专利名称：双管式开启烧结炉的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种化学气象沉积烧结设备，具体涉及一种针对大尺度软性材料烧结及生长薄膜烧结的双管式开启烧结炉。
背景技术：
在新型材料研发以及薄膜生长的研发生产中，烧结装置是必不可少的关键设备之一。但是当针对大长度的线性材料，大面积的软膜材料时，若使用普通的烧结设备，由于材料体积过大的特殊性，会导致空间不够、装载难度大、材料固定困难、烧结空间利用率较低的现象产生。
实用新型内容本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种可以有效利用设备空间，针对大长度的线性材料、大面积的软膜材料所使用的双管式开启烧结炉。本实用新型提供的双管式开启烧结炉包括炉体，炉体中部的加热腔内设有一贯通的中心通道，中心通道内安装有烧结外管及载物内管，所述载物内管同轴呈间隙设置在烧结外管内，烧结外管两端设有密封法兰。优选地，所述密封法兰外分别设有气氛抽气口及气氛输气口。优选地，所述密封法兰上还设有真空表。本实用新型工作时，可将大尺寸的物料裹在载物内管外壁上，该方式减小了内腔体的容积，大大地加大了空间使用效率。并且载物内管在炉腔温场中心，使得材料温场均勻，可同时创造气氛及真空环境。不仅提高了大尺寸材料所需的工作空间，减小了对设备体积的要求，而且保证了对大尺寸材料的烧结温度的均勻性。
图1是本实用新型的结构示意图。图2是本实用新型实施例2的结构示意图。图3是图2的侧视图。
具体实施方式
以下结合具体实施例，对本实用新型做进一步说明。应理解，以下实施例仅用于说明本实用新型而非用于限制本实用新型的范围。实施例1参见图1，本实用新型提供的双管式开启烧结炉包括炉体1，炉体1中部的加热腔2 内设有一贯通的中心通道，中心通道内安装有烧结外管3及载物内管4，所述载物内管4同轴呈间隙设置在烧结外管3内，烧结外管3两端设有密封法兰5。优选地，所述密封法兰5外分别设有气氛抽气口 6及气氛输气口 7。[0015]优选地，所述烧结外管3上还设有真空表8。实施例2使用时，参见图2及图3，由于载物内管4同轴悬置于烧结外管3内，所以可以将大尺寸的物料9附裹于载物内管4外壁上，将其推入烧结外管3，再将密封法兰密封后即可烧结。
权利要求1.一种双管式开启烧结炉包括炉体，其特征在于炉体中部的加热腔内设有一贯通的中心通道，中心通道内安装有烧结外管及载物内管，所述载物内管同轴呈间隙设置在烧结外管内，烧结外管两端设有密封法兰。
2.根据权利要求1所述的双管式开启烧结炉，其特征在于所述密封法兰外分别设有气氛抽气口及气氛输气口。
3.根据权利要求1或2所述的双管式开启烧结炉，其特征在于所述密封法兰上还设有真空表。
专利摘要本实用新型公开了一种双管式开启烧结炉，该烧结炉包括炉体，炉体中部的加热腔内设有一贯通的中心通道，中心通道内安装有烧结外管及载物内管，所述载物内管同轴呈间隙设置在烧结外管内，烧结外管两端设有密封法兰；密封法兰外分别设有气氛抽气口及气氛输气口。本实用新型工作时，可将大尺寸的物料裹在载物内管外壁上，该方式减小了内腔体的容积，大大地加大了空间使用效率。并且载物内管在炉腔温场中心，使得材料温场均匀，可同时创造气氛及真空环境。不仅提高了大尺寸材料所需的工作空间，减小了对设备体积的要求，而且保证了对大尺寸材料的烧结温度的均匀性。
文档编号F27B21/00GK202119249SQ20112016223
公开日2012年1月18日 申请日期2011年5月19日 优先权日2011年5月19日
发明者王伟, 蔡永国, 邾根祥 申请人:合肥科晶材料技术有限公司