一种半导体硅片干燥装置的制作方法

1.本实用新型涉及非标自动化技术领域，尤其涉及一种半导体硅片干燥装置。


背景技术：

2.硅片在米粒大的硅片上，已能集成16万个晶体管，这是科学技术进步的又一个里程碑。地壳中含量达25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一；
3.经检索专利：一种半导体硅片干燥装置(202021655106.2)，该专利可在需要时将对应放置台上的半导体硅片取出，操作方式简便，且拿取半导体硅片时，箱体内热量散发较少，避免了资源浪费，并且半导体硅片上各部位均能充分的与热风接触，提高了干燥效果以及速率，但是该装置取出干燥后的气体时，热量排出，导致箱体内部温度整体下降，降低内部干燥温度。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种半导体硅片干燥装置。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种半导体硅片干燥装置，包括圆柱和等距离开设在圆柱外壁的扇形槽，所述扇形槽的顶部外壁均安装有固定结构，且位于扇形槽两侧的圆柱外壁均铰接有双开门，所述圆柱的顶部外壁安装有干燥结构，所述干燥结构包括安装在圆柱顶部外壁的风机、安装在圆柱中心处的干燥导管、安装在圆柱顶部外壁的隔温箱、安装在隔温箱内部的加热丝、安装在圆柱顶部外壁的过滤箱、固定在过滤箱内部的过滤网和过滤棉、开设在过滤箱一侧外壁的进气口和安装在圆柱顶部外壁的控制器，所述干燥导管位于扇形槽的一侧外壁均连接有输送管，且输送管的中安装有电磁阀，所述扇形槽的一侧外壁安装有温度传感器。
7.优选的，所述风机的输出端通过管道与干燥导管的顶部一端连接，且风机的输入端与隔温箱的内部连通，所述隔温箱的一侧连接有连接管，且连接管的另一端与过滤箱连通，且进气口中套接有防尘网。
8.优选的，所述固定结构包括固定在扇形槽顶部外壁中心处的放置块、开设在放置块顶部外壁的圆槽、开设在圆槽两侧的固定槽、等距离焊接在圆槽底部外壁的支撑杆、放置在支撑杆顶部外壁的放置网、开设在放置块一侧外壁的输送孔、插设在固定槽中的固定杆、焊接在固定杆底部外壁中心处的弹簧和焊接在弹簧另一端的保护垫，且输送管的另一端与输送孔连接。
9.优选的，所述温度传感器通过信号线连接控制器的信号输入端，且双开门中安装有泄压阀。
10.优选的，所述风机、加热丝和电磁阀通过导线连接开关，且开关通过导线连接电
源。
11.本实用新型的有益效果为：
12.1、使用时，将硅片放置在放置网上，将固定杆放置在固定槽中，固定杆底部的保护垫于放置网对硅片进行限位，启动加热丝，加热丝对隔温箱内部的进行加热，之后启动风机，风机抽取经过过滤网和过滤棉过滤后的气体进入隔温箱内部，经过加热丝的加热后输送至干燥导管中，通过干燥导管中的输送管和输送孔输送至放置块中圆槽的底部，干燥气体从圆槽底部自下而上对硅片进行干燥，提高干燥速率，取出一个扇形槽中的硅片时，扇形槽内部的温度会跑出，温度传感器检测出温度较低时，将信号传输给控制器，控制器关闭其他输送管，优先对温度低的扇形槽内部进行供热，相比于传统方式，有利于提高干燥速率，有利于保持扇形槽内部的温度，有利于自动控制温度，各区域温度不干扰。
附图说明
13.图1为本实用新型提出的一种半导体硅片干燥装置的整体结构示意图；
14.图2为本实用新型提出的一种半导体硅片干燥装置的圆柱结构示意图；
15.图3为本实用新型提出的一种半导体硅片干燥装置的俯视结构示意图；
16.图4为本实用新型提出的一种半导体硅片干燥装置的干燥导管结构示意图；
17.图5为本实用新型提出的一种半导体硅片干燥装置的固定结构结构示意图。
18.图中：1圆柱、2扇形槽、3固定结构、4双开门、5干燥结构、6风机、7干燥导管、8隔温箱、9加热丝、10过滤箱、11过滤棉、 12过滤网、13进气口、14控制器、15连接管、16输送管、17电磁阀、18温度传感器、19放置块、20圆槽、21固定槽、22放置网、 23输送孔、24固定杆、25弹簧、26保护垫。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
20.参照图1-5，一种半导体硅片干燥装置，包括圆柱1和等距离开设在圆柱1外壁的扇形槽2，其特征在于，所述固定结构3分别安装在扇形槽2的顶部外壁，且双开门4分别铰接在位于扇形槽2两侧的圆柱1外壁，所述干燥结构5安装在圆柱1的顶部外壁，所述干燥结构5包括安装在圆柱1顶部外壁的风机6、安装在圆柱1中心处的干燥导管7、安装在圆柱1顶部外壁的隔温箱8、安装在隔温箱8内部的加热丝9、安装在圆柱1顶部外壁的过滤箱10、固定在过滤箱10 内部的过滤网12和过滤棉11、开设在过滤箱10一侧外壁的进气口 13和安装在圆柱1顶部外壁的控制器14，所述输送管16分别连接在干燥导管7位于扇形槽2的一侧外壁，且电磁阀17安装在输送管16 的中，所述温度传感器18安装在扇形槽2的一侧外壁；
21.所述风机6的输出端通过管道与干燥导管7的顶部一端连接，且风机6的输入端与隔温箱8的内部连通，所述连接管15连接在隔温箱8的一侧，且连接管15的另一端与过滤箱10连通，且防尘网套接在进气口13中；
22.所述固定结构3包括固定在扇形槽2顶部外壁中心处的放置块 19、开设在放置块19顶部外壁的圆槽20、开设在圆槽20两侧的固定槽21、等距离焊接在圆槽20底部外壁的支
撑杆、放置在支撑杆顶部外壁的放置网22、开设在放置块19一侧外壁的输送孔23、插设在固定槽21中的固定杆24、焊接在固定杆24底部外壁中心处的弹簧 25和焊接在弹簧25另一端的保护垫26，且输送管16的另一端与输送孔23连接；
23.所述温度传感器18通过信号线连接控制器14的信号输入端，且双开门4中安装在泄压阀；
24.所述风机6、加热丝9和电磁阀17通过导线连接开关，且开关通过导线连接电源，相比于传统方式，有利于提高干燥速率，有利于保持扇形槽内部的温度，有利于自动控制温度，各区域温度不干扰。
25.工作原理：使用时，将硅片放置在放置网22上，将固定杆24放置在固定槽21中，固定杆24底部的保护垫26于放置网22对硅片进行限位，启动加热丝9，加热丝9对隔温箱8内部的进行加热，之后启动风机6，风机6抽取经过过滤网12和过滤棉11过滤后的气体进入隔温箱8内部，经过加热丝9的加热后输送至干燥导管7中，通过干燥导管7中的输送管16和输送孔23输送至放置块19中圆槽20的底部，干燥气体从圆槽20底部自下而上对硅片进行干燥，提高干燥速率，取出一个扇形槽2中的硅片时，扇形槽2内部的温度会跑出，温度传感器18检测出温度较低时，将信号传输给控制器14，控制器14关闭其他输送管16，优先对温度低的扇形槽2内部进行供热。
26.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
27.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
28.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。