一种用于管式真空炉的自动送料装置的制作方法

本实用新型涉及电子半导体工艺专用装备领域，具体为一种用于管式真空炉的自动送料装置。

背景技术：

退火指的是将工件加热到一定温度，保持足够时间，然后以适宜速度冷却，达到降低硬度，消除残余应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向等目的。现有技术的管式真空炉炉管及反应管通常较长，进出料机构运动方向要求与反应管严格同心，这对进出料机构的加工及装备精度提出了严格的要求。此外，真空退火炉工艺过程中反应腔内为真空状态，即利用真空抽气系统使在一定的空间内的气体达到一定能够满足样件工艺要求的真空度，所以工艺过程中需对扩散炉反应管进行严格密封。真空密封时要求金属炉门的端面与反应管口端面严格平行，才能保证密封可靠，这些对送料系统的炉门有送料机构的加工及装配精度提出了很高的要求。

现有技术的真空退火炉的进出料、炉门开关均为工人手动操作，劳动强度大，且手工操作很容易带来对工件的污染影响。

技术实现要素：

为了克服现有技术方案的不足,本实用新型提供一种用于管式真空炉的自动送料装置，通过直线单元模组上设置的送料底板以及送料台，实现管式真空炉的自动进出料以及炉门的自动开关操作，提高自动化水平，能有效的解决背景技术提出的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种用于管式真空炉的自动送料装置，包括直线单元模组，所述直线单元模组上端设置有送料底板，所述送料底板上端设置有送料台，所述送料台上设置有送料杆，所述送料杆的一端通过送料杆支撑铰链安装在送料台上，所述送料杆的另一端通过金属波纹管连接有金属炉门，所述金属炉门通过顶杆组件安装于送料台上，且所述顶杆组件包括设置在送料台上滑座，以及穿过滑座的炉门顶杆，所述炉门顶杆通过铰链与金属炉门相连接，所述炉门顶杆上套装有弹簧。

进一步地，所述送料底板以及送料台上设置有调节块和顶紧螺杆。

进一步地，所述直线单元模组通过步进电动机驱动。

进一步地，所述金属波纹管与金属炉门和送料杆之间通过KF密封圈进行密封，所述铰链为球铰链接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)本实用新型的通过直线单元模组上设置的送料底板以及送料台，实现管式真空炉的自动进出料以及炉门的自动开关操作，提高自动化水平，减轻工人劳动强度，减少工件的污染；

(2)本实用新型的送料底板以及送料台上均设置有调节块以及顶紧螺杆，从而实现送料底板和送料台在XYZ方向的微调，此外送料杆通过送料杆支撑铰链安装在送料台上，且可绕料杆支撑铰链进行摆动，实现多自由度的调节，降低了制造及装配精度要求，避免了送料机构与反应管不同心、炉门贴合不严产生漏气等情况；

(3)本实用新型的金属炉门的密封圈与反应管端面贴合，送料杆和炉门顶杆分别通过波纹管和铰链与金属炉门连接，因此金属炉门能够进行自适应调节，降低了制造及装配精度要求，炉门贴合不严产生漏气等情况。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的送料台结构示意图；

图3为本实用新型的送料台内部结构示意图；

图4为本实用新型的送料装置俯视结构示意图；

图5为本实用新型的送料装置剖视结构示意图。

图中标号：

1-直线单元模组；2-送料底板；3-送料台；4-送料杆；5-送料支撑铰链； 6-金属波纹管；7-金属炉门；8-顶杆组件；9-铰链；10-弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1至图5所示，本实用新型提供了一种用于管式真空炉的自动送料装置，包括直线单元模组1，直线单元模组1通过步进电动机驱动，直线单元模组1上端设置有送料底板2，送料底板2上端设置有送料台3，送料台3采用丝杆或者皮带传送的方式在直线导轨上运动，实现管式真空炉的自动进出料以及炉门的自动开关操作，提高自动化水平，减轻工人劳动强度，减少工件的污染。

在本实施方式中，送料底板2以及送料台3上设置有调节块和顶紧螺杆，通过调节顶杆螺杆实现送料底板2和送料台3在XYZ方向的微调，在送料台3 上设置有送料杆4，送料杆4的一端通过送料杆支撑铰链5安装在送料台3上，送料杆4的另一端通过金属波纹管6连接有金属炉门7，送料杆4可绕送料杆支撑铰链5进行摆动，实现多自由度的调节，降低了制造及装配精度要求，避免了送料机构与反应管不同心、炉门贴合不严产生漏气等情况。

在本实施方式中，金属炉门7通过顶杆组件8安装于送料台3上，且可整体在送料台3上移动，顶杆组件8包括设置在送料台3上滑座，以及穿过滑座的炉门顶杆，炉门顶杆通过铰链9与金属炉门7相连接，铰链9为球铰链接，炉门顶杆上套装有弹簧10，送料杆4和炉门顶杆分别通过金属波纹管6和铰链9与金属炉门7连接，因此金属炉门7能够进行自适应调节，降低了制造及装配精度要求，炉门贴合不严产生漏气等情况。

进一步说明的是，金属波纹管6与金属炉门7和送料杆4之间通过KF密封圈进行密封，金属炉门7上的密封圈与反应罐端面相贴合，保证反应罐的密闭性。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。