程中均匀性、牢固性;此外,本实用新型还可以组合叠最多可10套叠加在一起同时粘接固化,提高生产效率。

附图说明

图1为塑料下夹治具结构示意图。

图2为铝合金上夹治具结构示意图。

图3为不锈钢压板结构示意图。

图4治具实际应用组装图。

具体实施方式

下面结合附图1-4对本实用新型进行详细描述。

一种定位环粘接治具,包括铝合金上夹治具1,塑料下夹治具2及不锈钢压板3组成;

铝合金上夹治具1为碟状,采用铝合金制成,直径与不锈钢工件4外圆一致,铝合金上夹治具中心处两侧设有圆形凸起,便于配合塑料下夹治具及不锈钢压板定位连接;

塑料下夹治具为台阶圆盘状,采用硬质塑料制成,凸台部分与塑料工件 5内圆配合连接,塑料下夹治具外圆直径大于塑料工件直径;塑料下夹治具中心处设有通孔,该通孔与铝合金上夹治具的圆形凸起配合连接;

不锈钢压板采用不锈钢制成,中心处具有圆孔与铝合金上夹治具的圆形凸起定位连接,保证压板重量均匀分布工件表面,要求重量>20kg。

铝合金上夹治具为台阶碟状,下台阶部分圆直径与不锈钢工件一致,上方台阶是用于叠放时候取拿方便。

不锈钢压板上设有对称的圆孔。

实施例,如图4所示组装,将塑料工件放置在塑料下夹治具上,将环氧胶均匀涂到粘合表面,将不锈钢工件放置到环氧胶面上,避免按压不锈钢工件;调整不锈钢工件的位置并将铝合金上夹治具放到不锈钢工件上。然后,反复地以5~10°的角度旋转并按压铝合金上夹治具,直到不锈钢工件固定在塑料环上为止;

检查环氧胶是否沿着定位环圆周均匀地挤出,放上不锈钢压板放置,直至环氧胶完全固化,去除治具,去下粘接好的定位环工件。本实用新型还可以组合叠最多可10套叠加在一起同时固化。

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