一种多腔体抽真空运行控制系统的制作方法

1.本实用新型涉及抽真空设备技术领域，具体是一种多腔体抽真空运行控制系统。


背景技术：

2.真空炉，即在炉腔这一特定空间内利用真空系统(由真空泵、真空测量装置、真空阀门等元件经过精心组装而成)将炉腔内部分物质排出，使炉腔内压强小于一个标准大气压，炉腔内空间从而实现真空状态。
3.目前的真空炉由多个腔体组成，但在抽真空时由于每个真空腔体所处的真空环境的不同，会对腔体内部真空造成很大的影响，而现通过多腔体真空控制系统控制精抽管路和粗抽管路的快速切换，来解决了多个腔体在抽真空时所遇到抽真空问题，但同时真空炉在关闭后由于结构原因无法进行对密封板进行解锁自动翻转，同时在抽真空时无法对腔体内部的真空状况进行检测观察，从而导致使用不便。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于：为了解决无法对腔体内部的真空进行便捷检测观察和密封板无法解锁自动翻转的问题，提供一种多腔体抽真空运行控制系统。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多腔体抽真空运行控制系统，包括底座，所述底座一侧安装有分子泵，所述底座的一侧且位于分子泵的下方安装有真空泵，所述底座的顶端固定连接有多个真空腔体，所述真空腔体的一侧底端固定连接有与分子泵的输出端固定连接的精抽管路，所述真空腔体远离精抽管路的一侧底端固定连接有与真空泵的输出端固定连接的粗抽管路，所述真空腔体的顶端设置有锁止机构；
6.所述锁止机构包括限位块、移动套板、密封顶板、固定转块、固定转杆、扭力弹簧、限位滑杆、复位弹簧以及限位滑块，所述密封顶板设置在真空腔体的上表面，所述固定转块固定在密封顶板的一端，所述固定转块与密封顶板通过焊接固定连接，所述固定转杆固定在固定转块的一侧，且贯穿至固定转块的另一侧内部，所述固定转杆与固定转块通过焊接固定连接，所述扭力弹簧设置在密封顶板的一端，且与固定转杆相互套接，所述限位块固定在密封顶板远离扭力弹簧的一端，所述限位块与密封顶板通过焊接固定连接，所述移动套板设置在密封顶板的一端，且与限位块相互套接，所述限位滑块固定在移动套板一端的下端，且贯穿至真空腔体的内部，所述限位滑杆固定在真空腔体的一端内部，且与限位滑块相互套接，所述复位弹簧设置在限位滑块的一侧，且与限位滑杆相互套接；
7.所述密封顶板的一侧设置有贯穿至真空腔体内部的检测机构，用于对真空腔体内部的真空程度进行检测。
8.作为本实用新型再进一步的方案：所述检测机构包括检测滑板、移动推板、连接拉杆以及密封滑块，所述移动推板设置在密封顶板的一侧，所述连接拉杆固定在移动推板的一侧，且贯穿至密封顶板的内部，所述连接拉杆与移动推板通过焊接固定连接，所述密封滑块固定在连接拉杆远离移动推板的一侧，且位于密封顶板的内部，所述密封滑块与连接拉
杆通过焊接固定连接，所述检测滑板固定在移动推板的顶端，且位于密封顶板的上表面，所述检测滑板与移动推板通过焊接固定连接。
9.作为本实用新型再进一步的方案：所述精抽管路、粗抽管路的内部设置有电动阀门，所述电动阀门与外界控制器通过导线电性连接。
10.作为本实用新型再进一步的方案：所述固定转块与真空腔体通过铰链转动连接，所述真空腔体的上表面与密封顶板相接位置处设置有密封胶垫。
11.作为本实用新型再进一步的方案：所述移动套板的一侧上表面呈斜坡状，所述真空腔体与限位滑块相接位置处设置有与其移动轨迹相互匹配的移动滑槽，所述固定转块与扭力弹簧相接位置处设置有与其外壁相互匹配的固定扭槽。
12.作为本实用新型再进一步的方案：所述检测滑板的上表面设置有与真空腔体内部真空程度匹配的刻度条，所述密封顶板与密封滑块、连接拉杆相接位置处设置有与其移动轨迹相互匹配的限位滑槽。
13.作为本实用新型再进一步的方案：所述密封滑块的外壁设置有密封胶垫，所述密封顶板位于密封滑块远离连接拉杆的一侧设置有贯穿密封顶板至真空腔体内部的抽气槽。
14.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
15.1、通过设置锁止机构，此机构可实现对真空腔体的密封锁止，通过将密封顶板以固定转杆为轴心翻转至真空腔体的上表面，并对密封胶垫进行挤压，同时固定转块带动固定转杆对扭力弹簧扭曲，同时密封顶板带动限位块对移动套板挤压，此时移动套板通过挤压带动限位滑块滑动，此时限位滑块通过限位滑杆对复位弹簧限位挤压，然后复位弹簧通过反弹推动限位滑块使得移动套板复位，此时移动套板对限位块限位套接，从而使得密封顶板对真空腔体的上表面进行密封覆盖；
16.2、通过设置检测机构，此机构可实现对真空腔体内部真空检测，通过拉动移动推板使得检测滑板、连接拉杆滑动，此时连接拉杆拉动密封滑块进行移动，当对真空腔体的内部进行抽真空操作时，此时密封顶板通过抽气槽对限位滑槽的内部抽真空，同时密封滑块通过抽气槽在抽真空操作下，通过连接拉杆带动移动推板逐步复位，同时移动推板带动检测滑板同步复位，此时可通过观看检测滑板上表面的刻度条对真空腔体内部的真空程度进行检测。
附图说明
17.图1为本实用新型的结构示意图；
18.图2为本实用新型的真空腔体侧视结构示意图；
19.图3为本实用新型的锁止机构和检测机构剖面示意图；
20.图4为本实用新型的a处局部放大示意图；
21.图5为本实用新型的b处局部放大示意图。
22.图中：1、底座；2、锁止机构；201、限位块；202、移动套板；203、密封顶板；204、固定转块；205、固定转杆；206、扭力弹簧；207、限位滑杆；208、复位弹簧；209、限位滑块；3、检测机构；301、检测滑板；302、移动推板；303、连接拉杆；304、密封滑块；4、分子泵；5、真空泵；6、真空腔体；7、精抽管路；8、粗抽管路。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.请参阅图1～5，本实用新型实施例中，一种多腔体抽真空运行控制系统，包括底座1，底座1一侧安装有分子泵4，底座1的一侧且位于分子泵4的下方安装有真空泵5，底座1的顶端固定连接有多个真空腔体6，真空腔体6的一侧底端固定连接有与分子泵4的输出端固定连接的精抽管路7，真空腔体6远离精抽管路7的一侧底端固定连接有与真空泵5的输出端固定连接的粗抽管路8，真空腔体6的顶端设置有锁止机构2；
25.锁止机构2包括限位块201、移动套板202、密封顶板203、固定转块204、固定转杆205、扭力弹簧206、限位滑杆207、复位弹簧208以及限位滑块209，密封顶板203设置在真空腔体6的上表面，固定转块204固定在密封顶板203的一端，固定转块204与密封顶板203通过焊接固定连接，固定转杆205固定在固定转块204的一侧，且贯穿至固定转块204的另一侧内部，固定转杆205与固定转块204通过焊接固定连接，扭力弹簧206设置在密封顶板203的一端，且与固定转杆205相互套接，限位块201固定在密封顶板203远离扭力弹簧206的一端，限位块201与密封顶板203通过焊接固定连接，移动套板202设置在密封顶板203的一端，且与限位块201相互套接，限位滑块209固定在移动套板202一端的下端，且贯穿至真空腔体6的内部，限位滑杆207固定在真空腔体6的一端内部，且与限位滑块209相互套接，复位弹簧208设置在限位滑块209的一侧，且与限位滑杆207相互套接；
26.密封顶板203的一侧设置有贯穿至真空腔体6内部的检测机构3，用于对真空腔体6内部的真空程度进行检测。
27.在本实施例中：使用时将密封顶板203翻转至真空腔体6的上表面，并对密封胶垫进行挤压，此时固定转块204通过铰链以固定转杆205为轴心进行翻转，同时固定转块204带动固定转杆205进行转动，此时固定转块204通过固定扭槽对扭力弹簧206进行扭曲，同时限位块201在密封顶板203的带动下，对移动套板202进行挤压，此时移动套板202通过呈斜坡状的上表面在限位块201的挤压下进行移动，同时移动套板202带动限位滑块209进行滑动，此时限位滑块209通过限位滑杆207进行滑动限位，同时限位滑块209对复位弹簧208进行挤压，然后复位弹簧208通过反弹推动限位滑块209使得移动套板202复位，此时移动套板202对限位块201进行限位套接，从而使得密封顶板203对真空腔体6的上表面进行密封覆盖，然后分别启动分子泵4、真空泵5，此时分子泵4、真空泵5通过精抽管路7、粗抽管路8对真空腔体6的内部进行抽真空操作，同时通过外界控制器使得导线分别控制精抽管路7、粗抽管路8内部电动阀门的启闭，从而实现通过精抽管路7、粗抽管路8之间的阀门切换来保证腔体的真空度，同时通过检测机构3来确认真空腔体6内部的真空程度，当对真空腔体6的内部进行充气时，此时可通过观察检测机构3来对真空腔体6内部的状况进行查看，从而可避免在真空腔体6内部气压不足的情况下打开密封顶板203的现象。
28.请着重参阅图1～5，检测机构3包括检测滑板301、移动推板302、连接拉杆303以及密封滑块304，移动推板302设置在密封顶板203的一侧，连接拉杆303固定在移动推板302的一侧，且贯穿至密封顶板203的内部，连接拉杆303与移动推板302通过焊接固定连接，密封
滑块304固定在连接拉杆303远离移动推板302的一侧，且位于密封顶板203的内部，密封滑块304与连接拉杆303通过焊接固定连接，检测滑板301固定在移动推板302的顶端，且位于密封顶板203的上表面，检测滑板301与移动推板302通过焊接固定连接。
29.在本实施例中：通过拉动移动推板302向密封顶板203的一侧进行移动，此时移动推板302带动检测滑板301在密封顶板203的上表面进行滑动，同时移动推板302拉动连接拉杆303在密封顶板203的内部进行滑动，此时连接拉杆303拉动密封滑块304进行移动，并通过密封胶垫进行有效密封，当对真空腔体6的内部进行抽真空操作时，此时密封顶板203通过抽气槽对限位滑槽的内部进行抽真空，同时密封滑块304通过密封胶垫在抽气槽的抽气下，通过连接拉杆303带动移动推板302逐步复位，同时移动推板302带动检测滑板301同步复位，此时可通过观看检测滑板301上表面的刻度条对真空腔体6内部的真空程度进行检测。
30.请着重参阅图2～4，精抽管路7、粗抽管路8的内部设置有电动阀门，电动阀门与外界控制器通过导线电性连接。
31.在本实施例中：通过外界控制器使得导线分别控制精抽管路7、粗抽管路8内部电动阀门的启闭操作。
32.请着重参阅图2～4，固定转块204与真空腔体6通过铰链转动连接，真空腔体6的上表面与密封顶板203相接位置处设置有密封胶垫。
33.在本实施例中：通过密封顶板203对密封胶垫的挤压，使得密封顶板203与真空腔体6之间进行便捷密封。
34.请着重参阅图2～4，移动套板202的一侧上表面呈斜坡状，真空腔体6与限位滑块209相接位置处设置有与其移动轨迹相互匹配的移动滑槽，固定转块204与扭力弹簧206相接位置处设置有与其外壁相互匹配的固定扭槽。
35.在本实施例中：通过移动滑槽使得限位滑块209在真空腔体6的内部进行限位滑动。
36.请着重参阅图2～5，检测滑板301的上表面设置有与真空腔体6内部真空程度匹配的刻度条，密封顶板203与密封滑块304、连接拉杆303相接位置处设置有与其移动轨迹相互匹配的限位滑槽。
37.在本实施例中：通过刻度条使得检测滑板301在移动推板302的同时，可对真空腔体6内部的真空程度进行查看。
38.请着重参阅图2～5，密封滑块304的外壁设置有密封胶垫，密封顶板203位于密封滑块304远离连接拉杆303的一侧设置有贯穿密封顶板203至真空腔体6内部的抽气槽。
39.在本实施例中：通过抽气槽与密封胶垫的相互配合，使得密封滑块304在真空气压的带动下，在密封顶板203的内部进行限位滑动。
40.以上所述的，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。