一种电子材料废刻蚀液的环保处理方法与流程

文档序号:19488040发布日期:2019-12-21 04:04阅读:347来源:国知局

本发明属于工业三废处理或环保技术领域,具体涉及一种电子材料废刻蚀液的环保处理方法。



背景技术:

酸性刻蚀液是电子工业中制造印刷线路板的废液,人们一直在研究酸性刻蚀液的处理方法,以便于节约资源,降低能耗,节省开支,变废为宝,消除污染,再生利用,提高经济效益。混酸蚀刻废液不经过处理,直接排放会造成严重的环境污染,如土壤及水质的污染,对人类的日常生活造成很大的影响

目前针对含磷酸的混酸废刻蚀液的处理方法众多,大多是采用简单的中和后过滤,废渣掩埋,废液处理直接排放;有的采用繁琐和投入很大的处理工艺,如专利号zl200510113482是采用萃取分离的方法处理混酸废液,由于所适用萃取剂价格均较高,随着萃取级数的增加,制造成本随之递增,后期萃取剂的再生难度大等问题导致经济效益较差;再如一些传统的工业制备工艺,如cn101353162a采用工业磷酸废液和氧化钙为原料,控制原料的投料比制取的饲料级磷酸氢钙,控制手段比较单一,易造成沉淀剂反应不完全,产品达标度不高,导致资源利用率低。

本发明人所在公司回收某电子材料生产厂家的废刻蚀液处理,该刻蚀液含有大量的hf、h3po4等,呈强酸性,对其处置的常规方法是通过碱液进行酸碱中和反应,再进行固化填埋,但针对强酸性的废刻蚀液在进行酸碱中和反应时因反应过于剧烈产生大量的白色酸雾(氟化氢),存在吸入导致员工中毒的风险。为了能使该电子材料生产厂家的废刻蚀液得到安全环保处理,本发明经过大量的科学实验研究,完成了本发明的方法。



技术实现要素:

本发明的目的在于提供了一种电子材料废刻蚀液的环保处理方法。该刻蚀液含有大量的hf、h3po4等,呈强酸性。本发明人发现通过利用本公司回收的飞灰(呈碱性,含有大量的ca2+),对废刻蚀液进行稀释,根据2po43-+3ca2+=ca3(po4)2↓和2f-+ca2+=caf2↓反应原理,一方面可以降低飞灰和刻蚀液的处置费用,另一方面经过稀释,大大减少酸雾的产生,并有效降低对设备的腐蚀。

为实现本发明的方法,提供了如下实施方案。

在一实施方案中,本发明的一种电子材料废刻蚀液的环保处理方法,包括:1)将废刻蚀液与飞灰按重量份200份与1000-1200份混合反应,得到反应混合物a,2)在重量份9份螯合剂中加入250-300重量份的水,溶解成b溶液;3)将b溶液加入到反应混合物a中、搅拌反应完全即可。

在上述实施方案,上述本发明的方法,步骤1)中,废刻蚀液在与飞灰混合前用4倍量水稀释。步骤2)中所述的螯合剂为商用螯合剂。

上述本发明的方法,进一步包括将反应完全的反应混合物进行填埋处理。

在一具体实施方案中,本发明的一种电子材料废刻蚀液的环保处理方法,1)包括:将1000重量份的飞灰加入反应器中搅拌,将200重量份的刻蚀液用4倍量的水稀释后加入到反应器中进行反应,得到反应混合物a,2)将9重量份的商用螯合剂用250重量份的水充分溶解,得到溶液b,3)将溶液b加入到步骤1)的反应混合物a中,搅拌使其充分反应完全。任选的,4)将反应混合混合物进行埋填处理。

本发明的原理在于:由于废刻蚀液含有大量的hf、h3po4等,成强酸性;飞灰中含有大量的ca2+,且碱性较强,同时含有少量的重金属pb、ni、zn等。故通过酸碱中和反应可有效处置废刻蚀液中的强酸性物质,同时使少量重金属形成沉淀达到稳定固化的目的。处理废刻蚀液过程中主要发生以下反应:

1.中和反应:h++oh-=h2o;

2.磷酸根离子与钙离子形成磷酸钙沉淀,2po43-+3ca2+=ca3(po4)2↓;

3.氟离子与钙离子形成氟化钙沉淀,2f-+ca2+=caf2↓;

4.重金属+螯合剂→螯合物沉淀。

采用本发明的方法对某电子材料生产厂家的废刻蚀液进行有效处置,通过优化处置工艺,处理后的废刻蚀液,经过检测完全符合填埋场入场标准,同时减少了大量酸雾的产生,有效降低了对设备的腐蚀和工作人员健康风险。另外,本发明的方法式还极大的降低了废刻蚀液的处置成本(初步估算,相比现有技术采用50%碱液中和进行水处理的工艺可节省2500元/吨)。

具体实施方式

以下实施例仅是代表性的,便于进一步阐明和理解本发明的实质,任何在本发明的精神实质下进行简单的修改和变通都是本发明的范围。

以下实施例中飞灰1、飞灰2、飞灰3代表来自不同厂商的飞灰,考察收自不同厂商的飞灰对刻蚀液中和处理的效果影响有无实质区别。

实施例1

1)将1000kg飞灰1在搅拌装置中搅拌,将200kg废刻蚀液用4倍量的水稀释后,经投料口加入搅拌装置中进行反应完全,得到反应混合物a;

2)将9kg的商用螯合剂(含有二硫代氨基甲酸盐)用250kg水使其在水箱中充分溶解,得到溶液b;

3)将溶液b加入反应混合物a中,搅拌使其充分反应,完成废刻蚀液处理,然后运出埋填处理。

实施例2

1)将1000kg飞灰2在搅拌装置中搅拌,将200kg废刻蚀液用4倍量的水稀释后,经投料口加入搅拌装置中进行反应完全,得到反应混合物a;

2)将9kg的商用螯合剂用(含有二硫代氨基甲酸盐)250kg水使其在水箱中充分溶解,得到溶液b;

3)将溶液b加入反应混合物a中,搅拌使其充分反应,完成废刻蚀液处理,然后运出埋填处理。

实施例3

1)将1000kg飞灰3在搅拌装置中搅拌,将200kg废刻蚀液用4倍量的水稀释后,经投料口加入搅拌装置中进行反应完全,得到反应混合物a;

2)将9kg的商用螯合剂(含有二硫代氨基甲酸盐)用250kg水使其在水箱中充分溶解,得到溶液b;

3)将溶液b加入反应混合物a中,搅拌使其充分反应,完成废刻蚀液处理,然后运出埋填处理。

实施例4

1)将1200kg飞灰1在搅拌装置中搅拌,并在投料口加入用水稀释4倍以后的200kg刻蚀液使其在搅拌装置中进行反应完全,得到反应混合物a;

2)将9kg商用螯合剂用(含有二硫代氨基甲酸盐)300kg水使其在水箱中充分溶解,得到溶液b,将溶液b加入反应混合物a中,搅拌使其充分反应,完成废刻蚀液处理,经检测合格后,运出埋填处理。

实施例5

对实施例1-3处理完成的废刻蚀液进行检测,检测方法如下:六价铬,二苯碳酰二肼采用分光光度法(gb/t15555.5-1995),其他重金属,原子分光光度法,gb/t15555.2-1995。检测结果,见下表。结果表明这些含量完全达到填埋标准。

表:处理后的刻蚀液各元素含量

通过以上实验表明,将某电子材料的废刻蚀液采用本发明的方法即用回收的飞灰进行处置是可行的,处理后产物废刻蚀液,经检测达到填埋标准。同时,本发明的方法相比物化处理方式还极大的节约了熟石灰的消耗,降低了处置成本,相比常规方法(采用氢氧化钠中和的方法)可节省2500元/吨。

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