一种生产硅片用冷热水供水系统的制作方法

1.本实用新型涉及一种供水系统，尤其涉及一种生产硅片用冷热水供水系统。


背景技术：

2.生产硅片采用的硅片清洗机用水和硅片切割机用水分别是热水和冷水。现有硅片清洗机用热水和硅片切割机用冷水需要使用专门的热源和冷源，例如分别通过电加热系统和电制冷系统为硅片清洗和切割提供热水及冷水。加热系统和制冷系统均利用电能作为能量源，双向耗电，造成资源耗费过大，生产成本高。


技术实现要素：

3.本实用新型为克服现有技术弊端，提供一种生产硅片用冷热水供水系统，常温水利用双回路循环与冷热水回收装置连接，充分利用冷凝器放出的热量加热常温循环水，用于高温供水，利用蒸发器吸收热量过程降低常温水的温度，用于冷冻供水，供水系统更加节能，用水温度更加符合标准。
4.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
5.一种生产硅片用冷热水供水系统，所述供水系统包括补水系统、一级制冷系统、高温水供水管路和冷冻水供水管路，所述一级制冷系统包括依次连接的一级冷凝器、第一电子膨胀阀、一级蒸发器、第一压缩机和第一油水分离器，所述第一油水分离器的出液口与所述一级冷凝器的制冷介质进口连接，所述补水系统包括低温补水管和冷冻回水管，所述低温补水管的出水端设置于所述一级冷凝器中，所述一级冷凝器的出水端通过所述高温水供水管路与硅片清洗系统连接；所述冷冻回水管一端与市政水连接，另一端通入所述一级蒸发器中，所述一级蒸发器出水端通过所述冷冻水供水管路与硅片切割系统连通。
6.上述生产硅片用冷热水供水系统，所述供水系统增设二级制冷系统，所述二级制冷系统包括依次连接的二级冷凝器、第二电子膨胀阀、二级蒸发器、第二压缩机和第二油水分离器，所述二级制冷系统中各部件的连接关系与所述一级制冷系统中各部件的连接关系相同，所述一级冷凝器的出水口与所述二级冷凝器的进水口通过管道连接，所述二级冷凝器的高温出水口通过所述高温水供水管路与所述硅片清洗系统连接，所述一级蒸发器的出水口与所述二级蒸发器的进水口通过管道连接，所述二级蒸发器的低温出水口通过所述冷冻水供水管路与所述硅片切割系统连通。
7.上述生产硅片用冷热水供水系统，所述补水系统还包括板式换热器器和混合水箱，所述低温补水管一端与市政水连接，另一端与所述板式换热器连接，经所述板式换热器换热后的温水进入所述混合水箱，所述混合水箱出水口通过循环泵与所述一级冷凝器连通。
8.上述生产硅片用冷热水供水系统，所述板式换热器包括串联设置的一级板式换热器和二级板式换热器，所述低温补水管与所述一级板式换热器的第一进水口连接，所述一级板式换热器的第一出水口与所述二级板式换热器的第一进水口连接，所述二级板式换热
器的第一出水口与所述混合水箱连接。
9.上述生产硅片用冷热水供水系统，所述高温水供水管路还包括一支路，其分别与所述一级板式换热器的第二进水口和二级板式换热器的第二进水口连接，所述一级板式换热器的第二出水口以及二级板式换热器的第二出水口均与所述混合水箱连接。
10.本实用新型的有益效果是：本实用新型将补水系统的出水管路分布在制冷系统中的冷凝器中，利用冷凝器中制冷介质冷凝放出的热量加热管路中的用水，吸热后的高温水提供给硅片清洗系统，而冷冻回水管路分布在蒸发器内，制冷介质在蒸发器中蒸发吸收冷冻回水管路中水的热量，降温后的冷冻水提供给硅片切割系统，整个系统循环运作，城市管网用常温水受热升温和放热冷冻过程均无需额外利用专门电能作为能量源，节约了电能，且用水升温和降温仅通过一套制冷系统即可完成，降低了生产能耗。设置两级冷凝器和两级蒸发器，保证了高温水温度稳定在50℃，冷冻水温度稳定在10℃。高温水供水管路中的部分高温水再次进入补水系统中的板式换热器中，降低补水温差，提高板式换热器的工作效率，节约能源。
附图说明
11.下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
12.图1为本实用新型供水系统结构示意图。
13.图中：1、补水系统；1
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1、低温补水管；1
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2、冷冻回水管；1
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3、板式换热器；1
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31、一级板式换热器；1
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32、二级板式换热器；1
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4、混合水箱；2、一级制冷系统；2
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1、一级冷凝器；2
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2、第一电子膨胀阀；2
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3、一级蒸发器；2
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4、第一压缩机；2
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5、第一油水分离器；3、高温水供水管路；4、冷冻水供水管路； 5、硅片清洗系统；6、硅片切割系统；7、二级制冷系统；7
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1、二级冷凝器； 7
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2、第二电子膨胀阀；7
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3、二级蒸发器；7
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4、第二压缩机；7
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5、第二油水分离器；8、循环泵。
具体实施方式
14.下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
15.参看图1，本实用新型一种生产硅片用冷热水供水系统，所述供水系统包括补水系统1、一级制冷系统2、二级制冷系统7、高温水供水管路3和冷冻水供水管路4，所述一级制冷系统2包括依次连接的一级冷凝器2
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1、第一电子膨胀阀2
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2、一级蒸发器2
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3、第一压缩机2
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4和第一油水分离器2
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5，所述第一油水分离器2
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5的出液口与所述一级冷凝器2
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1的制冷介质进口连接，制冷介质在所述一级制冷系统2中循环流动，制冷介质由第一压缩机压缩为高温高压气体，经过第一油水分离器2
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5分离后进入一级冷凝器中放出热量冷凝，冷凝后的中温高压液体经过第一电子膨胀阀节流后成为低温低压液体进入一级蒸发器中，吸热蒸发为低温低压的蒸汽，再次进入第一压缩机中，循环流动，二级制冷系统7中工质流动变化过程与一级制冷系统中工质流动变化过程相同；所述补水系统1包括低温补水管1
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1、冷冻回水管1
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2板式换热器1
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3和混合水箱1
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4，所述低温补水管1
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1一端与市政水连接，另一端与所述板式换热器1
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3连接，经所述板式换热器1
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3换热后的温水进入所述混合水箱1
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4，所述混合水箱1
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4 出水口通过循环泵8与所述一级冷凝器2
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1连通，所述低温补水管1
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1管路的出水端设置于所述一级冷凝器2
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1中，所述二级制冷系统7包括依次连接的二级冷凝器7
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1、第
二电子膨胀阀7
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2、二级蒸发器7
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3、第二压缩机7
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4和第二油水分离器7
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5，所述二级制冷系统7中各部件的连接关系与所述一级制冷系统2 中各部件的连接关系相同，所述一级冷凝器2
‑
1的出水口与所述二级冷凝器7
‑
1 的进水口通过管道连接，所述二级冷凝器7
‑
1的高温出水口通过所述高温水供水管路3与所述硅片清洗系统5连接，管路中的低温水吸收一级冷凝器和二级冷凝器放出的热量升温，供硅片清洗系统用水；所述冷冻回水管1
‑
2一端与市政水连接，另一端通入所述一级蒸发器2
‑
3中，所述一级蒸发器2
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3的出水口与所述二级蒸发器7
‑
3的进水口通过管道连接，所述二级蒸发器7
‑
3的低温出水口通过所述冷冻水供水管路4与所述硅片切割系统6连通，冷冻回水管中的用水被一级蒸发器和二级蒸发器吸收热量而降温，降温后的冷冻水供硅片切割系统用水。
16.所述板式换热器1
‑
3包括串联设置的一级板式换热器1
‑
31和二级板式换热器1
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32，所述低温补水管1
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1与所述一级板式换热器1
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31的第一进水口连接，所述一级板式换热器1
‑
31的第一出水口与所述二级板式换热器1
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32的第一进水口连接，所述二级板式换热器1
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32的第一出水口与所述混合水箱1
‑
4连接。
17.所述高温水供水管路3还包括一支路，其分别与所述一级板式换热器1
‑
31 的第二进水口和二级板式换热器1
‑
32的第二进水口连接，所述一级板式换热器 1
‑
31的第二出水口以及二级板式换热器1
‑
32的第二出水口均与所述混合水箱 1
‑
4连接。
18.工作过程：城市管网用低温水分别有低温补水管1
‑
1和冷冻回水管1
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2进入供水系统，低温补水管中低温水依次经过一级板式换热器和二级板式换热器换热后进入混合水箱中，经过循环泵依次进入一级冷凝器和二级冷凝器中，吸收热量升温后由高温水供水管路3供给给硅片清洗系统5，冷冻供水管中的冷冻回水依次经过一级蒸发器和二级蒸发器吸热降温后，由冷冻水供水管路4供给给硅片切割系统。