一种靶材生产用的烘干箱的制作方法
【技术领域】
[0001 ]本实用新型属于靶材制造领域，具体涉及一种靶材生产用的烘干箱。
【背景技术】
[0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。其中基板经过制粉、煅烧、烧结之后，制成基板毛料，基板毛料经过平面磨床抛光打磨之后进行溅射镀膜，目前所采用的烘干箱在使用时，由于箱门与箱体为密封结构，所以烘干时内部气压变化较大，在箱门开启时存在危险。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型为了解决上述现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种靶材生产用的烘干箱，能够避免烘干箱内外压力差过大，保证烘干箱开启时的安全。
[0004]本实用新型采用的具体技术方案是:
[0005]—种靶材生产用的烘干箱，包括箱体，箱体设置有密封门，密封门与箱体侧边铰接呈转动结构，所述的箱体内还设置有烘干架，箱体内侧壁设置有电热丝，箱体外侧装设有温度表，所述的箱体侧壁设置有缓冲气道，箱体内外侧借助缓冲气道连接相通，缓冲气道套装在降温水箱内，缓冲气道在降温水箱内呈螺旋盘绕设置。
[0006]所述的缓冲气道的末端还设置有放气阀
[0007]所述的烘干架借助伸缩滑道安装在箱体内，所述的伸缩滑道包括固定滑道及移动滑道，固定滑道安装固定在箱体底面上，固定滑道呈槽体结构，移动滑道套装在固定滑道内并形成滑动配合，烘干架安装在移动滑道上。
[0008]所述的箱体侧壁上还设置有压力表。
[0009]所述的箱体后侧安装有送风筒，送风筒与箱体之间还设置有抽拉挡板，抽拉挡板与箱体的侧壁形成密封配合。
[0010]本实用新型的有益效果是:
[0011]本实用新型，采用缓冲气道平衡内外气压，同时借助于降温水箱将热气降温，避免了热气造成工作环境温度升高，造成人员不适或者烫伤工作人员的事故，提高了烘干效果。
【附图说明】
[0012]图1为本实用新型的结构示意图；
[0013]附图中，1、箱体，2、密封门，3、温度表，4、缓冲气道，5、降温水箱，6、放气阀，7、烘干架，8、固定滑道，9、移动滑道，10、压力表，11、送风筒，12、抽拉挡板。
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步说明:
[0015]具体实施例如图1所示，本实用新型为一种靶材生产用的烘干箱，包括箱体I，箱体I设置有密封门2，密封门2与箱体I侧边铰接呈转动结构，所述的箱体I内还设置有烘干架，箱体I内侧壁设置有电热丝，箱体I外侧装设有温度表3，所述的箱体I侧壁设置有缓冲气道4，箱体I内外侧借助缓冲气道4连接相通，缓冲气道4套装在降温水箱5内，缓冲气道4在降温水箱5内呈螺旋盘绕设置。
[0016]所述的缓冲气道4的末端还设置有放气阀6
[0017]为了方便物料摆放，所述的烘干架7借助伸缩滑道安装在箱体I内，所述的伸缩滑道包括固定滑道8及移动滑道9，固定滑道8安装固定在箱体I底面上，固定滑道8呈槽体结构，移动滑道9套装在固定滑道8内并形成滑动配合，烘干架7安装在移动滑道上。
[0018]所述的箱体I侧壁上还设置有压力表10。
[0019]为了尽快使物料恢复室温，所述的箱体I后侧安装有送风筒11，送风筒11与箱体I之间还设置有抽拉挡板12，抽拉挡板12与箱体I的侧壁形成密封配合。
[0020]本实用新型，采用缓冲气道平衡内外气压，同时借助于降温水箱将热气降温，避免了热气造成工作环境温度升高，造成人员不适或者烫伤工作人员的事故，提高了烘干效果。
【主权项】
1.一种靶材生产用的烘干箱，包括箱体(I)，箱体(I)设置有密封门(2)，密封门(2)与箱体(I)侧边铰接呈转动结构，所述的箱体(I)内还设置有烘干架，箱体(I)内侧壁设置有电热丝，箱体(I)外侧装设有温度表(3)，其特征在于:所述的箱体(I)侧壁设置有缓冲气道(4)，箱体(I)内外侧借助缓冲气道(4)连接相通，缓冲气道(4)套装在降温水箱(5)内，缓冲气道(4)在降温水箱(5)内呈螺旋盘绕设置。2.根据权利要求1所述的一种靶材生产用的烘干箱，其特征在于:所述的缓冲气道(4)的末端还设置有放气阀(6)。3.根据权利要求1所述的一种靶材生产用的烘干箱，其特征在于:所述的烘干架(7)借助伸缩滑道安装在箱体(I)内，所述的伸缩滑道包括固定滑道(8)及移动滑道(9)，固定滑道(8)安装固定在箱体(I)底面上，固定滑道(8)呈槽体结构，移动滑道(9)套装在固定滑道(8)内并形成滑动配合，烘干架(7)安装在移动滑道上。4.根据权利要求1所述的一种靶材生产用的烘干箱，其特征在于:所述的箱体(I)侧壁上还设置有压力表(10)。5.根据权利要求1所述的一种靶材生产用的烘干箱，其特征在于:所述的箱体(I)后侧安装有送风筒(11)，送风筒(11)与箱体(I)之间还设置有抽拉挡板(12)，抽拉挡板(12)与箱体(I)的侧壁形成密封配合。
【专利摘要】本实用新型属于靶材制造领域，具体涉及一种靶材生产用的烘干箱，包括箱体，箱体设置有密封门，密封门与箱体侧边铰接呈转动结构，所述的箱体内还设置有烘干架，箱体内侧壁设置有电热丝，箱体外侧装设有温度表，所述的箱体侧壁设置有缓冲气道，箱体内外侧借助缓冲气道连接相通，缓冲气道套装在降温水箱内，缓冲气道在降温水箱内呈螺旋盘绕设置。本实用新型，采用缓冲气道平衡内外气压，同时借助于降温水箱将热气降温，避免了热气造成工作环境温度升高，造成人员不适或者烫伤工作人员的事故，提高了烘干效果。
【IPC分类】F26B25/14, F26B9/06, F26B23/06
【公开号】CN205316834
【申请号】CN201521064901
【发明人】崔娜, 朱辉, 闫丽娜, 张卫, 康林杰, 郄奕
【申请人】河北东同光电科技有限公司
【公开日】2016年6月15日
【申请日】2015年12月18日