一种用于洁净室的防污染扩散系统的制作方法

本实用新型涉及洁净室技术领域，具体为一种用于洁净室的防污染扩散系统。

背景技术：

在洁净室内，由于工艺需要，部分设备会生产有毒有害等危险气体，传统的防止污染物扩散的方法是采用隔墙以及在污染区采用负压进行隔离，而普通的隔墙难以保证污染物不通过缝隙泄漏扩散，而使用负压进行隔离虽然能使得洁净室内的污染不外泄，然而却因为负压的存在导致洁净室外的污染会因为压差进入洁净室内，造成对洁净室的污染。

技术实现要素：

针对现有技术中洁净室无法确保洁净室污染物不扩散以及洁净室会被外界污染的问题，本实用新型提供了一种用于洁净室的防污染扩散系统，可以防止洁净室的污染物扩散。

其技术方案是这样的：一种用于洁净室的防污染扩散系统，包括洁净室，所述洁净室的上端设有上静压箱，所述洁净室的下端设有下静压箱，其特征在于：所述洁净室、上静压箱以及下静压箱的外侧分别设有双层墙结构，所述双层墙结构包括外墙体和内墙体，所述外墙体连接送风管，所述送风管连接送风装置，所述送风装置向所述双层墙结构送风使得所述双层墙结构内部维持微正压。

进一步的，所述上静压箱与所述洁净室外侧的双层墙结构相连通，所述洁净室与所述下静压箱外侧的双层墙结构内设有隔断。

进一步的，所述上静压箱与所述洁净室外侧的外墙体连接上送风管，所述上送风管连接上送风装置，所述下静压箱外侧的外墙体连接下送风管，所述下送风管连接下送风装置。

进一步的，所述上送风管上设有上侧气动控制阀，所述下送风管上设有下侧气动控制阀。

进一步的，所述上静压箱与所述洁净室外侧的双层墙结构内设有上压力传感器，所述下静压箱外侧的双层墙结构内设有下压力传感器。

进一步的，所述上侧气动控制阀、下侧气动控制阀、上压力传感器、下压力传感器、上送风装置、下送风装置分别与PLC装置电控连接。

本实用新型在产生污染物的洁净室以及上、下静压箱的外部设置双层墙结构，通过连接送风装置向双层墙结构内部送风使得双层墙内部维持微正压，使得双层墙结构内的压力大于洁净室以及上、下静压箱的压力，避免污染物从缝隙中向外扩散，可以防止洁净室的污染物向外扩散，同时因为双层墙内维持微正压，压差的存在可以防止洁净室被外界污染，由于洁净室的送风系统是从上向下送风，同时在洁净室与下静压箱的双侧墙体之间设置隔断，万一发生污染物泄漏，污染物从洁净室向下吹向下静压箱并被控制在下静压箱外侧的双层墙结构中，可以防止污染物向上扩散。

附图说明

图1为本实用新型的第一种实施例的用于洁净室的防污染扩散系统的示意图；

图2为本实用新型的第二种实施例的用于洁净室的防污染扩散系统的示意图。

具体实施方式

见图1，本实用新型的一种用于洁净室的防污染扩散系统，包括洁净室1，洁净室1的上端设有上静压箱2，洁净室1的下端设有下静压箱3，洁净室1、上静压箱2以及下静压箱3的外侧分别设有双层墙结构4，双层墙结构包括外墙体41和内墙体42，上静压箱2与洁净室1外侧的双层墙结构相连通，洁净室1与下静压箱3外侧的双层墙结构内设有隔断5，上静压箱2与洁净室1外侧的外墙体41连接上送风管6，上送风管6连接上送风装置7，下静压箱2外侧的外墙体41连接下送风管8，下送风管7连接下送风装置9，上送风装置7、下送风装置9向双层墙结构送风使得双层墙结构内部维持微正压；上静压箱2与洁净室1外侧的双层墙结构内设有上压力传感器10，下静压箱3外侧的双层墙结构内设有下压力传感器11，上送风管6上设有上侧气动控制阀12，下送风管7上设有下侧气动控制阀13。

当上压力传感器10或下压力传感器11检测到双层墙结构内的气压小于设定值时，工作人员可以分别控制上侧气动控制阀12增大气动调节阀的开度或控制下侧气动控制阀13增大气动调节阀的开度，分别通过上送风装置7或下送风装置9补充双层墙内的气体，达到设定值后，再次停止增大气动调节阀的开度，维持墙内设定的压力值。

见图2，本实用新型的另一个实施例，出于进一步提高系统的自动化考虑，将上侧气动控制阀12、下侧气动控制阀13、上压力传感器10、下压力传感器11、上送风装置7、下送风装置9分别与PLC装置14电控连接，其中上侧气动控制阀12、下侧气动控制阀13采用的是Honeywell公司的DN100型号的气动控制阀，上压力传感器10、下压力传感器11采用的是KIMO公司的型号CP112-PO的压力传感器，PCL装置采用的是西门子6ES7315-2EH14-0AB0的PLC装置，使用PLC实现本专利中的所要求自动控制是本领域的常规技术手段，并不是本实用新型保护的重点，在此不在赘述具体的电路连接关系，其不影响方案的完整性。

当下侧压力传感器11检测到双层墙结构内的气压小于设定值时，下侧压力传感器11发送电信号至PLC控制系统14，由PLC控制系统14发送指令至下侧气动控制阀13，增大气动调节阀的开度，当双层墙内的气压达到设定值时，由下侧压力传感器11发送电信号至PLC控制系统14，由PLC控制系统14发送指令至下侧气动控制阀13，停止增大气动调节阀的开度，维持墙内设定的压力值。

当上压力传感器10检测到双层墙结构内的气压小于设定值时，上压力传感器10发送电信号至PLC控制系统14，由PLC控制系统14发送指令至上侧气动控制阀12，增大气动调节阀的开度，当双层墙内的气压达到设定值时，由上压力传感器10发送电信号至PLC控制系统14，由PLC控制系统14发送指令至上侧气动控制阀12，停止增大气动调节阀的开度，维持墙内设定的压力值。

本实用新型在产生污染物的洁净室以及上、下静压箱的外部设置双层墙结构，通过连接送风装置向双层墙结构内部送风使得双层墙内部维持微正压，使得双层墙结构内的压力大于洁净室以及上、下静压箱的压力，避免污染物从缝隙中向外扩散，可以防止洁净室的污染物向外扩散，同时因为双层墙内维持微正压，压差的存在可以防止洁净室被外界污染，由于洁净室的送风系统是从上向下送风，同时在洁净室与下静压箱的双侧墙体之间设置隔断，万一发生污染物泄漏、从洁净室向下吹向下静压箱，可以防止污染物向上扩散。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。