直燃回流热回收高效率有机废气处理系统及其方法与流程

本发明涉及一种直燃回流热回收高效率有机废气处理系统及其方法，尤指一种用来将燃烧后的气体进入该吸附转轮的吸附区循环利用，且不经过该烟囱进行排放，使有机废气的处理效率提升，而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的有机废气处理系统或类似设备。

背景技术：

目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生具有挥发性有机气体(voc)，因此，在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(voc)的处理设备，以避免挥发性有机气体(voc)直接排入空气中而造成空气污染。而目前经过该处理设备脱附的浓缩气体大都是输送到该焚烧炉进行燃烧，再将燃烧后的气体输送到烟囱进行排放。

但是近年来，不管是中央政府或是各地方政府都对空气污染非常重视，也因此在烟囱的排放标准上制定了有关悬浮微粒(pm10)及细悬浮微粒(pm2.5)空气质量标准，并依据其国内健康影响研究结果，以健康影响为优先考量，将“细悬浮微粒(pm2.5)”24小时值定为35μg/m³、年平均值定为15μg/m³。且环保部门初步定于2020年达成全国细悬浮微粒浓度年平均值15μg/m³的目标，同时将依国际管制趋势发展，逐期检讨其细悬浮微粒(pm2.5)空气质量标准，并朝达成who提出的空气质量标准值(24小时值定为25μg/m³、年平均值订为10μg/m³)为空气质量改善目标。

因此，本发明有鉴于上述缺失，期望能提出一种具有提升有机废气处理效率的直燃回流高效率有机废气处理系统及其方法，使使用者可轻易操作组装，乃潜心研思、设计组制，以提供使用者便利性，为本发明的发明动机。

技术实现要素：

本发明的主要目的，在于提供一种直燃回流热回收高效率有机废气处理系统及其方法，主要将直燃式焚烧炉的排气经过三个以上的热交换器进行热回收，并将该直燃式焚烧炉的排气再经过一个冷却器进行热交换，而得以进行冷却后再输送到该除尘设备中，以进行粉尘或二氧化硅(sio2)等氧化物的分离，最后再将由该除尘设备输出的气体输送到该废气进气管路，使燃烧后的气体进入该吸附转轮的吸附区循环利用，而不经过该烟囱进行排放，使该烟囱的排放量降低，并使有机废气的处理效率提升，进而增加整体的实用性。

本发明的另一目的，在于提供一种直燃回流热回收高效率有机废气处理系统及其方法，通过该冷却气输送管路与该热气输送管路之间设有一连通管路，且该连通管路设有一连通控制阀门，而该热气输送管路设有一热气控制阀门，并通过该连通控制阀门及该热气控制阀门形成比例风门，借此，通过该连通控制阀门及该热气控制阀门的设计形成具有比例风门的效能，以能调整控制风力的大小，使该热气输送管路内的温度保持一定高温提供给该吸附转轮的脱附区使用，并具有节省能源的效能，进而增加整体的使用性。

本发明的再一目的，在于提供一种直燃回流热回收高效率有机废气处理系统及其方法，通过该冷却气输送管路与该热气输送管路之间设有一连通管路，且该连通管路设有一连通控制阀门，而该冷却气输送管路设有一冷却气控制阀门，并通过该连通控制阀门及该冷却气控制阀门形成比例风门，借此，通过该连通控制阀门及该冷却气控制阀门的设计形成具有比例风门的效能，以能调整控制风力的大小，使该热气输送管路内的温度保持一定高温提供给该吸附转轮的脱附区使用，并具有节省能源的效能，进而增加整体的操作性。

为了能够更进一步了解本发明的特征、特点和技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，但所附附图仅提供参考与说明用，非用以限制本发明。

附图说明

图1为本发明的第一种实施方式的主要步骤流程图；

图2为本发明的第一种实施方式的主要结构示意图；

图3为本发明的第一种实施方式的第一种比例风门的结构示意图；

图4为本发明的第一种实施方式的第二种比例风门的结构构示意图；

图5为本发明的第二种实施方式的主要步骤流程图；

图6为本发明的第二种实施方式的主要结构示意图；

图7为本发明的第二种实施方式的第一种比例风门的结构示意图；

图8为本发明的第二种实施方式的第二种比例风门的结构示意图。

【附图标记说明】

10、直燃式焚烧炉11、进气口

12、出气口20、吸附转轮

201、吸附区202、冷却区

203、脱附区21、废气进气管路

22、净气排放管路221、风机

23、冷却气进气管路231、气体旁通管路

24、冷却气输送管路241、冷却气控制阀门

25、热气输送管路251、热气控制阀门

26、脱附浓缩气体管路27、连通管路

271、连通控制阀门30、第一热交换器

301、第一冷侧管路302、第一热侧管路

31、第一热气回收管路32、第一焚烧热气回收管路

33、第一脱附浓缩气体输送管路40、第二热交换器

401、第二冷侧管路402、第二热侧管路

50、第三热交换器501、第三冷侧管路

502、第三热侧管路

51、第三脱附浓缩气体输送管路

52、第三热气回收管路60、第四热交换器

601、第四冷侧管路602、第四热侧管路

61、第四脱附浓缩气体输送管路62、第四热气回收管路

70、冷却器71、冷却水管路

72、冷却热气回收管路80、除尘设备

81、除尘进气管路82、除尘出气管路

821、风机90、烟囱

s100、吸附区吸附

s110、冷却区冷却

s120、脱附区脱附

s130、脱附浓缩气体输送

s140、焚烧气体回收输送

s150、焚烧气体再输送

s160、经过除尘设备回收

s200、吸附区吸附

s210、冷却区冷却

s220、脱附区脱附

s230、脱附浓缩气体输送

s240、焚烧气体回收输送

s250、焚烧气体再输送

s260、经过除尘设备回收

具体实施方式

请参阅图1至图8，为本发明实施例的示意图，而本发明的直燃回流热回收高效率有机废气处理系统及其方法的最佳实施方式是运用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的挥发有机废气处理系统或类似设备，主要是将燃烧后的气体进入该吸附转轮的吸附区循环利用，且不经过该烟囱进行排放，使有机废气的处理效率提升。

而本发明第一种实施方式的直燃回流热回收高效率有机废气处理系统，主要设有一直燃式焚烧炉10、一吸附转轮20、一第一热交换器30、一第二热交换器40、一第三热交换器50、一冷却器70及一除尘设备80(如图2至图4所示)，其中该第一热交换器30设有第一冷侧管路301及第一热侧管路302，该第二热交换器40设有第二冷侧管路401及第二热侧管路402，该第三热交换器50设有第三冷侧管路501及第三热侧管路502，而该除尘设备80为袋式除尘器、电袋式复合除尘器、惯性除尘器、静电除尘器、离心式除尘器、滤筒式脉冲除尘器、脉冲袋式除尘器、脉冲滤芯除尘器、脉冲喷吹袋式除尘器、湿式除尘器、湿式电除尘器、湿式静电除尘器、水膜除尘器、文丘里管除尘器、旋风分离器、烟道除尘器、多层除尘器、负压反吹滤袋除尘器、低压长袋脉冲除尘器、卧式静电除尘器、无动力除尘器、荷电水雾除尘器、多管旋风除尘器或防爆除尘器的其中一种，另外该直燃式焚烧炉(to)10设有一进气口11及一出气口12，且该直燃式焚烧炉(to)10内设有炉头及炉膛，使该有机废气由该进气口11进入该炉头进行燃烧，再使经过燃烧后的气体穿过该炉膛并由该出气口12排出。

而该吸附转轮20为沸石浓缩转轮或是其他材质的浓缩转轮，且该吸附转轮20内设有吸附区201、冷却区202及脱附区203，该吸附转轮20设有一废气进气管路21、一净气排放管路22、一冷却气进气管路23、一冷却气输送管路24、一热气输送管路25及一脱附浓缩气体管路26(如图2至图4所示)，而该废气进气管路21的另一端连接至该吸附转轮20的吸附区201的一侧，以使该吸附转轮20的吸附区201吸附该废气进气管路21内的废气，且该净气排放管路22的一端与该吸附转轮20的吸附区201的另一侧连接，使该废气经该吸附转轮20的吸附区201净化后再由该净气排放管路22输送。

另外该冷却气进气管路23的一端与该吸附转轮20的冷却区202的一侧连接，而该冷却气进气管路23有两种实施形式，其中第一种实施形式为该冷却气进气管路23供外气进入(如图2及图3所示)，而该外气为新鲜空气，以将该外气用输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用，另外第二种实施形式为该冷却气进气管路23设有一气体旁通管路231(如图4所示)，该气体旁通管路231的一端与该冷却气进气管路23连接，而该气体旁通管路231的另一端与该废气进气管路21连接，通过该气体旁通管路231将部分的废气输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用。

另外该冷却气输送管路24的一端与该吸附转轮20的冷却区202的另一侧连接，而该冷却气输送管路24的另一端与该第二热交换器40的第二冷侧管路401的一端连接，以将该冷却气输送管路24内的冷却气输送到该第二热交换器40内进行热交换(如图2至图4所示)，另外该第二热交换器40的第二冷侧管路401的另一端与该热气输送管路25的另一端连接，而该热气输送管路25的一端与该吸附转轮20的脱附区203的另一侧连接，且该吸附转轮20的脱附区203的一侧与该脱附浓缩气体管路26的一端连接，使将经过该第二热交换器40提升的热气通过该热气输送管路25传输到该吸附转轮20的脱附区203进行脱附使用，并将经过高温脱附下来的脱附浓缩气体通过该脱附浓缩气体管路26传输运送。

另外本发明第一种实施方式中的该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有比例风门，而该比例风门设有两种实施形式，其中第一种实施形式为该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该热气输送管路25设有一热气控制阀门251(如图3所示)，并通过该连通控制阀门271及该热气控制阀门251形成比例风门，另外第二实施形式为该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该冷却气输送管路24设有一冷却气控制阀门241(如图4所示)，并通过该连通控制阀门271及该冷却气控制阀门241形成比例风门，借此，不管是通过该连通控制阀门271及该热气控制阀门251的设计的比例风门或是通过该该连通控制阀门271及该冷却气控制阀门241的设计的比例风门，都能调整控制风力的大小，使该热气输送管路25内的温度保持一定高温提供给该吸附转轮20的脱附区203使用。

此外，该第三热交换器50连接有一第三脱附浓缩气体输送管路51及一第三热气回收管路52，该第三热交换器50的第三冷侧管路501的一端与该脱附浓缩气体管路26的另一端连接(如图2至图4所示)，该第三脱附浓缩气体输送管路51的一端与该第三热交换器50的第三冷侧管路501的另一端连接，该第三脱附浓缩气体输送管路51的另一端与该第一热交换器30的第一冷侧管路301的一端连接，该第三热气回收管路52的一端与该第三热交换器50的第三热侧管路502的一端连接，该第三热气回收管路52的另一端与该第二热交换器40的第二热侧管路402的另一端连接。借此，使该吸附转轮20的脱附区203脱附下来的脱附浓缩气体通过该脱附浓缩气体管路26传输到该第三热交换器50的第三冷侧管路501进行热交换，并再通过该第三脱附浓缩气体输送管路51传输到该第一热交换器30的第一冷侧管路301进行热交换。

另外该第一热交换器30连接有一第一热气回收管路31、一第一焚烧热气回收管路32及一第一脱附浓缩气体输送管路33，其中该第一焚烧热气回收管路32的一端与该第一热交换器30的第一热侧管路302的一端连接，该第一焚烧热气回收管路32的另一端与该直燃式焚烧炉10的出气口12连接(如图2至图4所示)，该第一热气回收管路31的一端与该第一热交换器30的第一热侧管路302的另一端连接，该第一热气回收管路31的另一端与该第二热交换器40的第二热侧管路402的一端连接，该第一脱附浓缩气体输送管路33的一端与该第一热交换器30的第一冷侧管路301的另一端连接，该第一脱附浓缩气体输送管路33的另一端与该直燃式焚烧炉10的进气口11连接。借此，使经过该第一热交换器30的第一冷侧管路301输送的脱附浓缩气体通过该第一脱附浓缩气体输送管路33输送到该直燃式焚烧炉10的进气口11，再将经过该直燃式焚烧炉10燃烧后的气体由该出气口12通过该第一焚烧热气回收管路32输送到该第一热交换器30的第一热侧管路302内进行热回收，并经过该第一热气回收管路31输送到该第二热交换器40的第二热侧管路402内进行热回收，且再经过该第三热气回收管路52输送到该第三热交换器50的第三热侧管路502内进行热回收。

另外该冷却器70内设有冷却水管路71，以一进一出的方式将流经该冷却器70的高温热气进行降温，且该冷却器70为壳管式冷却器、鳍管式冷却器或板式热交换器冷却器的其中一种，而该冷却器连接有一冷却热气回收管路72，该冷却热气回收管路72与该第三热交换器50的第三热侧管路502的另一端连接(如图2至图4所示)。而该除尘设备80连接有一除尘进气管路81及一除尘出气管路82，该除尘进气管路81的一端与该除尘设备连80接，该除尘进气管路80的另一端与该冷却器70连接，该除尘出气管路82的一端与该除尘设备80连接，该除尘出气管路82的另一端与该废气进气管路21连接。另外该除尘出气管路82设有一风机821，以将该除尘出气管路82内的气体推向该废气进气管路21内。借此，将经过该直燃式焚烧炉10燃烧后的气体由该第三热交换器50的第三热侧管路502通过该冷却热气回收管路72输送到该冷却器70进行热交换，而该冷却器70再通过该除尘进气管路81输送到该除尘设备80内以进行粉尘或二氧化硅(sio2)等氧化物的分离，最后再将由该除尘设备80输出的气体输送到该废气进气管路21，使燃烧后的气体进入该吸附转轮20的吸附区201循环利用，而不经过该烟囱90进行排放，使该烟囱90的排放量降低，并使有机废气的处理效率提升。

最后，该净气排放管路22的另一端连接一烟囱90，使经过该净气排放管路22排出净化后气体输送到烟囱90进行排放(如图2至图4所示)。另外该净气排放管路22设有一风机221，以将该净气排放管路22内的气体推向该烟囱90。

而本发明第一种实施方式的直燃回流热回收高效率有机废气处理方法，其主要用于有机废气处理系统，且包括有一直燃式焚烧炉10、一吸附转轮20、一第一热交换器30、一第二热交换器40、一第三热交换器50、一冷却器70及一除尘设备80(如图2至图4所示)，该吸附转轮20设有吸附区201、脱附区203及冷却区202，该吸附转轮20连接有一废气进气管路21、一净气排放管路22、一冷却气进气管路23、一冷却气输送管路24、一热气输送管路25及一脱附浓缩气体管路26，该第一热交换器30设有第一冷侧管路301及第一热侧管路302，该第二热交换器40设有第二冷侧管路401及第二热侧管路402，该第三热交换器50设有第三冷侧管路501及第三热侧管路502。

而该除尘设备80为袋式除尘器、电袋式复合除尘器、惯性除尘器、静电除尘器、离心式除尘器、滤筒式脉冲除尘器、脉冲袋式除尘器、脉冲滤芯除尘器、脉冲喷吹袋式除尘器、湿式除尘器、湿式电除尘器、湿式静电除尘器、水膜除尘器、文丘里管除尘器、旋风分离器、烟道除尘器、多层除尘器、负压反吹滤袋除尘器、低压长袋脉冲除尘器、卧式静电除尘器、无动力除尘器、荷电水雾除尘器、多管旋风除尘器或防爆除尘器的其中一种，另外该直燃式焚烧炉(to)10设有一进气口11及一出气口12，且该直燃式焚烧炉(to)10内设有炉头及炉膛，使该有机废气由该进气口11进入该炉头进行燃烧，再使经过燃烧后的气体穿过该炉膛并由该出气口12排出。而该处理方法的主要步骤(如图1所示)包括：步骤s100吸附区吸附：将废气通过该废气进气管路21的另一端送入该吸附转轮20的吸附区201的一侧进行吸附，再将吸附后的气体通过该净气排放管路22的另一端进行输送。而完成上述步骤s100后即进行下一步骤s110。

其中上述的步骤s100中该净气排放管路22的另一端连接一烟囱90，使经过该净气排放管路22排出净化后气体输送到烟囱90进行排放(如图2至图4所示)。另外该净气排放管路22设有一风机221，以将该净气排放管路22内的气体推向该烟囱90。

另外，下一步进行的步骤s110冷却区冷却：通过该冷却气进气管路23的另一端输送冷却气至该吸附转轮20的冷却区202进行冷却，再通过该冷却气输送管路24的另一端将经过冷却区的冷却气输送到该第二热交换器40的第二冷侧管路401的一端。而完成上述步骤s110后即进行下一步骤s120。

其中上述的步骤s110中该冷却气进气管路23的一端与该吸附转轮20的冷却区202的一侧连接，而该冷却气进气管路23有两种实施形式，其中第一种实施形式为该冷却气进气管路23供外气进入(如图2及图3所示)，而该外气为新鲜空气，以将该外气输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用，另外第二种实施形式为该冷却气进气管路23设有一气体旁通管路231(如图4所示)，该气体旁通管路231的一端与该冷却气进气管路23连接，而该气体旁通管路231的另一端与该废气进气管路21连接，通过该气体旁通管路231将部分的废气输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用。

另外，下一步进行的步骤s120脱附区脱附：通过与第二热交换器40的第二冷侧管路401的另一端连接的热气输送管路25将热气体输送到该吸附转轮20的脱附区203进行脱附，再通过该脱附浓缩气体管路26的另一端将脱附浓缩气体输送到第三热交换器50的第三冷侧管路501的一端。而完成上述步骤s120后即进行下一步骤s130。

其中该上述的步骤s120中该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有比例风门，而该比例风门设有两种实施形式，其中第一种实施形式为该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该热气输送管路25设有一热气控制阀门251(如图3所示)，并通过该连通控制阀门271及该热气控制阀门251形成比例风门，另外第二实施形式为该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该冷却气输送管路24设有一冷却气控制阀门241(如图4所示)，并通过该连通控制阀门271及该冷却气控制阀门241形成比例风门，借此，不管是通过该连通控制阀门271及该热气控制阀门251的设计的比例风门或是通过该连通控制阀门271及该冷却气控制阀门241的设计的比例风门，都能调整控制风力的大小，使该热气输送管路25内的温度保持一定高温提供给该吸附转轮20的脱附区203使用。

另外，下一步进行的步骤s130脱附浓缩气体输送：该脱附浓缩气体再通过该第三热交换器50的第三冷侧管路501的另一端连接的第三脱附浓缩气体输送管路51输送到该第一热交换器30的第一冷侧管路301的一端，并再通过该第一热交换器30的第一冷侧管路301的另一端连接的第一脱附浓缩气体输送管路33输送到该直燃式焚烧炉10的进气口11。而完成上述步骤s130后即进行下一步骤s140。

另外，下一步进行的步骤s140焚烧气体回收输送：将经过焚烧后的气体通过与该直燃式焚烧炉10的出气口12连接的第一焚烧热气回收管路32输送到该第一热交换器30的第一热侧管路302的一端，再由该第一热交换器30的第一热侧管路302的另一端连接的第一热气回收管路31输送到该第二热交换器40的第二热侧管路402的一端。而完成上述步骤s140后即进行下一步骤s150。

另外，下一步进行的步骤s150焚烧气体再输送：将输送到该第二热交器40的第二热侧管路402的焚烧后的气体，再经过与该第二热交换器40的第二热侧管路402的另一端连接的第三热气回收管路52输送到该第三热交换器50的第三热侧管路502的一端，并再通过与该第三热交换器50的第三热侧管路502的另一端连接的该冷却热气回收管路72输送到该冷却器70。而完成上述步骤s150后即进行下一步骤s160。

另外，下一步进行的步骤s160经过除尘设备回收：将输送到该冷却器70的焚烧后的气体，再经过与该冷却器70连接的除尘进气管路81输送到该除尘设备80，并再通过该除尘设备80连接的除尘出气管路82输送到该废气进气管路21的一端。其中该除尘出气管路82设有一风机821，以将该除尘出气管路82内的气体推向该废气进气管路21内。

借此，使该吸附转轮20的脱附区203脱附下来的脱附浓缩气体通过该脱附浓缩气体管路26传输到该第三热交换器50的第三冷侧管路501进行热交换，并再通过该第三脱附浓缩气体输送管路51传输到该第一热交换器30的第一冷侧管路301进行热交换(如图2至图4所示)。再使经过该第一热交换器30的第一冷侧管路301输送的脱附浓缩气体通过该第一脱附浓缩气体输送管路33输送到该直燃式焚烧炉10的进气口11，再将经过该直燃式焚烧炉10燃烧后的气体由该出气口12通过该第一焚烧热气回收管路32输送到该第一热交换器30的第一热侧管路302内进行热回收，并经过该第一热气回收管路31输送到该第二热交换器40的第二热侧管路402内进行热回收，且再经过该第三热气回收管路52输送到该第三热交换器50的第三热侧管路502内进行热回收。另外由该第三热交换器50的第三热侧管路502通过该冷却热气回收管路72输送到该冷却器70进行热交换，且该冷却器70为壳管式冷却器、鳍管式冷却器或板式热交换器冷却器的其中一种，而该冷却器70再通过该除尘进气管路81输送到该除尘设备80内以进行粉尘或二氧化硅(sio2)等氧化物的分离，最后再将由该除尘设备80输出的气体输送到该废气进气管路21，使燃烧后的气体进入该吸附转轮20的吸附区201循环利用，而不经过该烟囱90进行排放，使该烟囱90的排放量降低，并使有机废气的处理效率提升。

而本发明第二种实施方式的直燃回流热回收高效率有机废气处理系统，主要设有一直燃式焚烧炉10、一吸附转轮20、一第一热交换器30、一第二热交换器40、一第三热交换器50、第四热交换器60、一冷却器70及一除尘设备80(如图6至图8所示)，其中该第一热交换器30设有第一冷侧管路301及第一热侧管路302，该第二热交换器40设有第二冷侧管路401及第二热侧管路402，该第三热交换器50设有第三冷侧管501路及第三热侧管路502，该第四热交换器60设有第四冷侧管路601及第四热侧管路602，而该除尘设备80为袋式除尘器、电袋式复合除尘器、惯性除尘器、静电除尘器、离心式除尘器、滤筒式脉冲除尘器、脉冲袋式除尘器、脉冲滤芯除尘器、脉冲喷吹袋式除尘器、湿式除尘器、湿式电除尘器、湿式静电除尘器、水膜除尘器、文丘里管除尘器、旋风分离器、烟道除尘器、多层除尘器、负压反吹滤袋除尘器、低压长袋脉冲除尘器、卧式静电除尘器、无动力除尘器、荷电水雾除尘器、多管旋风除尘器或防爆除尘器的其中一种，另外该直燃式焚烧炉(to)10设有一进气口11及一出气口12，且该直燃式焚烧炉(to)10内设有炉头及炉膛，使该有机废气由该进气口11进入该炉头进行燃烧，再使经过燃烧后的气体穿过该炉膛并由该出气口12排出。

而该吸附转轮20为沸石浓缩转轮或是其他材质的浓缩转轮，且该吸附转轮20内设有吸附区201、冷却区202及脱附区203，该吸附转轮20设有一废气进气管路21、一净气排放管路22、一冷却气进气管路23、一冷却气输送管路24、一热气输送管路25及一脱附浓缩气体管路26(如图6至图8所示)，而该废气进气管路21的另一端连接至该吸附转轮20的吸附区201的一侧，以使该吸附转轮20的吸附区201吸附该废气进气管路21内的废气，且该净气排放管路22的一端与该吸附转轮20的吸附区201的另一侧连接，使该废气经该吸附转轮20的吸附区201净化后再由该净气排放管路22输送。

另外该冷却气进气管路23的一端与该吸附转轮20的冷却区202的一侧连接，而该冷却气进气管路23有两种实施形式，其中第一种实施形式为该冷却气进气管路23供外气进入(如图6及图7所示)，而该外气为新鲜空气，以将该外气用输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用，另外第二种实施形式该冷却气进气管路23设有一气体旁通管路231(如图8所示)，该气体旁通管路231的一端与该冷却气进气管路23连接，而该气体旁通管路231的另一端与该废气进气管路21连接，通过该气体旁通管路21将部分的废气输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用。

另外该冷却气输送管路24的一端与该吸附转轮20的冷却区202的另一侧连接，而该冷却气输送管路24的另一端与该第二热交换器40的第二冷侧管路401的一端连接，以将该冷却气输送管路24内的冷却气输送到该第二热交换器40内进行热交换(如图6至图8所示)，另外该第二热交换器40的第二冷侧管路401的另一端与该热气输送管路25的另一端连接，而该热气输送管路25的一端与该吸附转轮20的脱附区203的另一侧连接，且该吸附转轮20的脱附区203的一侧与该脱附浓缩气体管路26的一端连接，使将经过该第二热交换器40提升的热气通过该热气输送管路25传输到该吸附转轮20的脱附区203进行脱附使用，并将经过高温脱附下来的脱附浓缩气体通过该脱附浓缩气体管路26传输运送。

另外本发明第一种实施方式中的该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有比例风门，而该比例风门设有两种实施形式，其中第一种实施形式为该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该热气输送管路25设有一热气控制阀门251(如图7所示)，并通过该连通控制阀门271及该热气控制阀门251形成比例风门，另外第二实施形式为该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该冷却气输送管路24设有一冷却气控制阀门241(如图8所示)，并通过该连通控制阀门271及该冷却气控制阀门241形成比例风门，借此，不管是通过该连通控制阀门271及该热气控制阀门251的设计的比例风门或是通过该连通控制阀门271及该冷却气控制阀门241的设计的比例风门，都能调整控制风力的大小，使该热气输送管路25内的温度保持一定高温提供给该吸附转轮20的脱附区203使用。

此外，该第四热交换器60连接有一第四脱附浓缩气体输送管路61及一第四热气回收管路62，该第四冷侧管路601的一端与该脱附浓缩气体管路26的另一端连接，该第四脱附浓缩气体输送管路61的一端与该第四冷侧管路601的另一端连接(如图6至图8所示)，该第四脱附浓缩气体输送管路61的另一端与该第三热交换器50的第三冷侧管路501的一端连接，该第四热气回收管路62的一端与该第四热交换器60的第四热侧管路602的一端连接，该第四热气回收管路62的另一端与该第三热交换器50的第三热侧管路502的另一端连接。借此，使该吸附转轮20的脱附区203脱附下来的脱附浓缩气体通过该脱附浓缩气体管路26传输到该第四热交换器60的第四冷侧管路601进行热交换，并再通过该第四脱附浓缩气体输送管路61传输到该第三热交换器50的第三冷侧管路501进行热交换。

另外该第三热交换器50连接有一第三脱附浓缩气体输送管路51及一第三热气回收管路52，该第三脱附浓缩气体输送管路51的一端与该第三热交换器50的第三冷侧管路501的另一端连接(如图6至图8所示)，该第三脱附浓缩气体输送管路51的另一端与该第一热交换器30的第一冷侧管路301的一端连接，该第三热气回收管路52的一端与该第三热交换器50的第三热侧管路502的一端连接，该第三热气回收管路52的另一端与该第二热交换器40的第二热侧管路402的另一端连接。借此，将该脱附浓缩气体再通过该第三脱附浓缩气体输送管路51传输到该第一热交换器30的第一冷侧管路301进行热交换。

另外该第一热交换器30连接有一第一热气回收管路31、一第一焚烧热气回收管路32及一第一脱附浓缩气体输送管路33，其中该第一焚烧热气回收管路32的一端与该第一热交换器30的第一热侧管路302的一端连接，该第一焚烧热气回收管路32的另一端与该直燃式焚烧炉10的出气口11连接(如图6至图8所示)，该第一热气回收管路31的一端与该第一热交换器30的第一热侧管路302的另一端连接，该第一热气回收管路31的另一端与该第二热交换器40的第二热侧管路402的一端连接，该第一脱附浓缩气体输送管路33的一端与该第一热交换器30的第一冷侧管路301的另一端连接，该第一脱附浓缩气体输送管路33的另一端与该直燃式焚烧炉10的进气口11连接。借此，使经过该第一热交换器30的第一冷侧管路301输送的脱附浓缩气体通过该第一脱附浓缩气体输送管路33输送到该直燃式焚烧炉10的进气口11，再将经过该直燃式焚烧炉10燃烧后的气体由该出气口12通过该第一焚烧热气回收管路32输送到该第一热交换器30的第一热侧管路302内进行热回收，并经过该第一热气回收管路31输送到该第二热交换器40的第二热侧管路402内进行热回收，且再经过该第三热气回收管路52输送到该第三热交换器50的第三热侧管路502内进行热回收，再经过该第四热气回收管路62输送到该第四热交换器60的第四热侧管路602内进行热回收。

另外该冷却器70内设有冷却水管路71，以一进一出的方式将流经该冷却器70的高温热气进行降温，且该冷却器70为壳管式冷却器、鳍管式冷却器或板式热交换器冷却器的其中一种，而该冷却器连接有一冷却热气回收管路72，该冷却热气回收管路72与该第四热交换器60的第四热侧管路602的另一端连接(如图6至图8所示)。而该除尘设备80连接有一除尘进气管路81及一除尘出气管路82，该除尘进气管路81的一端与该除尘设备80连接，该除尘进气管路81的另一端与该冷却器70连接，该除尘出气管路82的一端与该除尘设备80连接，该除尘出气管路82的另一端与该废气进气管路21连接。另外该除尘出气管路82设有一风机821，以将该除尘出气管路82内的气体推向该废气进气管路21内。借此，将经过该直燃式焚烧炉10燃烧后的气体由该第四热交换器60的第四热侧管路602通过该冷却热气回收管路72输送到该冷却器70进行热交换，而该冷却器70再通过该除尘进气管路81输送到该除尘设备80内以进行粉尘或二氧化硅(sio2)等氧化物的分离，最后再将由该除尘设备80输出的气体输送到该废气进气管路21，使燃烧后的气体进入该吸附转轮20的吸附区201循环利用，而不经过该烟囱90进行排放，使该烟囱90的排放量降低，并使有机废气的处理效率提升。

最后，该净气排放管路22的另一端连接一烟囱90，使经过该净气排放管路22排出净化后气体输送到烟囱90进行排放(如图6至图8所示)。另外该净气排放管路22设有一风机221，以将该净气排放管路22内的气体推向该烟囱90。

而本发明第二种实施方式的直燃回流热回收高效率有机废气处理方法，其主要用于有机废气处理系统，且包括有一直燃式焚烧炉10、一吸附转轮20、一第一热交换器30、一第二热交换器40、一第三热交换器50、第四热交换器60、一冷却器70及一除尘设备80(如图6至图8所示)，该吸附转轮20设有吸附区201、脱附区203及冷却区202，该吸附转轮20连接有一废气进气管路21、一净气排放管路22、一冷却气进气管路23、一冷却气输送管路24、一热气输送管路25及一脱附浓缩气体管路26，该第一热交换器30设有第一冷侧管路301及第一热侧管路302，该第二热交换器40设有第二冷侧管路401及第二热侧管路402，该第三热交换器50设有第三冷侧管路501及第三热侧管路502，该第四热交换器60设有第四冷侧管路601及第四热侧管路602。

而该除尘设备80为袋式除尘器、电袋式复合除尘器、惯性除尘器、静电除尘器、离心式除尘器、滤筒式脉冲除尘器、脉冲袋式除尘器、脉冲滤芯除尘器、脉冲喷吹袋式除尘器、湿式除尘器、湿式电除尘器、湿式静电除尘器、水膜除尘器、文丘里管除尘器、旋风分离器、烟道除尘器、多层除尘器、负压反吹滤袋除尘器、低压长袋脉冲除尘器、卧式静电除尘器、无动力除尘器、荷电水雾除尘器、多管旋风除尘器或防爆除尘器的其中一种，另外该直燃式焚烧炉(to)10设有一进气口11及一出气口12，且该直燃式焚烧炉(to)10内设有炉头及炉膛，使该有机废气由该进气口11进入该炉头进行燃烧，再使经过燃烧后的气体穿过该炉膛并由该出气口12排出。而该处理方法的主要步骤(如图5所示)包括：步骤s200吸附区吸附：将废气通过该废气进气管路21的另一端送入该吸附转轮20的吸附区201的一侧进行吸附，再将吸附后的气体通过该净气排放管路22的另一端进行输送。而完成上述步骤s100后即进行下一步骤s210。

其中上述的步骤s200中该净气排放管路22的另一端连接一烟囱90，使经过该净气排放管路22排出净化后气体输送到烟囱90进行排放(如图6至图8所示)。另外该净气排放管路22设有一风机221，以将该净气排放管路22内的气体推向该烟囱90。

另外，下一步进行的步骤s210冷却区冷却：通过该冷却气进气管路23的另一端输送冷却气至该吸附转轮20的冷却区202进行冷却，再通过该冷却气输送管路24的另一端将经过冷却区2的冷却气输送到该第二热交换器40的第二冷侧管路401的一端。而完成上述步骤s110后即进行下一步骤s220。

其中上述的步骤s210中该冷却气进气管路23的一端与该吸附转轮20的冷却区202的一侧连接，而该冷却气进气管路23有两种实施形式，其中第一种实施形式为该冷却气进气管路23供外气进入(如图6及图7所示)，而该外气为新鲜空气，以将该外气用输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用，另外第二种实施形式为该冷却气进气管路23设有一气体旁通管路231，该气体旁通管路231的一端与该冷却气进气管路23连接，而该气体旁通管路231的另一端与该废气进气管路21连接，通过该气体旁通管路231将部分的废气输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用。

另外，下一步进行的步骤s220脱附区脱附：通过与第二热交换器40的第二冷侧管路401的另一端连接的热气输送管路25将热气体输送到该吸附转轮20的脱附区203进行脱附，再通过该脱附浓缩气体管路26的另一端将脱附浓缩气体输送到第四热交换器60的第四冷侧管路601的一端。而完成上述步骤s220后即进行下一步骤s230。

其中该上述的步骤s220中该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有比例风门，而该比例风门设有两种实施形式，其中第一种实施形式为该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该热气输送管路25设有一热气控制阀门251(如图7所示)，并通过该连通控制阀门271及该热气控制阀门251形成比例风门，另外第二实施形式为该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该冷却气输送管路24设有一冷却气控制阀门241(如图8所示)，并通过该连通控制阀门271及该冷却气控制阀门241形成比例风门，借此，不管是通过该连通控制阀门271及该热气控制阀门251的设计的比例风门或是通过该连通控制阀门271及该冷却气控制阀门241的设计的比例风门，都能调整控制风力的大小，使该热气输送管路25内的温度保持一定高温提供给该吸附转轮20的脱附区203使用。

另外，下一步进行的步骤s230脱附浓缩气体输送：该脱附浓缩气体再通过该第四热交换器60的第四冷侧管路601的另一端连接的第四脱附浓缩气体输送管路61输送到该第三热交换器50的第三冷侧管路501的一端，并再通过该第三热交换器50的第三冷侧管路501的另一端连接的第三脱附浓缩气体输送管路51输送到该第一热交换器30的第一冷侧管路301的一端，且再通过该第一热交换器30的第一冷侧管路301的另一端连接的第一脱附浓缩气体输送管路33输送到该直燃式焚烧炉10的进气口11。而完成上述步骤s230后即进行下一步骤s240。

另外，下一步进行的步骤s240焚烧气体回收输送：将经过焚烧后的气体通过与该直燃式焚烧炉10的出气口12连接的第一焚烧热气回收管路32输送到该第一热交换器30的第一热侧管路302的一端，再由该第一热交换器30的第一热侧管路302的另一端连接的第一热气回收管路31输送到该第二热交换器40的第二热侧管路402的一端。而完成上述步骤s240后即进行下一步骤s250。

另外，下一步进行的步骤s150焚烧气体再输送：将输送到该第二热交器40的第二热侧管路402的焚烧后的气体，再经过与该第二热交换器40的第二热侧管路402的另一端连接的第三热气回收管路52输送到该第三热交换器50的第三热侧管路502的一端，并再通过与该第三热交换器50的第三热侧管路502的另一端连接的第四热气回收管路62输送到该第四热交换器60的第四热侧管路602的一端，且再通过与该第四热交换器60的第四热侧管路602的另一端连接的该冷却热气回收管路72输送到该冷却器70。而完成上述步骤s250后即进行下一步骤s260。

另外，下一步进行的步骤s260经过除尘设备回收：将输送到该冷却器70的焚烧后的气体，再经过与该冷却器70连接的除尘进气管路81输送到该除尘设备80，并再通过该除尘设备80连接的除尘出气管路82输送到该废气进气管路21的一端。其中该除尘出气管路82设有一风机821，以将该除尘出气管路82内的气体推向该废气进气管路21内。

借此，使该吸附转轮20的脱附区203脱附下来的脱附浓缩气体通过该脱附浓缩气体管路26传输到该第四热交换器60的第四冷侧管路601进行热交换(如图6至图8所示)，再通过该第四脱附浓缩气体输送管路61传输到该第三热交换器50的第冷侧管路501进行热交换，并再通过该第三脱附浓缩气体输送管路51传输到该第一热交换器30的第一冷侧管路601进行热交换。再使经过该第一热交换器30的第一冷侧管路601输送的脱附浓缩气体通过该第一脱附浓缩气体输送管路33输送到该直燃式焚烧炉10的进气口11，再将经过该直燃式焚烧炉10燃烧后的气体由该出气口12通过该第一焚烧热气回收管路32输送到该第一热交换器30的第一热侧管路302内进行热回收，并经过该第一热气回收管路31输送到该第二热交换器40的第二热侧管路402内进行热回收，且再经过该第三热气回收管路52输送到该第三热交换器50的第三热侧管路502内进行热回收，并再经过该第四热气回收管路62输送到该第四热交换器60的第四热侧管路602内进行热回收。另外由该第四热交换器60的第四热侧管路602通过该冷却热气回收管路72输送到该冷却器70进行热交换，且该冷却器70为壳管式冷却器、鳍管式冷却器或板式热交换器冷却器的其中一种，而该冷却器70再通过该除尘进气管路81输送到该除尘设备80内以进行粉尘或二氧化硅(sio2)等氧化物的分离，最后再将由该除尘设备80输出的气体输送到该废气进气管路21，使燃烧后的气体进入该吸附转轮20的吸附区201循环利用，而不经过该烟囱90进行排放，使该烟囱90的排放量降低，并使有机废气的处理效率提升。

以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。