一种用于多晶硅生产的还原厂房供风系统的制作方法

1.本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种用于多晶硅生产的还原厂房供风系统。


背景技术：

2.多晶硅是光伏产业和电子工业最重要生产原料，在应用上需要极高纯度。一般来说，太阳能级多晶硅的纯度需达到6个9以上(99.9999％以上)，电子级多晶硅的纯度需达到9个9以上〔99.9999999％以上)。目前，多晶硅制备方法主要为改良西门子法；通过改良西门子法生产多晶硅的特点是：还原炉生产硅棒是间歇批次生产：硅棒制备完毕，拆开钟罩后，硅棒需要在空气中暴露很长一段时间，再将硅棒拆卸移交下一工序；接着再清理设备、安装硅芯进行下一个批次硅芯的生产。由于多晶硅的纯度非常高，硅芯和硅料在空气中暴露时间长，因此还原厂房的洁净就显得尤为重要；另外还原炉生产是高温条件下进行，反应的介质是易燃易爆的，因此还原厂房的供风系统对还原生产影响非常大。
3.现有还原厂房供风系统布局不够合理，不能合理利用洁净风，不仅新风需求量大、能耗高；而且，供风、排风、抽风时，容易留死角，从而产生安全隐患。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型提供一种用于多晶硅生产的还原厂房供风系统，主要目的在于改善供风系统的结构，降低能耗，提升供风品质，保障安全生产。
5.为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：
6.本实用新型的实施例提供一种用于多晶硅生产的还原厂房供风系统，包括:还原厂房、第一供风装置、第二供风装置和第三供风装置；
7.所述还原厂房的一侧设置有电气设备室；
8.所述还原厂房的下部设置有进风口一和进风口二；所述进风口一与所述进风口二相对设置；
9.所述还原厂房的下部设置有出风口；所述出风口为多个；多个所述出风口沿所述还原厂房的外壁间隔设置；所述出风口较所述进风口一和所述进风口二的位置低；
10.所述还原厂房的顶部设置有轴流风机一；所述轴流风机一的输入端与所述还原厂房的内侧连通；所述轴流风机一的输出端连通所述还原厂房的外侧；
11.所述还原厂房的出风口与轴流风机二的输入端连通；所述轴流风机二的输出端连通所述还原厂房的外侧；
12.所述第一供风装置的输入端连通所述还原厂房的外部；所述第一供风装置的输出端通过第一风管与所述进风口一连通；所述第一风管上设置有气流调节阀一；
13.所述第二供风装置的输入端连通所述还原厂房的外部；所述第二供风装置的输出端通过第二风管与所述电气设备室连通；
14.所述第三供风装置的输入端通过第三风管与所述电气设备室连通；所述第三供风
装置的输出端通过第四风管与所述进风口二连通；所述第四风管上设置有气流调节阀二；
15.所述电气设备室上设置有轴流风机三；所述轴流风机三的输入端与所述电气设备室的内侧连通；所述轴流风机三的输出端与所述电气设备室的外侧连通。
16.进一步地，所述第一供风装置包括：进风调节阀一、粗效过滤器一、中效过滤器前一、加热器一、冷却器一、风机机组一、消音系统一、中效过滤器后一、高效过滤器一和出风调节阀一；
17.所述进风调节阀一、所述粗效过滤器一和所述中效过滤器前一依次连通；
18.所述风机机组一、所述消音系统一、所述中效过滤器后一、所述高效过滤器一和所述出风调节阀一依次连通；
19.所述中效过滤器前一能够选择地通过所述加热器一或所述冷却器一与所述风机机组一连通。
20.进一步地，所述第二供风装置包括：进风调节阀二、粗效过滤器二、中效过滤器前二、加热器二、冷却器二、风机机组二、消音系统二、中效过滤器后二和出风调节阀二；
21.所述进风调节阀二、所述粗效过滤器二和所述中效过滤器前二依次连通；
22.所述风机机组二、所述消音系统二、所述中效过滤器后二和所述出风调节阀二依次连通；
23.所述中效过滤器前二能够选择地通过所述加热器二或所述冷却器二与所述风机机组二连通。
24.进一步地，所述第三供风装置包括：进风调节阀三、中效过滤器三、冷却器三、风机机组三、消音系统三、高效过滤器三和出风调节阀三；
25.所述进风调节阀三、所述中效过滤器三、所述冷却器三、所述风机机组三、所述消音系统三、所述高效过滤器三和所述出风调节阀三，依次连通。
26.进一步地，所述进风口一和所述进风口二位于同一平面上。
27.进一步地，多个所述出风口位于同一平面上。
28.进一步地，所述进风口一与所述出风口位于所述还原厂房不同的侧壁上。
29.进一步地，所述进风口二与所述出风口位于所述还原厂房不同的侧壁上。
30.进一步地，所述进风口一为多个；多个所述进风口一沿所述还原厂房的外壁间隔设置；
31.所述进风口二为多个；多个所述进风口二沿所述还原厂房的外壁间隔设置。
32.进一步地，还包括：控制装置；
33.所述控制装置与所述风机机组一、风机机组二、风机机组三、轴流风机一、轴流风机二、轴流风机三、气流调节阀一和气流调节阀二分别连接，以进行控制。
34.借由上述技术方案，本实用新型用于多晶硅生产的还原厂房供风系统至少具有下列优点：
35.能够改善供风系统的结构，降低能耗，提升供风品质，保障安全生产。
36.上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
37.图1为本实用新型实施例提供的一种用于多晶硅生产的还原厂房供风系统的示意图；
38.图2为本实用新型实施例提供的一种用于多晶硅生产的还原厂房供风系统中第一供风装置的示意图；
39.图3为本实用新型实施例提供的一种用于多晶硅生产的还原厂房供风系统中第二供风装置的示意图；
40.图4为本实用新型实施例提供的一种用于多晶硅生产的还原厂房供风系统中第三供风装置的示意图。
41.图中所示：
42.1为第一供风装置，1-1为进风调节阀一，1-2为粗效过滤器一，1-3为中效过滤器前一，1-4为加热器一，1-5为冷却器一，1-6为风机机组一，1-7为消音系统一，1-8为中效过滤器后一，1-9为高效过滤器一，1-10为出风调节阀一，2为第二供风装置，2-1为进风调节阀二，2-2为粗效过滤器二，2-3为中效过滤器前二，2-4为加热器二，2-5为冷却器二，2-6为风机机组二，2-7为消音系统二，2-8为中效过滤器后二，2-9为出风调节阀二，3为第三供风装置，3-1为进风调节阀三，3-2为中效过滤器三，3-3为冷却器三，3-4为风机机组三，3-5为消音系统三，3-6为高效过滤器三，3-7为出风调节阀三，4为还原厂房，4-1为进风口一，4-2为进风口二，4-3为出风口，5为电气设备室，6为轴流风机一，7为轴流风机二，8为轴流风机三，9为气流调节阀一，10为气流调节阀二。
具体实施方式
43.为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型申请的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。在下述说明中，不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外，一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。
44.如图1所示，本实用新型的一个实施例提出的一种用于多晶硅生产的还原厂房供风系统，包括:还原厂房4、第一供风装置1、第二供风装置2和第三供风装置3；
45.还原厂房4的一侧设置有电气设备室5；电气设备室5包括：变压器室和电气调控室；变压器室和电气调控室在作业时，需要散热，其散发的热量可以被利用，以降低能耗。
46.还原厂房4的下部设置有进风口一4-1和进风口二4-2；进风口一4-1与进风口二4-2相对设置，以使进风口一4-1进入的气流和进风口二4-2进入的气流能够混合均匀和热量交换，有利于还原厂房4内的温度控制。本实施例优选，进风口一4-1和进风口二4-2位于同一平面上，有利于进风口一4-1进入的气流和进风口二4-2进入的气流混合。
47.还原厂房4的下部设置有出风口4-3；出风口4-3为多个；多个出风口4-3沿还原厂房4的外壁间隔设置；本实施例优选，多个出风口4-3位于同一平面上，以使气流能够在同一高度流出，有利于对还原厂房4内的气流进行调节。出风口4-3较进风口一4-1和进风口二4-2的位置低，以抽出还原厂房4内较低位置的气体。
48.本实施例优选，进风口一4-1与出风口4-3位于还原厂房4不同的侧壁上，以避免从进风口一4-1进入的洁净气流直接从出风口4-3排出，造成浪费。
49.本实施例优选，进风口二4-2与出风口4-3位于还原厂房4不同的侧壁上，以避免从进风口二4-2进入的洁净气流直接从出风口4-3排出，造成浪费。
50.进一步优选，进风口一4-1为多个；多个进风口一4-1沿还原厂房4的外壁间隔设置，多个进风口一4-1能够实现还原厂房4的均匀进风。进风口二4-2为多个；多个进风口二4-2沿还原厂房4的外壁间隔设置，多个进风口二4-2能够使还原厂房4均匀进风。
51.还原厂房4的顶部设置有轴流风机一6；轴流风机一6的输入端与还原厂房4的内侧连通；轴流风机一6的输出端连通还原厂房4的外侧，以将还原厂房4内的气体向往抽。
52.还原厂房4的出风口4-3与轴流风机二7的输入端连通；轴流风机二7的输出端连通还原厂房4的外侧，以将还原厂房4内较低位置的气流向往抽。
53.第一供风装置1的输入端连通还原厂房4的外部，以使新鲜空气进入。第一供风装置1的输出端通过第一风管与进风口一4-1连通，以将过滤后的空气通过进风口一4-1进入还原厂房4。第一风管上设置有气流调节阀一9，以调节第一风管的气流量。
54.第二供风装置2的输入端连通还原厂房4的外部，以使新鲜空气进入。第二供风装置2的输出端通过第二风管与电气设备室5连通；
55.第三供风装置3的输入端通过第三风管与电气设备室5连通，以抽吸电气设备室5内的高温空气；第三供风装置3的输出端通过第四风管与进风口二4-2连通，以将过滤后的空气通过进风口二4-2进入还原厂房4。第四风管上设置有气流调节阀二10，以调节第四风管的气流量。
56.电气设备室5上设置有轴流风机三8；轴流风机三8的输入端与电气设备室5的内侧连通；轴流风机三8的输出端与电气设备室5的外侧连通，以将部分空气排出电气设备室5。
57.本实用新型的一个实施例提出的一种用于多晶硅生产的还原厂房供风系统，能够改善供风系统的结构，降低能耗，提升供风品质，保障安全生产。
58.作为上述实施例的优选，参考图2，第一供风装置1包括：进风调节阀一1-1、粗效过滤器一1-2、中效过滤器前一1-3、加热器一1-4、冷却器一1-5、风机机组一1-6、消音系统一1-7、中效过滤器后一1-8、高效过滤器一1-9和出风调节阀一1-10；
59.进风调节阀一1-1、粗效过滤器一1-2和中效过滤器前一1-3依次连通；新风通过进风调节阀一1-1后，经过粗效过滤器一1-2和中效过滤器前一1-3过滤。风机机组一1-6、消音系统一1-7、中效过滤器后一1-8、高效过滤器一1-9和出风调节阀一1-10依次连通；在风机机组一1-6的作用下，新风通过消音系统一1-7消音，再通过中效过滤器后一1-8和高效过滤器一1-9的过滤后，经出风调节阀一1-10流出。
60.中效过滤器前一1-3能够选择地通过加热器一1-4或冷却器一1-5与风机机组一1-6连通。在需要加热空气时，中效过滤器前一1-3能够选择地通过加热器一1-4与风机机组一1-6连通，通常在冬天采用；在需要降温时，中效过滤器前一1-3选择地通过冷却器一1-5与风机机组一1-6连通，通常在夏天采用。通过风机机组一1-6驱动气流流动，实现对空气的过滤、消音、加热或降温。
61.作为上述实施例的优选，参考图3，第二供风装置2包括：进风调节阀二2-1、粗效过滤器二2-2、中效过滤器前二2-3、加热器二2-4、冷却器二2-5、风机机组二2-6、消音系统二2-7、中效过滤器后二2-8和出风调节阀二2-9；
62.进风调节阀二2-1、粗效过滤器二2-2和中效过滤器前二2-3依次连通；新风经进风
调节阀二2-1进入，通过粗效过滤器二2-2和中效过滤器前二2-3依次过滤。风机机组二2-6、消音系统二2-7、中效过滤器后二2-8和出风调节阀二2-9依次连通；新风在风机机组二2-6的作用下，经消音系统二2-7消音，再经过中效过滤器后二2-8和出风调节阀二2-9过滤后，通过出风调节阀二2-9流出。中效过滤器前二2-3能够选择地通过加热器二2-4或冷却器二2-5与风机机组二2-6连通。
63.在需要加热空气时，中效过滤器前二2-3能够选择地通过加热器二2-4与风机机组二2-6连通，通常在冬天采用；在需要降温时，中效过滤器前二2-3选择地通过冷却器二2-5与风机机组二2-6连通，通常在夏天采用。通过风机机组二2-6驱动气流流动，实现对空气的过滤、消音、加热或降温。
64.作为上述实施例的优选，参考图4，第三供风装置3包括：进风调节阀三3-1、中效过滤器三3-2、冷却器三3-3、风机机组三3-4、消音系统三3-5、高效过滤器三3-6和出风调节阀三3-7；
65.进风调节阀三3-1、中效过滤器三3-2、冷却器三3-3、风机机组三3-4、消音系统三3-5、高效过滤器三3-6和出风调节阀三3-7，依次连通，实现对电气设备室5内输出的空气进行过滤、冷却和消音。从电气设备室5抽来的循环风，通过进风调节阀三3-1进入，通过中效过滤器三3-2过滤，可以选择地通过冷却器三3-3进行冷却(通常在夏天投入使用)，在风机机组三3-4的作用下，经过消音系统三3-5消音，再经过高效过滤器三3-6和出风调节阀三3-7的过滤后送入还原厂房4。
66.第一供风装置1、第二供风装置2和第三供风装置3的设置可以解决传统供风系统的过滤不彻底，供风品质差，容易影响还原厂房4的环境，进而影响硅料品质的问题；并且，可以解决传统供风系统中加热系统和冷却系统布局不合理，造成供风温度控制难度大的问题。
67.本实用新型的一个实施例提出的一种用于多晶硅生产的还原厂房供风系统，投入使用时，新风通过第二供风装置2处理后送到电气设备室5进行交换；再被第三供风装置3抽出进行处理，处理后送到还原厂房4使用；还原厂房4上还布局有第一供风装置1；第一供风装置1和第三供风装置3送到还原厂房4的空气被屋顶轴流风机一6抽出，在还原厂房4内形成对流；轴流风机二7对还原厂房4内较低的区域进行抽风，确保还原厂房4内无死角；电气设备室5由独立的轴流风机三8进行负压换风。
68.本实用新型的一个实施例提出的一种用于多晶硅生产的还原厂房供风系统，实现部分洁净空气的二次利用，降低了能耗；优化了供风系统的过滤结构，提高了供风品质；改变了供风系统的加热和冷却结构，降低了还原厂房4的温度控制难度。
69.作为上述实施例的优选，本实用新型的一个实施例提出的一种用于多晶硅生产的还原厂房供风系统，还包括：控制装置；控制装置与风机机组一1-6、风机机组二2-6、风机机组三3-4、轴流风机一6、轴流风机二7、轴流风机三8、气流调节阀一9和气流调节阀二10分别连接，以进行控制，方便实现自动控制。
70.进一步说明，虽然术语第一、第二等在本文中可以用于描述各种元件，但是这些术语不应该限制这些元件。这些术语仅用于区别一个元件与另一元件。例如，第一元件可以被称为第二元件，并且，类似地，第二元件可以被称为第一元件，这些术语仅用于区别一个元件与另一元件。这没有脱离示例性实施例的范围。类似地，元件一、元件二也不代表元件的
顺序，这些术语仅用于区别一个元件与另一元件。如本文所用，术语“和/或”包括一个或多个相关联的列出项目的任意结合和所有结合。
71.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
72.本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。
73.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。