一种掩膜版薄膜贴膜机膜盒固定装置的制作方法

1.本实用新型属于掩膜版贴膜设备领域，更具体的说涉及一种掩膜版薄膜贴膜机膜盒固定装置。


背景技术：

2.掩膜版是一种用于平板显示制造的关键配件，是一种图形信息的载体，掩膜版表面通过光刻、显影、蚀刻等手段形成所需的图案，再通过曝光机将图案复制到显示基板上，随着平板显示行业朝着高精度方向不断发展，很多产品的规格已经达到1微米以下规格，这就要求产品表面的灰尘大小不能超过1微米，因此高精度掩膜版一般需要在产品表面贴附一个光学膜，起到阻断灰尘，防止灰尘落到掩膜版表面导致产品不合格。
3.目前掩膜版薄膜贴膜机在固定膜盒时，通常使用真空吸附的方式将膜盒固定在平台上，当膜盒尺寸较小时，这种方式可以满足需求。但是当膜盒尺寸较大时，例如1200*1400mm的膜盒，膜盒底面平整度很难保证，实际操作过程很容易发生真空吸附力不够而报警。此外由于部分供应商的大尺寸的膜盒，为了提升膜盒强度，膜盒底部一般设计成凹陷结构加强，这样更加不利于真空的吸附。
4.目前的贴膜机平台没有膜盒固定装置，膜盒放置精度完全依赖操作人员，对操作人员放置精度要求较高，膜盒不能有较大角度，否则会造成膜盒角度不能完全补正，影响后续贴膜机调整对位。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种掩膜版薄膜贴膜机膜盒固定装置，实现膜盒的放置和膜盒的固定，实现自动将膜盒固定在贴膜机平台上，降低操作人员依赖，提高效率。
6.本实用新型技术方案一种掩膜版薄膜贴膜机膜盒固定装置，包括膜盒放置台面和相对设置在所述膜盒放置台面上的前挡板组件和后推板组件，所述前挡板组件和所述后推板组件分别抵靠在膜盒的前端面和后端面上，夹紧膜盒；
7.所述前挡板组件包括至少两前挡板和分别连接在所述前挡板上的滚珠丝杠组件；所述后推板组件包括可转动的后推板和带动所述后推板向所述前挡板组件侧移动的气缸；
8.所述气缸的推杆前端固定有连接座，所述连接座上固定有呈竖直状态的安装轴，所述安装轴上套设有轴承，所述后推板通过所述轴承与所述安装轴连接，所述后推板可绕所述安装轴转动；所述气缸的推杆还设置有限位组件，所述限位组件置于所述连接座后部，所述限位组件包括固定在气缸的推杆上的限位板，所述限位板朝向所述后推板的侧面上设置有若干限位螺旋弹簧，所述限位螺旋弹簧置于限位板与后推板之间且轴线与气缸轴线平行。
9.优选地，所述限位螺旋弹簧的自然长度小于限位板与后推板相对面之间距离；所述限位螺旋弹簧包括有两组，分别固定在靠近限位板的两端位置，后推板长度大于两限位螺旋弹簧之间距离。
10.优选地，所述气缸与两所述滚珠丝杠组件平行设置，且位于两滚珠丝杠组件中间位置。
11.优选地，所述膜盒放置台面上设置有若干轴线与气缸轴线垂直的支撑滚轮，膜盒置于所述支撑滚轮上；所述支撑滚轮嵌设置在所述膜盒放置台面上且支撑滚轮的支撑面凸出膜盒放置台面1mm～2mm。
12.本实用新型技术方案的一种掩膜版薄膜贴膜机膜盒固定装置的有益效果是：
13.1、通过相对设置的前挡板组件和后推板组件，分别由膜盒的前端面和后端面实现对膜盒进行固定和夹紧，操作简单，避免了目前真空吸附式大尺寸膜盒易造成真空吸附报警问题，即便膜盒底部不平，采用本前挡板组件和后推板组件对膜盒进行夹紧，也不会对膜盒固定产生任何影响，便于膜盒的固定和夹紧，便于对掩膜版进行贴膜。
14.2、通过设置可自由转动的后推板组件实现对膜盒进行推动和夹紧，使得在膜盒放置上膜盒放置台面上时，不需要将膜盒完全扶正，可以对放置歪斜的膜盒进行自动扶正，提升了膜盒的放置精度，避免了由于人员放置存在一定角度导致后续对位失败的风险。
15.3、限位组件的设置，使得后推板具有一个相对固定的位置和转动角度，避免后推板转动角度过大或方向错误，导致后推板不能很好的对膜盒进行推动和膜盒夹紧。
附图说明
16.图1为本实用新型技术方案的一种掩膜版薄膜贴膜机膜盒固定装置俯视图，
17.图2为本实用新型技术方案的一种掩膜版薄膜贴膜机膜盒固定装置主视图，
18.图3为后推板组件结构示意图，
19.图4为膜盒在膜盒放置台面上放置初始状态图。
具体实施方式
20.为便于本领域技术人员理解本实用新型技术方案，现结合说明书附图对本实用新型技术方案做进一步的说明。
21.如图1、图2和图3所示，本实用新型技术方案一种掩膜版薄膜贴膜机膜盒固定装置，包括膜盒放置台面1和相对设置在膜盒放置台面1上的前挡板组件2和后推板组件4。前挡板组件2和后推板组件4分别抵靠在膜盒10的前端面和后端面上，夹紧膜盒。本技术方案中通过相对设置的前挡板组件和后推板组件，分别由膜盒的前端面和后端面实现对膜盒进行固定和夹紧，操作简单，避免了目前真空吸附式大尺寸膜盒易造成真空吸附报警问题，即便膜盒底部不平，采用本前挡板组件和后推板组件对膜盒进行夹紧，也不会对膜盒固定产生任何影响，便于膜盒的固定和夹紧，便于对掩膜版进行贴膜。
22.如图1、图2和图3所示，前挡板组件2包括至少两前挡板21和分别连接在前挡板21上的滚珠丝杠组件20。后推板组件4包括可转动的后推板42和带动后推板42向前挡板组件2侧移动的气缸41。本技术方案中，通过至少前挡板21和一后推板42实现对膜盒10进行推动和固定，在推动过程中，膜盒受力面积大，便于膜盒保持平衡和稳定，便于膜盒呈正对状态进行固定。
23.如图1、图2和图3所示，气缸41的推杆前端固定有连接座43，连接座43上固定有呈竖直状态的安装轴44，安装轴44上套设有轴承45。后推板42通过轴承45与安装轴44连接，后
推板42可绕安装轴44转动。本技术方案中，通过设置可自由转动的后推板组件4实现对膜盒10进行推动和夹紧，使得在膜盒10放置上膜盒放置台面1上时，不需要将膜盒完全扶正，可以对放置歪斜的膜盒进行自动扶正，提升了膜盒的放置精度，避免了由于人员放置存在一定角度导致后续对位失败的风险。后推板42安装结构简单快捷。
24.如图1、图2和图3所示，气缸41的推杆还设置有限位组件5，限位组件5置于连接座43后部。限位组件5包括固定在气缸41的推杆上的限位板51，限位板51朝向后推板42的侧面上设置有若干限位螺旋弹簧52，限位螺旋弹簧52置于限位板51与后推板42之间且轴线与气缸41轴线平行。本技术方案中，通过设置限位组件5，实现对后推板42转动角度和方向进行限定，使得后推板42仅仅能够绕安装轴做小角度的往复转动，避免后推板转动角度过大或后推板初始位置就处于一个较大的倾斜角度，甚至是垂直状态，应该后推板41对膜盒的推动和夹紧固定。
25.本技术方案中，限位螺旋弹簧52的自然长度小于限位板51与后推板42相对面之间距离。限位螺旋弹簧52包括有两组，分别固定在靠近限位板51的两端位置，后推板42长度(垂直于气缸轴线方向上的尺寸)大于两限位螺旋弹簧52之间距离。本技术方案的设置，使得后推板42仅仅能够在绕安装轴
±
25
°
的角度内旋转，使得后推板具有一个相对固定的位置和转动角度，避免后推板转动角度过大或方向错误，导致后推板不能很好的对膜盒进行推动和膜盒夹紧。后推板42在-25
°
～25
°
之间进行旋转，可以自动补正膜盒，确保膜盒位置不会发生偏移。本技术方案中，通过限位螺旋弹簧52的设置，一方面在倾斜状态的后推板42向前推动膜盒时，后推板41被限位螺旋弹簧52复位，进一步实现对膜盒的调整和扶正，可见限位螺旋弹簧52的设置，不仅仅是能够确保后推板的一定角度，还能够进一步促进后推板的复位和膜盒的扶正。
26.本技术方案中，气缸41与两滚珠丝杠组件20平行设置，且位于两滚珠丝杠组件20中间位置，便于膜盒在推动和夹紧过程中，受力均匀，便于膜盒扶正和固定，避免出现膜盒偏移的问题。
27.本技术方案中，滚珠丝杠组件20包括电机22和与电机22的输出轴连接的滚珠丝杠23，滚珠丝杠23上的丝杠螺母与前挡板21固定安装，电机22工作，带动滚珠丝杠23旋转，滚珠丝杠23上的丝杠螺母带动前挡板21沿滚珠丝杠23移动，实现对前挡板21位置的调节，适应对不同尺寸或型号的膜盒的固定和夹紧，为不同大小的膜盒提供相适应的固定位置。在膜盒放置台面1上设置有安装槽24，将滚珠丝杠23置于安装槽24内，避免滚珠丝杠23与膜盒10出现干涉的问题。
28.本技术方案中，膜盒放置台面1上设置有若干轴线与气缸轴线垂直的支撑滚轮6，膜盒10置于支撑滚轮6上。支撑滚轮6嵌设置在膜盒放置台面1上且支撑滚轮6的支撑面凸出膜盒放置台面1mm～2mm。支撑滚轮6材质为特氟龙。通过设置支撑滚轮6，降低膜盒在移动中与膜盒放置台面1之间的摩擦，避免平台的磨损。
29.本实用新型技术方案在上面结合附图对实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种非实质性改进，或未经改进将实用新型的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围之内。